工业用机器人的手及工业用机器人的制作方法

本发明涉及搬运搬运对象的工业用机器人的手。另外，本发明涉及具备该手的工业用机器人。

背景技术：

目前，已知有搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人的手具备形成为直线状的两根叉。在叉的前端侧安装有真空吸附载置于叉的玻璃基板的多个吸附垫。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－19061号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

本申请发明人研究了例如可用于形成为膜状的有机el(电致发光)显示器的制造系统中的工业用机器人的手的构造。在膜状的有机el显示器的制造系统中，例如，既有以单体搬运形成为膜状的制造中途的有机el显示器的制造系统，也有以被粘贴在玻璃基板上的状态来搬运形成为膜状的制造中途的有机el显示器的制造系统。

在通过专利文献1中记载的工业用机器人的手以单体搬运制造中途的膜状的有机el显示器时，因为作为搬运对象的制造中途的有机el显示器的刚性低，所以制造中途的有机el显示器的、被吸附于吸附垫的部分有可能大幅变形并损坏。另外，在通过专利文献1中记载的工业用机器人的手以粘贴于玻璃基板的状态搬运制造中途的膜状的有机el显示器时，因为作为搬运对象的制造中途的有机el显示器的刚性高，所以例如当制造中途的有机el显示器挠曲时，使得吸附垫无法与该有机el显示器接触，有可能使该有机el显示器不能被吸附垫吸附。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种工业用机器人的手，其具备真空吸附搬运对象的下表面的吸附机构，其中，能够抑制由吸附机构吸附刚性较低的搬运对象时的搬运对象的变形，且能够利用吸附机构可靠地吸附刚性较高的搬运对象。另外，本发明的技术问题在于，提供一种具备该手的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的手，其是搬运搬运对象的工业用机器人的手，其特征在于，具备：多根叉，所述多根叉供搬运对象载置于上表面侧；以及吸附机构，所述吸附机构真空吸附载置于叉的上表面侧的搬运对象的下表面，吸附机构具备：吸附板，其与搬运对象的下表面接触并吸附搬运对象；固定部件，其供吸附板固定于上端侧，并且形成有沿上下方向贯通的吸引孔；以及浮动机构，其支承固定部件使其相对于叉可倾斜运动，吸附板由多孔质的树脂形成。

在本发明的工业用机器人的手中，与搬运对象的下表面接触并吸附搬运对象的吸附板由多孔质的树脂形成。因此，在本发明中，吸附搬运对象的孔(即气孔)的大小很小。因此，在本发明中，能够抑制利用吸附机构吸附刚性较低的搬运对象时的搬运对象的变形。另外，在本发明中，固定吸附板的固定部件被浮动机构支承为相对于叉可倾斜运动，因此，即使刚性较高的搬运对象挠曲，也能够根据该搬运对象的挠曲使吸附板倾斜，使搬运对象与吸附板可靠地接触。因此，在本发明中，能够利用吸附机构可靠地吸附刚性较高的搬运对象。

另外，为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人的手，其是搬运搬运对象的工业用机器人的手，其特征在于，具备：多根叉，所述多根叉供搬运对象载置于上表面侧；以及吸附机构，所述吸附机构真空吸附载置于叉的上表面侧的搬运对象的下表面，吸附机构具备：吸附板，其与搬运对象的下表面接触并吸附搬运对象；固定部件，其供吸附板固定于上端侧，并且形成有沿上下方向贯通的吸引孔；以及浮动机构，其支承固定部件使其相对于叉可倾斜运动，在吸附板上形成有像喷头的多个喷孔那样配置的多个第二吸引孔。

