一种场效应晶体管式磁传感器、其制备方法与使用方法与流程

文档序号:14452413阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种场效应晶体管式磁传感器,具有场效应晶体管结构,包括半导体基底,源极、漏极与栅极;其中,半导体基底由基底层与位于该基底层表面的半导体层组成,并且基底层与半导体层之间电绝缘,基底层具有磁致伸缩效应,半导体层具有压电效应;工作状态时,外界磁场作用于基底层时场效应晶体管的电信号发生改变,通过测试该电信号实现磁场的探测。该磁传感器结构简单,并且由于结合了场效应晶体管的信号放大作用,能够实现高灵敏度的磁场探测。

技术研发人员:巫远招;刘宜伟;李润伟
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:2017.12.28
技术公布日:2018.05.18
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