一种具有电流阻挡层的LED外延结构的制作方法与流程

文档序号:13806794阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种具有电流阻挡层的LED外延结构的制作方法,包括以下步骤:首先,采用MOCVD技术,在衬底上依次生长未掺杂的GaN缓冲层、N型GaN层和有源层;然后,在有源层上生长电流阻挡层,注入Mg源;最后,在电流阻挡层上依次生长P型低温GaN层和P型高温GaN层。利用本发明的方法可制造出具有特殊电流阻挡层的LED外延结构,能够有效避免电子溢出至P型低温GaN层和P型高温GaN层,同时有利于空穴扩展,能够显著提高空穴浓度以及大幅提升晶体亮度。

技术研发人员:马昆旺;吴质朴;何畏;陈强
受保护的技术使用者:江门市奥伦德光电有限公司
技术研发日:2017.10.24
技术公布日:2018.02.23
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