在本发明的工业用机器人的手中，在与搬运对象的下表面接触并吸附搬运对象的吸附板上，形成有像喷头的多个喷孔那样配置的多个第二吸引孔。因此，在本发明中，能够减小吸附搬运对象的一个第二吸引孔的大小。因此，在本发明中，能够抑制利用吸附机构吸附刚性较低的搬运对象时的搬运对象的变形。另外，在本发明中，固定吸附板的固定部件被浮动机构支承为相对于叉可倾斜运动，因此，即使刚性较高的搬运对象挠曲，也能够根据该搬运对象的挠曲使吸附板倾斜，使搬运对象与吸附板可靠地接触。因此，在本发明中，能够利用吸附机构可靠地吸附刚性较高的搬运对象。

在本发明中，理想的是，浮动机构具备：保持部件，其固定于叉并且可倾斜运动地保持固定部件；施力部件，其相对于保持部件将固定部件朝向上侧施力；以及环状的橡胶板，其连接固定部件和保持部件，橡胶板的外周侧部分遍及橡胶板的周向的整个区域固定于保持部件，橡胶板的内周侧部分遍及橡胶板的周向的整个区域固定于固定部件，被固定部件、保持部件和橡胶板包围的部分形成连接吸引孔的密封空间，在保持部件上形成有与密封空间连接的第三吸引孔，当空气被与第三吸引孔连接的吸引机构吸引且搬运对象被吸附在吸附板时，密封空间形成负压，吸附板及固定部件克服施力部件的作用力向下侧移动。这样构成时，当吸附板吸附搬运对象且吸附板及固定部件向下侧移动时，吸附板及固定部件相对于叉不易晃动。因此，在进行搬运对象的搬运时，能够使装载于手的搬运对象的状态稳定。

在本发明中，理想的是，施力部件为压缩螺旋弹簧，压缩螺旋弹簧的上端侧部分配置于吸引孔中。这样构成时，与施力部件配置在吸引孔的外侧的情况相比，能够将吸附机构小型化。

在本发明中，例如，保持部件具备以在上下方向上夹着橡胶板的外周侧部分的方式配置的第一保持部件及第二保持部件，第一保持部件配置于叉的上表面侧，第二保持部件配置于形成为中空状的叉的内部，第三吸引孔形成于第二保持部件。

本发明的手能够用于工业用机器人，所述工业用机器人具备：供手可转动地连接于前端侧的臂和可转动地连接臂的基端侧的主体部。在该工业用机器人中，能够抑制利用吸附机构吸附刚性较低的搬运对象时的搬运对象的变形，并且能够利用吸附机构可靠地吸附刚性较高的搬运对象。

(发明效果)

如上所述，在本发明中，能够抑制利用吸附机构吸附刚性较低的搬运对象时的搬运对象的变形，并且能够利用吸附机构可靠地吸附刚性较高的搬运对象。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是图1所示的手的俯视图。

图4是用于说明图3所示的手的基部的内部构造的俯视图。

图5是用于说明图3所示的叉的动作的俯视图。

图6是图3所示的吸附机构及叉的剖视图。

图7是用于说明本发明另一实施方式的吸附板的结构的剖视图。

图8是图7所示的吸附板的俯视图。

(符号说明)

1机器人(工业用机器人)

2搬运对象

3手

4臂

5主体部

18、19叉

22吸附机构

40吸附板

40a吸引孔(第二吸引孔)

41固定部件

41d吸引孔

42浮动机构

43保持部件

44橡胶板

45压缩螺旋弹簧(施力部件)

48第一保持部件

49第二保持部件

49b吸引孔(第三吸引孔)

s密封空间

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。

本方式的工业用机器人1(以下，称为“机器人1”)是用于搬运规定的搬运对象2的水平多关节型机器人。该机器人1例如被编入有机el显示器的制造系统中来使用。本方式的搬运对象2例如是形成为膜状的制造中途的有机el显示器，在有机el显示器的制造系统中，该有机el显示器被以单体来搬运，或者以粘贴在玻璃基板上的状态来搬运。另外，搬运对象2形成为长方形的平板状。本方式的机器人1可以搬运大小不同的多种搬运对象2(参照图3)。

