技术特征:
技术总结
一种以大板面工艺制作晶粒凸块结构的方法,包括:提供集合载板;在集合载板上固定多个半导体晶粒,且半导体晶粒上具有金属电极垫与绝缘保护层,绝缘保护层暴露出金属电极垫;进行无电电镀工艺,以在金属电极垫上形成球底金属层;形成一介电层,覆盖于该集合载板、这些半导体晶粒与该球底金属层上;在该介电层中形成多个导通孔,这些导通孔暴露出该球底金属层;以及在该介电层的这些导通孔中形成多个金属凸块。本发明可简化半导体晶粒的电性连接加工工艺且易于实施,具有产出快且降低制造成本的功效。
技术研发人员:许诗滨;许哲玮;郭同尧
受保护的技术使用者:恒劲科技股份有限公司
技术研发日:2017.07.07
技术公布日:2019.01.15