技术特征：
技术总结
本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法，其中，所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域，所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口，所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构，通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果，从而可以及时的监控蒸镀效果，达到实时在线监控的效果。
技术研发人员：刘明星;李俊峰;王徐亮;高峰
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2017.09.29
技术公布日：2019.04.05