机器人1具备装载搬运对象2的两个手3、前端侧分别连接两个手3的两条臂4、支承两条臂4的主体部5、沿水平方向可移动地支承主体部5的底座6。主体部5具备支承臂4的基端侧并可上下移动的臂支架7、可上下移动地支承臂支架7的支承框架8、构成主体部5的下端部分并且相对于底座6可水平移动的基座9、固定支承框架8的下端并且相对于基座9可转动的回转框架10。

臂4由第一臂部12和第二臂部13这两个臂部构成。第一臂部12的基端侧与臂支架7可转动地连接。即，臂4的基端侧与主体部5可转动地连接。第二臂部13的基端侧可转动地连接在第一臂部12的前端侧。手3可转动地连接在第二臂部13的前端侧。即，手3可转动地连接在臂4的前端侧。机器人1具备使两条臂4分别伸缩的两个臂驱动机构。

支承框架8经由臂支架7可升降地保持手3及臂4。该支承框架8具备可升降地保持臂支架7的柱状的第一支承框架14和可升降地保持第一支承框架14的柱状的第二支承框架15。机器人1具备使臂支架7相对于第一支承框架14升降的升降机构、使第一支承框架14相对于第二支承框架15升降的升降机构、沿上下方向引导第一支承框架14的导向机构、向上下方向引导臂支架7的导向机构。

第二支承框架15的下端固定于回转框架10。如上所述，回转框架10相对于基座9可转动。机器人1具备使回转框架10相对于基座9转动的转动机构。如上所述，基座9相对于底座6可水平移动。机器人1具备使基座9相对于底座6水平移动的水平移动机构。

(手的结构)

图3是图1所示的手3的俯视图。图4是用于说明图3所示的手3的基部17的内部构造的俯视图。图5是用于说明图3所示的叉18、19的动作的俯视图。

手3具备与第二臂部13的前端侧可转动地连接的基部17和多个供搬运对象2载置在上表面侧的叉18、19。本方式的手3具备两根叉18和两根叉19共四根叉18、19。另外，手3具备固定于叉18、19的上表面侧并载置搬运对象2的多个载置部件21和多个真空吸附载置于载置部件21的搬运对象2(即，载置于叉18、19的上表面侧的搬运对象2)的下表面的吸附机构22。

基部17形成为中空状，并且形成为上下方向的厚度薄的扁平的大致长方体状。叉18、19形成为直线状。四根叉18、19从基部17向水平方向的同方向突出。另外，四根叉18、19相互平行配置。设叉18、19的长度方向(图3等的x方向)为“前后方向”、与上下方向和前后方向正交的图3等的y方向为“左右方向”时，两根叉18配置于左右方向的内侧，两根叉19配置于左右方向的外侧。

叉18、19由含有碳纤维的树脂形成。另外，叉18、19形成为中空状，并且形成为细长的大致长方体状。叉18、19的上下两面形成平面。另外，叉18、19的左右两侧面形成与左右方向正交的平面。叉18、19的上下方向的厚度随着从叉18、19的基端朝向前端而逐渐变薄(参照图2)。

载置部件21由树脂形成。另外，载置部件21形成为大致长方形的平板状。在两根叉18各自的上表面及两根叉19各自的上表面固定有多个载置部件21。多个载置部件21在前后方向上排列在叉18、19的、可载置搬运对象2的范围的整个区域内。即，如图3所示，多个载置部件21在前后方向上以连续的方式排列在叉18、19的、可载置搬运对象2的范围的整个区域内。

在叉18上，吸附机构22安装于叉18的前端侧的两个部位。在叉19上，吸附机构22被安装于叉19的前端侧的两个部位和前后方向上的叉19的中间位置的一个部位共三个部位。在安装吸附机构22的部位，前后方向上的载置部件21的间隔变宽，吸附机构22配置于前后方向上的载置部件21之间。关于吸附机构22的详细结构将在后文叙述。

