一种清洗花篮的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种清洗花篮，其包括多个弯折围栏，在弯折围栏中包括至少一个弯折处；且在该弯折围栏中包括上边框、下边框以及设于上边框和下边框之间的至少一个连接件，每两个弯折围栏中的连接件匹配设置，清洗花篮通过多个弯折围栏中的连接件匹配连接而成。通过本实用新型能够实现调整栅栏组合空间的大小，提升效率，节约资源的技术效果。
【专利说明】
一种清洗花篮
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种承载容器，尤其涉及一种清洗花篮。
【背景技术】
[0002]随着半导体制造技术的发展，产品的样式不断丰富，晶圆尺寸也是多种多样，变的越来越大。
[0003]在现有技术中，一般来说，半导体行业用的方形清洗花篮的结构是固定的，装片量也是一定的，故其所能容纳晶圆的尺寸也是固定的。这样，在实际应用中，一旦出现产线晶圆尺寸变更，或者需要清洗的晶圆尺寸不是标准尺寸，则现有的清洗花篮就不能适用，需要采购新的配套的清洗花篮。可以看出，随着晶圆尺寸的不断增大，势必以往小尺寸的清洗花篮使用频率将越来越小，甚至是直接淘汰积压在库房，造成不必要的浪费，提高了企业的生产成本，显然也不符合持续发展的要求。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种清洗花篮，解决现有清洗花篮使用效率不足的问题。
[0005]本实用新型中包括的技术方案为:
[0006]—种清洗花篮，包括多个弯折围栏，所述弯折围栏中包括至少一个弯折处;所述弯折围栏中包括上边框、下边框以及设于所述上边框和下边框之间的至少一个连接件，且每两个所述弯折围栏中的连接件匹配设置，所述清洗花篮通过所述多个弯折围栏中的连接件匹配连接而成。
[0007]进一步优选地，在所述弯折围栏中，上边框和下边框之间均匀设置多个连接件。
[0008]进一步优选地，在所述弯折围栏中，所述弯折处为通过铰接的方式连接。
[0009]进一步优选地，所述弯折围栏一体成型，且所述弯折围栏采用聚四氟乙烯制成。
[0010]进一步优选地，每两个所述弯折围栏中的连接件匹配设置具体包括:
[0011]在一个弯折围栏中包含的连接件为空心立柱，在另一个弯折围栏中包含的连接件为实心立柱，且所述空心立柱和所述实心立柱的同时朝向所述弯折围栏的内侧或外侧，两个弯折围栏相邻设置通过所述空心立柱和所述实心立柱匹配连接。
[0012]进一步优选地，所述弯折围栏中的上边框和/或下边框上设有至少一个朝向所述弯折围栏内侧或外侧的定位凸点。
[0013]进一步优选地，在所述弯折围栏中，所述定位凸点均匀设置在上边框和/或下边框上，且设置在连接件之间。
[0014]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0015]在本实用新型中，在弯折围栏之间设置连接件，且每两个弯折围栏中包括的连接件匹配设置，这样，在实际应用中，通过弯折围栏之间的匹配连接实现清洗花篮的组装。可以看出，其拆卸方便，工作人员可以根据晶圆大小随意调节清洗花篮的大小，在碰到非常规晶圆尺寸时，不再需要重新购买相应尺寸的清洗花篮，节约了成本的同时节省生产时间和劳动成本，大大提高了清洗花篮的使用效率。
[0016]再有，在本实用新型中，在弯折围栏上边框和下边框中设置定位凸点，这样，在调节清洗花篮尺寸的时候更加准确方便和牢固。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型中弯折围栏一种实施方式结构示意图；
[0018]图2是本实用新型的两个弯折围栏组装结构示意图；
[0019]图3是本实用新型的四个弯折围栏组装结构示意图；
[0020]图4是本实用新型的实心立柱和空心立柱结构示意图；
[0021]图5为实用新型中定位凸点结构示意图。
[0022]附图标记:
[0023]I O-弯折围栏，14-弯折处，11-上边框，12-下边框，13-连接件，131-实心立柱，132-空心立柱，1-第一弯折围栏，2-第二弯折围栏，3-第三弯折围栏，4-第四弯折围栏，15-定位凸点。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0025]我们知道，在实际应用中，一般来说清洗花篮的护栏由一个四边形的围栏组装而成，且现有的清洗花篮的四边都是固定的，不能按照实际需求对其进行调整。故为了解决这一问题，在本实施方式中，我们提供了一种由多个弯折围栏组装而成的清洗花篮，在每个弯折围栏中包括至少一弯折处。更具体来说，弯折围栏中包括上边框、下边框以及设于上边框和下边框之间的至少一个连接件，且每两个弯折围栏中的连接件匹配设置，清洗花篮通过多个弯折围栏中的连接件匹配连接而成。
[0026]在一个具体实施例中，如图1所示，每个弯折围栏中包括一个直角弯折处14，这样，四个这种弯折围栏组装在一起就能形成一个外形为长方形的清洗花篮。在组装过程中，由每个弯折围栏中包括一个直角弯折处，故实际上每个弯折围栏由两段围栏组成，且每个弯折围栏中的两段围栏分别与之相邻的弯折围栏中的一段围栏匹配连接。若在本实施例中包括的弯折围栏分别为第一弯折围栏1(包括第一围栏和第二围栏)、第二弯折围栏2(包括第三围栏和第四围栏)、第三弯折围栏3(包括第五围栏和第六围栏)以及第四弯折围栏4(包括第七围栏和第八围栏)，故，在组装过程中，可以通过使用第二围栏与第三围栏匹配连接(如图2所示)、第四围栏与第五围栏匹配连接、第六围栏与第七围栏匹配连接以及第八围栏与第一围栏匹配连接而成，如图4所示。当然，在其他实施例中，该清洗花篮还可以由更多数量的弯折围栏组装而成，如包括5个、6个甚至更多，不同的是，在这些实施例中，每个弯折围栏中两段围栏之间的角度不是直角，而是要根据实际情况进行设定。故，在这里，我们对清洗花篮中包括含的弯折围栏的数量以及每个弯折围栏中两个围栏之间所呈的角度不做限定，只要能够组装成清洗花篮，都包括在本实施方式的内容中。
[0027]在一个具体实施例中，每个弯折围栏中包括两个直角弯折处，这样，两个这种弯折围栏组装在一起就能形成一个外形为长方形的清洗花篮。在组装过程中，由每个弯折围栏中包括两个直角弯折处，故实际上每个弯折围栏由三段围栏组成，且每个弯折围栏中的两段围栏分别与之相邻的弯折围栏中的一段围栏匹配连接。若在本实施例中包括的弯折围栏分别为第一弯折围栏(包括第一围栏、第二围栏和第三围栏，第二围栏的两端分别与第一围栏和第三围栏的一端连接)和第二弯折围栏(包括第四围栏、第五围栏和第六围栏，第五围栏的两端分别与第四围栏和第六围栏的一端连接)。在组装过程中，可以通过使用第一围栏与第四围栏匹配连接以及第三围栏与第六围栏匹配连接而成。同样地，在其他实施例中，该清洗花篮还可以由更多数量的弯折围栏组装而成，如包括3个、4个甚至更多，不同的是，在这些实施例中，每个弯折围栏中两段围栏之间的角度不是直角，而是要根据实际情况进行设定。再有，以上我们只是示例性地给出了弯折围栏中包括一个弯折处和两个弯折处的实施例，在其他实施例中，每个弯折围栏中还可以包括其他数量的弯折处，如3个、4个甚至更多，理论上来说，只要最后能够组装成大小伸缩调节的清洗花篮，都包括在本实施方式的内容。
[0028]对上述实施方式进行改进得到本实施方式，在本实施方式中，在弯折围栏中，上边框11和下边框12之间均匀设置多个连接件13。在一个具体实施例中，在每个弯折围栏中，上边框11和下边框12之间均匀设置4个连接件13，且需要相互连接的围栏出一一对应设置。如，第一弯折围栏中的第二围栏和第二弯折围栏中的第三围栏相互匹配连接，则第二围栏和第三围栏中的连接件一一对应设置(接每个弯折围栏中包括一个直角弯折处实施例)，即，如果第二围栏中均匀设置4个连接件，则第三围栏中设置与之一一对应的4个匹配连接件。
[0029]对上述实施方式进行改进得到本实施方式，具体来说，在本实施方式中，弯折围栏中的弯折处14通过铰接的方式连接，这样每个弯折围栏中包括的两个围栏之间的夹角可以自由调节。在另一实施方式中，弯折围栏通过模具一体成型，表面进行磨抛、倒角等处理，使其表面光滑，不损伤半导体表面器件。且在本实施方式中，该弯折围栏采用聚四氟乙烯制成。
