技术总结
本发明涉及一种SiGe基频率可重构套筒偶极子天线的制备方法。该方法包括：选取SiGeOI衬底；在SiGeOI衬底上按照套筒偶极子天线的结构制作多个SPiN二极管串；制作直流偏置线以连接SPiN二极管串与直流偏置电源；制作SPiN二极管天线臂、第一SPiN二极管套筒及第二SPiN二极管套筒；制作同轴馈线以连接SPiN二极管天线臂、第一SPiN二极管套筒及第二SPiN二极管套筒，最终形成套筒偶极子天线。本发明实施例的套筒偶极子天线，通过金属直流偏置线控制SPiN二极管导通，形成等离子天线臂及套筒长度的可调，从而实现天线工作频率的可重构，具有易集成、可隐身、频率可快速跳变的特点。
技术研发人员：张亮;左瑜
受保护的技术使用者：西安科锐盛创新科技有限公司
文档号码：201611184362
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.06.20