叉18、19的基端部配置于形成为中空状的基部17的内部。如图4所示，在基部17的内部配置有变更左右方向上的两根叉18的间距的叉间距变更机构26和变更左右方向上的两根叉19的间距的叉间距变更机构27。即，手3具备叉间距变更机构26、27。

叉间距变更机构26具备作为驱动源的电动机29、与电动机29的输出轴连接的螺纹部件30、固定于两根叉18中的一方的螺母部件(省略图示)、固定于两根叉18中的另一方的螺母部件(省略图示)。叉间距变更机构27与叉间距变更机构26同样地构成。即，叉间距变更机构27具备与电动机29同样地构成的电动机34、与螺纹部件30同样地构成的螺纹部件35、固定于两根叉19中的一方的螺母部件(省略图示)、固定于两根叉19中的另一方的螺母部件(省略图示)。

螺纹部件30、35形成为细长的棒状。螺纹部件30、35配置为螺纹部件30、35的轴向和左右方向一致，且被基部17可旋转地支承。螺纹部件30、35具备构成螺纹部件30、35的一端侧的右旋螺纹部30a、35a和构成螺纹部件30、35的另一端侧的左旋螺纹部30b、35b。在右旋螺纹部30a、35a形成有右旋螺纹，在左旋螺纹部30b、35b形成有左旋螺纹。

固定于一叉18的螺母部件与右旋螺纹部30a卡合，固定于另一叉18的螺母部件与左旋螺纹部30b卡合。同样，固定于一叉19的螺母部件与右旋螺纹部35a卡合，固定于另一叉19的螺母部件与左旋螺纹部35b卡合。两根叉18及两根叉19通过两根共同的导轨36沿左右方向被引导。导轨36以导轨36的长度方向和左右方向一致的方式固定于基部17。在叉18、19上安装有与导轨36卡合的导向块(省略图示)。

在叉间距变更机构26中，当电动机29旋转使得螺纹部件30旋转时，一叉18和另一叉18向左右反方向移动相同的量，变更两根叉18的左右方向的间距。同样，在叉间距变更机构27中，当电动机34旋转使得螺纹部件35旋转时，一叉19和另一叉19向左右反方向移动相同的量，变更两根叉19的左右方向的间距。

在本方式中，当由机器人1搬运的搬运对象2的大小确定时，在机器人1搬运搬运对象2的搬运动作之前，叉间距变更机构26根据需要而变更两根叉18的左右方向的间距，叉间距变更机构27根据需要变更两根叉19的左右方向的间距。即，叉间距变更机构26、27在机器人1对搬运对象2的搬运动作中不变更叉18、19的左右方向的间距。例如，如图5所示，叉间距变更机构26、27根据由机器人1搬运的搬运对象2的大小，变更叉18、19的左右方向的间距。

(吸附机构的结构)

图6是图3所示的吸附机构22及叉18、19的剖视图。

在叉18、19的上表面部形成有配置吸附机构22的贯通孔18a、19a。贯通孔18a、19a在上下方向上贯通叉18、19的上表面部。吸附机构22具备与搬运对象2的下表面接触并吸附搬运对象2的吸附板(吸附垫)40和上端侧固定吸附板40的固定部件41。另外，吸附机构22具备支承固定部件41使其相对于叉18、19可倾斜运动的浮动机构42。即，吸附机构22具备支承固定部件41以使固定部件41相对于叉18、19可倾斜的浮动机构42。

固定部件41由树脂形成。该固定部件41由形成固定部件41的上端侧部分的上端部41a、形成固定部件41的下端侧部分的下端部41b、形成上下方向上的固定部件41的中间部分的中间部41c构成。上端部41a形成为大致圆板状。下端部41b形成为大致圆柱状。中间部41c形成为外径随着朝向上侧而逐渐增大的大致圆锥台状。

