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半导体器件、制造方法和电子设备与流程
文档序号:17737336
发布日期:2019-05-22 03:20
阅读:
来源:国知局
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半导体器件、制造方法和电子设备与流程
技术特征:
技术总结
本发明提供一种半导体器件、制造方法和电子设备,降低了第一区域上方的无机钝化层的厚度,同时增加了第一区域上方的有机钝化层的厚度,从而可以降低寄生电容,改善器件性能。
技术研发人员:
陈福刚;茹捷
受保护的技术使用者:
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日:
2017.11.10
技术公布日:
2019.05.21
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