一种大开路电压纳米异质结太阳能电池的制作方法

文档序号:12566068阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:包括衬底层(1),所述衬底层(1)之上设有p-型半导体纳米线(2),所述p-型半导体纳米线(2)的一端之上设有金电极(3),所述p-型半导体纳米线(2)的另一端之上设有钝化层(4),所述钝化层(4)之上设有n-型半导体薄膜(5),所述n-型半导体薄膜(5)之上设有钛电极(6)。

2.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述衬底层(1)为石英玻璃、带有氧化层的硅片、蓝宝石衬底或者PET(Polyethylene terephthalate,聚对苯二甲酸乙二醇酯)柔性衬底。

3.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述的p-型半导体纳米线(2)为p-型硒化锌(ZnSe)纳米线;所述的p-型半导体纳米线(2)的直径为150-250纳米,长度为15-25微米,空穴浓度为1018-1019cm-3;所述的p-型半导体纳米线(2)在衬底层(1)之上呈水平阵列排布,p-型半导体纳米线平行间隔为1-5微米。

4.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述金电极(3)厚度为50-100纳米。

5.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述钝化层(4)为氮化硅(Si3N4)或氧化铝(Al2O3)层;所述钝化层(4)厚度为4-8纳米;所述钝化层(4)将p-型半导体纳米线(2)的一端均匀包裹。

6.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述n-型半导体薄膜(5)为n-型硫化镉(CdS)薄膜;所述n-型半导体薄膜(5)的厚度为40-100纳米。

7.根据权利要求1所述的一种大开路电压纳米异质结太阳能电池,其特征在于:所述钛电极(6)的厚度为20-40纳米。

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