1.用于沉积有机层的设备,包括:
沉积部,包括与衬底间隔开的沉积组件,
其中,所述沉积组件包括:
沉积源,配置为加热沉积材料;
沉积源喷嘴单元,安装在所述沉积源上,所述沉积源喷嘴单元包括沉积喷嘴;
多个图案板,面对所述沉积源喷嘴单元,所述多个图案板包括多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少之一;以及
源遮板,布置在所述沉积源与所述多个图案板之间,所述源遮板配置为根据所述沉积源与所述衬底之间的相对位置允许所述沉积材料穿过所述多个图案板中的一个。
2.根据权利要求1所述的设备,其中:
所述多个图案板排列在相同平面上;以及
所述源遮板配置为允许所述沉积材料沉积在所述衬底的第一区域和所述衬底的第二区域中的至少之一上。
3.根据权利要求1所述的设备,其中,所述多个图案板中的相邻图案板相对于与经过所述相邻图案板之间的空间的所述衬底的移动方向平行的任意直线交替地布置。
4.根据权利要求1所述的设备,其中,所述多个第一图案化缝隙中的每个以第一间隔间隔开,以及所述多个第二图案化缝隙中的每个以第二间隔间隔开,所述第二间隔与所述第一间隔相同或者不同。
5.根据权利要求1所述的设备,其中所述衬底的第一区域的面积与所述衬底的第二区域的面积不同。
6.根据权利要求1所述的设备,其中:
所述源遮板包括第一遮板和第二遮板;以及
所述源遮板配置为根据所述第一遮板和所述第二遮板的相对移动阻挡或者开放所述沉积材料的从所述沉积源起的路径。
7.制造有机发光显示装置的方法,所述方法包括:
在装载部将衬底固定至移动部;
通过使用第一传送部在腔室内传送所述移动部,所述第一传送部安装为穿过所述腔室;
加热来自沉积组件的沉积源喷嘴单元的沉积材料;
使所加热的沉积材料穿过由源遮板开放的图案板;
当所述衬底相对于所述沉积组件移动时,将所述沉积材料沉积在所述衬底的不同区域上,所述沉积组件间隔地布置在所述腔室内;
在卸载部将具有所述沉积材料的所述衬底与所述移动部分离;以及
通过使用第二传送部将所述移动部传送至所述装载部,所述第二传送部安装为穿过所述腔室,
其中所述图案板面对所述沉积源喷嘴单元以及包括:
多个第一图案化缝隙和多个第二图案化缝隙中的至少一个,其中所述多个第一图案化缝隙允许所述沉积材料到达所述衬底的所述不同区域中的第一区域,以及所述多个第二图案化缝隙允许所述沉积材料到达所述衬底的所述不同区域中的第二区域。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述图案板包括排列在相同平面上的多个图案板。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述多个图案板中的相邻图案板相对于与所述衬底的移动方向平行的任意直线交替地布置。
10.根据权利要求7所述的方法,其中所述多个第一图案化缝隙中的每个以第一间隔间隔开,以及所述多个第二图案化缝隙中的每个以第二间隔间隔开,所述第二间隔与所述第一间隔相同或者不同。
11.根据权利要求7所述的方法,其中,所述衬底的所述第一区域的面积与所述衬底的所述第二区域的面积不同。
12.根据权利要求7所述的方法,其中:
所述源遮板包括第一遮板和第二遮板;以及
所述源遮板根据所述第一遮板和所述第二遮板的相对移动阻挡或者开放第一路径和第二路径中的至少一个,其中,所述第一路径从沉积源至所述衬底的所述第一区域,所述第二路径从所述沉积源至所述衬底的所述第二区域。
13.根据权利要求12所述的方法,其中:
所述源遮板依次地通过移动所述第一遮板和所述第二遮板中的至少一个来开放所述第一路径以及通过移动所述第一遮板和所述第二遮板中的至少一个来开放所述第二路径。
14.有机发光显示装置,包括:
基衬底;
薄膜晶体管,布置在所述基衬底上,所述薄膜晶体管包括半导体活性层、与所述半导体活性层绝缘的栅电极、接触所述半导体活性层的源电极以及接触所述半导体活性层的漏电极;
多个像素电极,布置在所述薄膜晶体管上;
多个有机层,布置在所述多个像素电极上;以及
多个相对电极,布置在所述多个有机层上,
其中,布置在所述基衬底上的所述多个有机层中的至少一个是通过使用权利要求1所述的设备形成的。