技术总结
本发明公开了一种基于双层或三层氮掺杂石墨烯/二氧化钛纳米管阵列肖特基结的紫外光电探测器及其制备方法，其特征是：以P‑型硅基底层作为衬底，在其上表面沿垂直方向生长有二氧化钛纳米管阵列，在二氧化钛纳米管阵列的上表面覆盖有绝缘层，绝缘层的面积为二氧化钛纳米管阵列的面积的1/4到1/3；在绝缘层上覆盖有双层或三层氮掺杂石墨烯，双层或三层氮掺杂石墨烯一部分与绝缘层接触，剩余部分覆盖在二氧化钛纳米管阵列上；在双层或三层氮掺杂石墨烯上设置有金属电极层。本发明工艺简单、适合大规模生产，可制备成本低、无污染、且光探测能力强的紫外光电探测器，为石墨烯和氧化锌纳米结构在紫外光电探测器的应用中奠定了基础。
技术研发人员：罗雷
受保护的技术使用者：罗雷
文档号码：201611056804
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.02.22