一种横向恒流二极管的制作方法

文档序号:11136651阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种横向恒流二极管,包括从上至下层依次层叠设置的绝缘介质层(5)、MGaN层(4)、GaN层(6)和衬底(7);所述GaN层(6)和MGaN层(5)形成异质结;所述MGaN层(5)上层的一端具有第一金属电极(1),另一端具有第二金属电极(3),第一金属电极(1)和第二金属电极(3)与MGaN层(5)之间均是欧姆接触;位于第一金属电极(1)和第二金属电极(3)之间并靠近第二金属电极(3)处,还具有凹槽绝缘电极结构,所述凹槽绝缘电极结构为由部分绝缘介质层(5)垂直向下嵌入MGaN层(4)上表面形成,所形成的凹槽底部和侧面具有第三金属电极(2),第三金属电极(2)还沿水平方向向器件的两端延伸;所述第三金属电极(2)的一端延伸至与第二金属电极(3)接触,并覆盖第二金属电极(3)的上表面,第三金属电极(2)和第二金属电极(3)连接在一起作为器件的阴极,第一金属电极(1)作为器件的阳极。

2.根据权利要求1所述的一种横向恒流二极管,其特征在于,所述凹槽绝缘电极结构的垂直深度为0~100nm。

3.根据权利要求1和2所述的一种横向恒流二极管,其特征在于,所述第三金属电极(2)正下方的凹槽,也可以采用在MGaN层(4)中注入F离子等相关技术来调节器件所实现的恒定电流的大小。

4.根据权利要求3所述的一种横向恒流二极管,其特征在于,所述第一金属电极(1)与MGaN层是肖特基接触。

5.根据权利要求4所述的一种横向恒流二极管,其特征在于,所述MGaN层(4)中的M为Al或In。

6.根据权利要求5所述的一种横向恒流二极管,其特征在于,所述绝缘栅介质层(5)所采用的材料为Al2O3、SiO2、Si3N4、AlN、MgO或Sc2O3。

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