技术特征:
技术总结
一种半导体装置的制造方法,包含形成第一接触衬垫及第二接触衬垫在第一钝化层上、沉积第一缓冲层在第一接触衬垫及第二接触衬垫上,以及沉积第二缓冲层在第一缓冲层及第二接触衬垫上。第一接触衬垫是在电路区域内,且第二接触衬垫是在非电路区域内。第二接触衬垫的边缘是被暴露,而第一接触衬垫的周围及第二接触衬垫的边缘是被第一缓冲层覆盖。
技术研发人员:葛贝夫·辛格;李智铭;林其谚;郭文昌;刘洲宗
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2017.09.15
技术公布日:2018.11.13