[0030]对上述实施方式进行改进得到本实施方式，具体来说，在本实施方式中，每两个弯折围栏中的连接件13匹配设置具体包括:在一个弯折围栏中包含的连接件13为空心立柱132，在另一个弯折围栏中包含的连接件13为实心立柱131，且空心立柱132和实心立柱131的同时朝向弯折围栏的内侧或外侧，两个弯折围栏相邻设置通过空心立柱132和实心立柱131匹配连接。在一个具体实施例中，若清洗花篮中包括的弯折围栏分别为第一弯折围栏(包括第一围栏、第二围栏和第三围栏，第二围栏的两端分别与第一围栏和第三围栏的一端连接)和第二弯折围栏(包括第四围栏、第五围栏和第六围栏，第五围栏的两端分别与第四围栏和第六围栏的一端连接)。依照之前的描述，我们知道，在组装过程中可以为第一围栏与第四围栏匹配连接以及第三围栏与第六围栏匹配连接。在此时，假若第一围栏中包括的连接件13的形式为实心立柱131，则与之匹配连接的第四围栏中包括的连接件13的形式为空心立柱132;相对应地，假若第三围栏中包括的连接件13的形式为空心立柱132，则第六围栏中包括的连接件13的形式为实心立柱131。可以看出，在具体实施例中，只要在组装的过程中匹配连接的两段围栏中设置的连接件13匹配即可，每个弯折围栏中包括的两段围栏中的连接件13的具体形式可以相同也可以不同，依照具体使用情况而定。甚至在一个具体实施例中，若第一围栏中包括两个实心立柱131和两个空心立柱132，则只要与之对应的第三围栏中相对应的两个空心立柱132和两个实心立柱131即可。
[0031 ]对上述实施方式进行改进得到本实施方式，具体来说，在本实施方式中，弯折围栏中的上边框11和/或下边框12上设有至少一个朝向弯折围栏内侧或外侧的定位凸点15。更进一步来说，在弯折围栏中，定位凸点15均匀设置在上边框11和/或下边框12上，且设置在连接件13之间。
[0032]在一个具体实施例中，若清洗围栏中包括的弯折围栏分别为第一弯折围栏1(包括第一围栏和第二围栏)、第二弯折围栏2(包括第三围栏和第四围栏)、第三弯折围栏3(包括第五围栏和第六围栏)以及第四弯折围栏4(包括第七围栏和第八围栏)，且在每个围栏中分别包括6个连接件13，则在每个围栏中两个连接件13中分别设置一个朝向弯折围栏内侧的定位凸点15，这样，在在组装过程中，使用第二围栏与第三围栏匹配连接、第四围栏与第五围栏匹配连接、第六围栏与第七围栏匹配连接以及第八围栏与第一围栏匹配连接的过程中，首先通过定位凸点15进行定位。在其他实施例中，每段围栏中还可以包括其他数量的定位凸点15，在此不做限定。
[0033]除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式，凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围内。
【主权项】
1.一种清洗花篮，其特征在于，所述清洗花篮包括多个弯折围栏，所述弯折围栏中包括至少一个弯折处;所述弯折围栏中包括上边框、下边框以及设于所述上边框和下边框之间的至少一个连接件，且每两个所述弯折围栏中的连接件匹配设置，所述清洗花篮通过所述多个弯折围栏中的连接件匹配连接而成。2.如权利要求1所述的清洗花篮，其特征在于，在所述弯折围栏中，上边框和下边框之间均匀设置多个连接件。3.如权利要求1或2所述的清洗花篮，其特征在于，在所述弯折围栏中，所述弯折处为通过铰接的方式连接。4.如权利要求1或2所述的清洗花篮，其特征在于，所述弯折围栏一体成型，且所述弯折围栏采用聚四氟乙烯制成。5.如权利要求1或2所述的清洗花篮，其特征在于，每两个所述弯折围栏中的连接件匹配设置具体包括: 在一个弯折围栏中包含的连接件为空心立柱，在另一个弯折围栏中包含的连接件为实心立柱，且所述空心立柱和所述实心立柱的同时朝向所述弯折围栏的内侧或外侧，两个弯折围栏相邻设置通过所述空心立柱和所述实心立柱匹配连接。6.如权利要求5所述的清洗花篮，其特征在于，所述弯折围栏中的上边框和/或下边框上设有至少一个朝向所述弯折围栏内侧或外侧的定位凸点。7.如权利要求6所述的清洗花篮，其特征在于，在所述弯折围栏中，所述定位凸点均匀设置在上边框和/或下边框上，且设置在连接件之间。
【文档编号】H01L21/673GK205657048SQ201620309257
【公开日】2016年10月19日
【申请日】2016年4月14日 公开号201620309257.X, CN 201620309257, CN 205657048 U, CN 205657048U, CN-U-205657048, CN201620309257, CN201620309257.X, CN205657048 U, CN205657048U
【发明人】邹灵威, 朱浩
【申请人】易美芯光（北京）科技有限公司