下端部41b的上端与中间部41c的下端连接，上端部41a与中间部41c的上端连接。上端部41a的外径比中间部41c的上端的外径大。下端部41b的外径比中间部41c的下端的外径小。从上下方向观察时，上端部41a的中心、中间部41c的中心、下端部41b的中心一致。

在固定部件41的中心形成有沿上下方向贯通的吸引孔41d。在上端部41a的上表面形成有朝向下侧凹陷的圆形状的凹部41e。从上下方向观察时，凹部41e的中心与吸引孔41d的中心一致。在凹部41e的中心部分形成有朝向下侧凹陷的圆形状的凹部41f。从上下方向观察时，凹部41f的中心与吸引孔41d的中心一致。吸引孔41d的上端与凹部41f的中心连接。

吸附板40由多孔质的树脂形成。另外，吸附板40形成为圆板状。吸附板40配置于凹部41e中。吸附板40的上表面及下表面形成平面。另外，吸附板40固定于凹部41e。具体而言，吸附板40的下表面与凹部41e的底面接触，吸附板40的下表面通过粘接剂固定于凹部41e的底面。吸附板40的外径与凹部41e的内径大致相等。在吸附板40的上表面载置搬运对象2。

如上所述，浮动机构42支承固定部件41使其相对于叉18、19可倾斜运动。另外，浮动机构42支承固定部件41使其相对于叉18、19可上下移动。浮动机构42具备固定于叉18、19并且可倾斜运动地保持固定部件41的保持部件43、连接固定部件41和保持部件43的环状的橡胶板44、作为相对于保持部件43将固定部件41向上侧施力的施力部件的压缩螺旋弹簧45。保持部件43具备配置于叉18、19的上表面侧的第一保持部件48和配置于形成为中空状的叉18、19的内部的第二保持部件49。在本方式中，由第一保持部件48和第二保持部件49构成保持部件43。第一保持部件48和第二保持部件49分体形成。

第一保持部件48形成为上下方向的厚度薄的扁平的大致长方体状。在第一保持部件48的中心形成有沿上下方向贯通的贯通孔48a。贯通孔48a的内周面形成内径随着朝向上侧而逐渐增大的倾斜面。在第一保持部件48的上表面形成有朝向下侧凹陷的圆形状的凹部48b。从上下方向观察时，凹部48b的中心与贯通孔48a的中心一致。贯通孔48a的上端与凹部48b的中心连接。

在第一保持部件48的下表面形成有台阶，第一保持部件48的下表面的外周侧部分配置于比第一保持部件48的下表面的内周侧部分靠上侧的位置。第一保持部件48的下表面的外周侧部分与叉18、19的上表面接触。第一保持部件48从上侧固定于叉18、19的上表面部。第一保持部件48的一部分配置于贯通孔18a、19a中。

第二保持部件49形成为大致长方体的块状。在左右方向上，第二保持部件49比第一保持部件48小。第二保持部件49从下侧固定于叉18、19的上表面部。在第二保持部件49的上表面形成有朝向下侧大幅凹陷的圆形状的凹部49a。从上下方向观察时，凹部49a的中心与第二保持部件49的中心一致。在第二保持部件49的下端侧部分形成有与凹部49a的底面的中心连接的吸引孔49b。本方式的吸引孔49b是第三吸引孔。

吸引孔49b由从凹部49a的底面的中心朝向下侧凹陷的部分和从该部分的下端向前后方向的一侧延伸的部分构成，从左右方向观察时的吸引孔49b的形状为l形状。吸引孔49b的一端连接于凹部49a，在吸引孔49b的另一端，经由规定的配管连接有真空泵等吸引机构(省略图示)。

