LED外延生长方法与流程

文档序号:11870139阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种LED外延生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温GaN成核层、生长高温缓冲层GaN、生长非掺杂u‑GaN层、生长掺杂Si的n‑GaN层、生长发光层、生长i‑AlGaN层和p‑InGaN层的交替生长结构、生长高温p型GaN层、生长p型GaN接触层、降温冷却。如此方案,把传统的LED外延电子阻挡层,设计为低压高温的i‑AlGaN层和高压低温的p‑InGaN层的交替层生长结构,既起到电子阻挡效果,又有助于空穴注入水平的增加,从而提高LED的发光效率。

技术研发人员:徐平;林传强
受保护的技术使用者:湘能华磊光电股份有限公司
文档号码:201610834416
技术研发日:2016.09.20
技术公布日:2016.11.16

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