技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法，本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计，该真空计包括场发射电子源、离子收集极、电子振荡收集极、和圆筒外电极等。从场发射阴极发射出的电子流，以一定能量进入电离区域轰击真空腔体残留气体分子，气体被电离形成正离子，部分离子被离子收集极收集，收集到的离子电流与气体压强成正比，从而测量真空系统的压强。本真空计具有灵敏度高、测量范围宽、功耗低、放气低、响应速率快等优点。
技术研发人员：董长昆;张建
受保护的技术使用者：温州大学
技术研发日：2017.11.27
技术公布日：2018.05.04