橡胶板44例如由硅橡胶形成。另外，橡胶板44形成为圆环状。固定部件41的下端部41b插通于橡胶板44的内周侧。橡胶板44的外周侧部分遍及橡胶板44的周向的整个区域固定于保持部件43。具体而言，橡胶板44的外周侧部分通过第一保持部件48的下表面和第二保持部件49的上表面固定于保持部件43。橡胶板44的外周侧部分被夹持于第一保持部件48的下表面的内周侧部分和第二保持部件49的上表面之间。即，第一保持部件48和第二保持部件49配置为在上下方向上夹着橡胶板44的外周侧部分。

橡胶板44的内周侧部分遍及橡胶板44的周向的整个区域固定于固定部件41。具体而言，橡胶板44的内周侧部分通过固定部件41的下端部41b和中间部41c之间的台阶面、垫圈50、挡圈51固定于固定部件41。垫圈50配置于比下端部41b和中间部41c之间的台阶面靠下侧的位置，橡胶板44的内周侧部分被夹在该台阶面和垫圈50的上表面之间。挡圈51以与垫圈50的下表面接触的方式安装于下端部41b，起到防止垫圈50从下端部41b脱落的作用。

固定部件41的下端部41b的外径比第二保持部件49的凹部49a的内径小，下端部41b配置于凹部49a中。另外，固定部件41的中间部41c配置于第一保持部件48的贯通孔48a中。在中间部41c的外周面和贯通孔48a的内周面之间形成有间隙。

在外力没有作用于吸附板40的状态下，从上下方向观察时，固定部件41的吸引孔41d的中心和第二保持部件49的吸引孔49b的中心(具体而言，吸引孔49b的、从凹部49a的底面朝向下侧凹陷的部分的中心)一致。压缩螺旋弹簧45的上端侧部分配置于吸引孔41d中，压缩螺旋弹簧45的下端侧部分配置于吸引孔49b中。压缩螺旋弹簧45的上端与形成于吸引孔41d的上端侧的台阶面接触，压缩螺旋弹簧45的下端与吸引孔49b的底面接触。

被固定部件41、保持部件43和橡胶板44包围的部分形成连接吸引孔41d、49b的密封空间s。具体而言，被固定部件41的下端部41b、第二保持部件49和橡胶板44包围的部分形成密封空间s。即，凹部49a的内部且橡胶板44的下侧的空间、即下端部41b的外侧的空间形成密封空间s。

在本方式中，在搬运对象2载置于吸附板40的状态下，空气被与吸引孔49b连接的吸引机构吸引时，搬运对象2经由吸引孔49b、密封空间s、吸引孔41d及吸附板40被吸引，搬运对象2被吸附于吸附板40。另外，当搬运对象2被吸附于吸附板40时，密封空间s形成负压。当密封空间s形成负压时，如图6的(b)所示，吸附板40及固定部件41克服压缩螺旋弹簧45的作用力向下侧移动。此时，橡胶板44变形。

(本方式的主要效果)

如以上说明，在本方式中，与搬运对象2的下表面接触并吸附搬运对象2的吸附板40由多孔质的树脂形成。因此，在本方式中，吸附搬运对象2的孔(即气孔)的大小很小。因此，在本方式中，能够抑制由吸附机构22吸附像形成为膜状的制造中途的有机el显示器单体那样刚性低的搬运对象2时的搬运对象2的变形。

在本方式中，固定吸附板40的固定部件41被浮动机构42支承为相对于叉18、19可倾斜运动。因此，在本方式中，即使像粘贴于玻璃基板的制造中途的膜状的有机el显示器那样刚性高的搬运对象2挠曲，也能够使吸附板40按照该搬运对象2的挠曲倾斜，使搬运对象2的下表面可靠地接触吸附板40的上表面。因此，在本方式中，能够利用吸附机构22可靠地吸附刚性高的搬运对象2。

