一种硅片甩干用防滑垫片的制作方法

本实用新型涉及到硅圆抛光清洗领域，具体的说是一种硅片甩干用防滑垫片。

背景技术：

硅片清洗是硅圆制造业中的重要部分，是保证硅片表面洁净度的重要手段，甩干是硅片清洗应用最广泛的干燥方式之一。甩干是将硅片放置到甩干机中，利用高速旋转产生的离心力，去除硅片表面水分，确保硅片表面的干燥程度。

目前普便使用的甩干机分为立式和卧式。立式多为单盒甩干，旋转轴平行地面。片盒放入后，内置片盒卡夹上有两根钢管对硅片进行固定，在旋转过程中，防止了硅片滑落。卧式甩干为成组进行甩干，旋转轴垂直地面。甩干前，气缸推动片盒容器铁盒下部升起，片盒到位后，气缸控制传动装置铁盒下部下降，下降到位后进行旋转。

目前卧式甩干能满足绝大多数的硅片清洗中的干燥要求。但是在进行6寸双面抛生产时，在铁盒下降过程中，因6寸双面抛背面为镜面，在湿润状态下，摩擦力较小，片盒下部下降过程中硅片的受力极易导致硅片滑出片盒，在接下来的旋转过程中造成碎片和划伤。

技术实现要素：

为解决现有的硅片甩干机在甩干6寸双面抛光硅片时硅片容易滑落的问题，本实用新型提供了一种硅片甩干用防滑垫片，能在片盒下滑过程中固定片盒中的硅片，防止硅片随着下降过程滑出。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种硅片甩干用防滑垫片，包括一可插入硅片片盒H面的陪片，陪片上对称设置有两根防滑杆，两根防滑杆的端部均设置有两个片盒卡轮，且两个片盒卡轮之间具有间隙，以使陪片在插入硅片片盒H面的插槽内后，硅片片盒U面卡入到该间隙内。

所述每根防滑杆上两个片盒卡轮中至少一个与防滑杆活动连接，以调整两个片盒卡轮之间间隙的大小。

所述陪片远离两根防滑杆的一端具有圆弧状凸起，以便于插入硅片片盒H面的插槽中，所述两根防滑杆之间的位置具有向圆弧状凸起一侧凹陷的凹陷部，且在防滑杆与圆弧状凸起之间的位置分布有若干通透孔，以便于清洗液穿过通透孔对片盒中的硅片进行清洗。

有益效果：本实用新型通过设置可插入硅片片盒H面的陪片以及在陪片上设置两根防滑杆，并在防滑杆的端部分别设置两个卡住硅片片盒U面的的片盒卡轮，这样在使用时陪片放入PFA片盒H面第一槽，片盒卡轮卡住PFA片盒U面，从而构成了一个稳定的支撑结构，在下降过程中，防滑杆就能有效的阻挡硅片的滑出；陪片、防滑杆和片盒卡轮均为聚丙烯材料加工而成，具有良好的耐热、耐腐蚀性，可以满足通过清洗过程中的加热化学液槽；本实用新型具有加工工艺简单、安装操作方便、安全性能好等优点，可以避免甩干时片盒翻转下降过程中硅片的滑出，减少了经济损失，使生产能顺利进行。

附图说明

图1为本实用新型俯视结构示意图；

图2为本实用新型正视结构示意图；

图3为本实用新型侧视结构示意图；

图4为本实用新型卡入片盒H面后的结构示意图；

图5为本实用新型卡入片盒U面后的结构示意图；

图6为本实用新型放入片盒后的俯视结构示意图；

附图标记：1、陪片，101、圆弧状凸起，102、凹陷部，103、通透孔，2、防滑杆，3、片盒卡轮，4、间隙，5、硅片片盒H面，6、硅片片盒U面。

具体实施方式

如图所示，一种硅片甩干用防滑垫片，包括一可插入硅片片盒H面5的陪片1，陪片1上对称设置有两根防滑杆2，两根防滑杆2的端部均设置有两个片盒卡轮3，且两个片盒卡轮3之间具有间隙4，以使陪片1在插入硅片片盒H面5的插槽内后，硅片片盒U面6卡入到该间隙4内。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、限定和优化：

如，所述每根防滑杆2上两个片盒卡轮3中至少一个与防滑杆2活动连接，以调整两个片盒卡轮3之间间隙4的大小；

又如，所述陪片1远离两根防滑杆2的一端具有圆弧状凸起101，以便于插入硅片片盒H面5的插槽中，所述两根防滑杆2之间的位置具有向圆弧状凸起101一侧凹陷的凹陷部102，且在防滑杆2与圆弧状凸起101之间的位置分布有若干通透孔103，以便于清洗液穿过通透孔103对片盒中的硅片进行清洗。

本实用新型在使用时，即片盒中装载硅片清洗前，将陪片1插入硅片片盒H面5的第一槽内，如图5所示，此时片盒卡轮3间的间隙4卡住硅片片盒U面6。直接进入清洗设备正常清洗，待进入甩干阶段时，如图6所示，陪片1、防滑杆2、片盒卡轮3，形成了一个稳定的支撑结构，硅片被防滑杆2挡住，便能有效的防止硅片的滑出。 为了更好的嵌入片盒卡槽，防滑垫片的陪片1部分下部为类似硅片的半圆形设计（即圆弧状凸起101），为了减少陪片1对清洗的影响，在陪片1上挖空（即设置若干通透孔103），从而便于清洗液对硅片的清洗。