一种板式PECVD设备的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种板式PECVD设备。

背景技术：

目前，在太阳能电池片生产过程中，需要在电池片的表面镀一层氮化硅(SiN)薄膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，提高光电转换效率，还具有良好的抗氧化和绝缘性能，良好的掩蔽金属和水离子扩散的能力，化学稳定性良好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其他酸基本不可腐蚀。因而带有特气管路的板式PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)设备应运而生，在工艺过程中，特气(包括氨气和硅烷)通过特气管路的特气管孔输送到工艺腔参与反应。

现有技术中的板式PECVD设备，其包括一石墨框，石墨框包括石墨边框1，石墨边框1的内部设置有多个方格形状的方格孔2，每个方格孔2内放置一片硅片，而在石墨框的上方还设置有特气管路3，每一行的方格孔2对应一根整体式的特气管路3用于供气，在加工时，由于每根特气管路3是一个整体，没有办法调整列间膜厚/折射率的差异，导致板式PECVD设备的石墨框内各列间电池片的膜厚/折射率均匀性较差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种板式PECVD设备，能够便于调整列间膜厚/折射率的差异，提高石墨框内各列间电池片的膜厚/折射率均匀性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种板式PECVD设备，包括石墨框、以及设置于所述石墨框的上方的特气管路，所述石墨框包括内部中空的石墨边框，所述石墨边框的内部设有若干个承载硅片的方格孔，对应于同一行的多个所述方格孔的所述特气管路包括位于同一行且间隔设置的多个子特气管路，多个所述子特气管路分别独立供气。

其中，同一行所述方格孔中，一个所述方格孔对应设置有一个所述子特气管路。

其中，同一行所述方格孔中，位于中间段的若干个所述方格孔对应设置有一个所述子特气管路，位于首段和尾段的若干个所述方格孔分别对应设置有另一个所述子特气管路。

优选的，同一行所述方格孔的数量为5个。

进一步优选的，位于中间段的所述方格孔的数量为1个，对应的，位于首段和尾段的所述方格孔的数量分别为2个。

进一步优选的，位于中间段的所述方格孔的数量为3个，对应的，位于首段和尾段的所述方格孔的数量分别为1个。

其中，每一个所述子特气管路至少设置有三个特气孔，每一个所述方格孔至少对应三个所述特气孔。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型的板式PECVD设备，包括石墨框、以及设置于所述石墨框的上方的特气管路，所述石墨框包括内部中空的石墨边框，所述石墨边框的内部设有若干个承载硅片的方格孔，对应于同一行的多个所述方格孔的所述特气管路包括位于同一行且间隔设置的多个子特气管路，多个所述子特气管路分别独立供气；其通过设置多个子特气管路分别对应同行的多个方格孔中的硅片，且每个特气管路又独立供气，也即将现有技术中的一整段式的特气管路替换为分段式设计，因而当一行中的某一列的膜厚/折射率发生异常时，就可以通过调整对应的子特气管路的气体流量，来调整对应的膜厚/折射率，从而达到改善均匀性的目的。

附图说明

图1是现有技术中的板式PECVD设备的俯视结构示意图。

图2是图1中的特气管路的侧视结构示意图。

图3是本实用新型的板式PECVD设备的俯视结构示意图。

图4是图3中的特气管路的侧视结构示意图。

图5是本实用新型的板式PECVD设备的特气管路的另一种实施方式的侧视结构示意图。

图6是本实用新型的板式PECVD设备的特气管路的再一种实施方式的侧视结构示意图。

图中：1-石墨边框；2-方格孔；3-特气管路。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例一

如图3所示，一种板式PECVD设备，包括石墨框、以及设置于所述石墨框的上方的特气管路3，所述石墨框包括内部中空的石墨边框1，所述石墨边框1的内部设有若干个承载硅片的方格孔2，对应于同一行的多个所述方格孔2的所述特气管路3包括位于同一行且间隔设置的多个子特气管路，多个所述子特气管路分别独立供气。

该板式PECVD设备通过设置多个子特气管路分别对应同行的多个方格孔中的硅片，且每个特气管路又独立供气，也即将现有技术中的一整段式的特气管路替换为分段式设计，因而当一行中的某一列的膜厚/折射率发生异常时，就可以通过调整对应的子特气管路的气体流量，来调整对应的膜厚/折射率，从而达到改善均匀性的目的。

优选的，如图4所示，同一行所述方格孔2中，一个所述方格孔2对应设置有一个所述子特气管路。进一步优选的，石墨边框1中的方格孔2一般为5列，也即每行5个，这时，在本实施例中，子特气管路的数量对应方格孔2的数量，其也为5个，也可以说，子特气管路的数量与同一行中方格孔的数量(或者方格孔的列数)相同，从而可以达到子特气管路与方格孔一一对应，每个子特气管路用于为同一列的方格孔中的硅片供气，当其中一列的膜厚/折射率需要调整时，可以单独调整该列方格孔对应的子特气管路，从而不影响其他列的方格孔对应的子特气管路的工作。

优选的，每一个所述子特气管路至少设置有三个特气孔，每一个所述方格孔2至少对应三个所述特气孔。且每个方格孔对应的子特气管路的特气孔的数量一致，这样可以进一步保证列间膜厚/折射率的一致性。

实施例二

在本实施例中，与实施例一的不同之处在于，同一行所述方格孔2中，位于中间段的若干个所述方格孔2对应设置有一个所述子特气管路，位于首段和尾段的若干个所述方格孔2分别对应设置有另一个所述子特气管路。优选的，同一行所述方格孔2的数量为5个。

如图5所示，作为本实施方式的一种优选，位于中间段的所述方格孔2的数量为1个，对应的，位于首段和尾段的所述方格孔2的数量分别为2个。也就是说，位于中间段的一个方格孔对应有一个子特气管路，而位于首段的两个方格孔对应另一个子特气管路，位于尾段的两个方格孔对应再一个子特气管路。

如图6所示，作为本实施方式的另一种优选，位于中间段的所述方格孔2的数量为3个，对应的，位于首段和尾段的所述方格孔2的数量分别为1个。也就是说，位于中间段的三个方格孔对应有一个子特气管路，而位于首段的一个方格孔对应另一个子特气管路，位于尾段的一个方格孔对应再一个子特气管路。

综上所述，本实用新型的板式PECVD设备，由于特气管路的设置方式不同，其进气的控制方式也不同，从而将整体式变为分段式，使得5列间的膜厚/折射率差异可以随时分别进行调整，来达到改善列与列之间膜厚/折射率均匀性的目的。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。