在本方式中，当搬运对象2被吸附于吸附板40时，密封空间s形成负压，吸附板40及固定部件41克服压缩螺旋弹簧45的作用力向下侧移动。因此，在本方式中，在吸附板40吸附搬运对象2且吸附板40及固定部件41向下侧移动之后，吸附板40及固定部件41相对于叉18、19不易晃动。因此，在本方式中，在进行搬运对象2的搬运时，能够使装载于手3的搬运对象2的状态稳定。

(吸附板的变形例)

图7是用于说明本发明另一实施方式的吸附板40的结构的剖视图。图8是图7所示的吸附板40的俯视图。

在上述的方式中，吸附板40也可以由多孔质的树脂以外的树脂形成。例如，吸附板40也可以由聚醚醚酮形成。在这种情况下，如图7、图8所示，在吸附板40上形成有像喷头的多个喷孔那样配置的多个作为第二吸引孔的多个吸引孔40a。多个吸引孔40a在上下方向上贯通吸附板40。在吸附板40的下表面，以朝向上侧凹陷的方式形成有连接多个吸引孔40a的下端的吸引用的凹部40b。在图7中，对于与上述的方式共同的结构标注同一符号。

在图7所示的例子中，固定部件41由固定吸附板40的第一固定部件58和形成固定部件41的中心部分的第二固定部件59构成。第一固定部件58和第二固定部件59分体形成，当第一固定部件58和第二固定部件59形成一体时，成为与上述方式的固定部件41大致相同的形状。在第二固定部件59的中心形成有吸引孔41d。吸附板40通过螺丝(省略图示)固定于第一固定部件58。

在橡胶板44的内周侧插通有第二固定部件59。橡胶板44的内周侧部分通过形成于第二固定部件59的下端的突缘部59a、第一固定部件58和挡圈51遍及橡胶板44的周向的整个区域固定于固定部件41。突缘部59a配置于比第一固定部件58的下表面靠下侧的位置，在突缘部59a的上表面和第一固定部件58的下表面之间夹着橡胶板44的内周侧部分。挡圈51安装于第二固定部件59的上端部，起到防止第二固定部件59从第一固定部件58脱落的作用。

在图7、图8所示的变形例中，当搬运对象2吸附于吸附板40时，密封空间s也形成负压，如图7的(b)所示，吸附板240及固定部件41克服压缩螺旋弹簧45的作用力向下侧移动。在该变形例中，也能够获得与上述的方式相同的效果。例如，因为在吸附板40上形成有像喷头的多个喷孔那样配置的多个吸引孔40a，所以能够减小吸附搬运对象2的一个吸引孔40a的大小。因此，能够抑制由吸附机构22吸附刚性较低的搬运对象2时的搬运对象2的变形。

(其它实施方式)

上述的方式是本发明的最佳方式之一例，但不限于此，在不脱离本发明的宗旨的范围内可以实施各种变形。

在上述的方式中，吸附板40可以形成为四边形等多边形的平板状，也可以形成为椭圆形或长圆形(日文：長円形)的平板状。另外，在上述的方式中，相对于保持部件43将固定部件41向上侧施力的施力部件也可以是板簧等弹簧部件。但是，如上述的方式，在相对于保持部件43将固定部件41向上侧施力的施力部件为压缩螺旋弹簧45，将压缩螺旋弹簧45的上端侧部分配置于吸引孔41d中，将压缩螺旋弹簧45的下端侧部分配置于吸引孔49b中的情况下，与施力部件配置在吸引孔41d、49b的外侧的情况相比，能够将吸附机构22小型化。

在上述的方式中，左右方向上的两根叉18的间距可以固定，左右方向上的两根叉19的间距也可以固定。另外，在上述的方式中，手3具备的叉的数量可以是两根或三根，也可以是五根以上。该情况下，左右方向上的多个叉的间距可以变更也可以固定。

在上述的方式中，机器人1是水平多关节型的机器人，但应用本发明的机器人也可以是水平多关节型的机器人以外的工业用机器人。例如，应用本发明的机器人也可以是上述专利文献1中公开的工业用机器人。