振动装置的制作方法

本实用新型涉及振动装置。

背景技术：

日本特开平04-70100号公报公开了具备压电元件和振动体的振动装置。压电元件具有压电素体、一对第一电极。压电素体具有互相相对的第一主面以及第二主面。一对第一电极被配置于第一主面上。振动体具有互相相对的第三主面以及第四主面并且具有一对第二电极。一对第二电极与所对应的第一电极相电连接。压电元件和振动体以第一主面与第三主面相对的形式被配置。第二电极从与第三主面正交的方向看，从压电元件露出。就上述专利公报所记载的振动装置而言，振动体具有玻璃板，一对第二电极被配置于玻璃板上。

技术实现要素：

就上述专利公报所记载的振动装置而言，振动体具有玻璃板。其结果振动体的Q值以及强度比较低且不能够指望在振动装置上的位移量会有所提高。

本实用新型的目的就在于提供一种能够谋求到位移量提高的振动装置。

本实用新型的一个形态所涉及的振动装置具备压电元件、振动体。压电元件具有压电素体、一对第一电极。压电素体具有互相相对的第一主面以及第二主面。一对第一电极被配置于第一主面上。振动体具有金属板、绝缘层、一对第二电极。金属板具有互相相对的第三主面以及第四主面。绝缘层被配置于第三主面上。一对第二电极被配置于绝缘层上。压电元件和振动体以第一主面和第三主面经由绝缘层相对的形式被配置。一对第二电极物理性地接触于所对应的第一电极。一对第二电极从与第三主面正交的方向看是从压电元件露出，并且与绝缘层的全部的边缘分离。

就上述一个形态而言，振动体具有金属板。金属板与玻璃板相比相对具有较高的Q值以及强度。该结果就会使得振动装置的位移量有所提高。

就上述一个形态而言，因为第二电极被配置于绝缘层上，所以第二电极和金属板被电绝缘。第二电极因为从与第三主面正交的方向看从绝缘层的全部的边缘分离，所以第二电极切实地与金属板相电绝缘。因此，即使是在振动体不具有玻璃板而具有金属板的情况下，金属板与第二电极的电绝缘被确保。

以上所述的一个形态所涉及的电子元件也可以进一步具备接合压电元件和振动体的粘结部件。一对第一电极也可以具有物理性地接触于所对应的第二电极的多个突部。在此情况下，也可以为粘结部件被设置于多个突部之间并且接合互相对应的第一电极和第二电极。就本方式而言第一电极和第二电极是由被设置于多个突部之间的粘结部件来进行接合。因此，振动体与压电元件的接合强度被确保了。

就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，一对第一电极从与第一主面正交的方向看也可以与第一主面的全部的边缘分离。在此情况下，就能够抑制第一电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。

就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电元件也可以进一步具有被配置于第二主面上的第三电极。第三电极从与第二主面正交的方向看也可以与第二主面的全部的边缘分离。在此情况下，就能够抑制第三电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。

就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电素体也可以进一步具有连结第一主面和第二主面的侧面。第二主面全体以及侧面全体也可以露出。在此情况下，就压电素体而言电极不露出于与振动体(第三主面)相对的第一主面以外的表面。因此，能够抑制压电元件所具有的电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。

就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电元件还可以进一步具有被配置于压电素体内的多个内部电极和导体。多个内部电极也可以互相相对。导体也可以电连接互相对应的内部电极和第一电极。在此情况下，就没有必要将电连接互相对应的内部电极和第一电极的导体配置于压电元件的表面。因此，就能够抑制压电元件所具有的电极(导体)电接触于振动装置以外的设备所具备的导体。

本实用新型通过以下给出的详细说明和参照附图将会变得更加清楚，但是，这些说明和附图仅仅是为了说明本实用新型而举出的例子，不能被认为是对本实用新型的限定。

以下给出的详细说明将会更加清楚地表述本实用新型的应用范围。但是，这些详细说明和特殊实例、以及优选实施方案，只是为了举例说明而举出的，本领域的技术人员显然能够理解本实用新型的各种变化和修改都在本实用新型的宗旨和范围内。

附图说明

图1是表示一个实施方式所涉及的振动装置的概略立体图。

图2是压电元件的平面图。

图3是压电元件的平面图。

图4是振动体的平面图。

图5是表示压电元件的截面结构的示意图。

图6是表示压电元件和振动体被接合的形态的示意图。

图7是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。

图8是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。

图9是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。

图10是表示本实施方式的更进一步的变形例所涉及的振动装置的平面图。

图11是表示本实施方式的更进一步的变形例所涉及的振动装置的平面图。

具体实施方式

以下是参照幅图并就本实用新型的实施方式进行详细说明。还有，在说明过程中将相同符号标注于相同要素或者具有相同功能的的要素，并省略重复的说明。

首先，参照图1～图5来说明本实施方式所涉及的振动装置的结构。图1是表示本实施方式所涉及的振动装置的概略斜视图。图2以及图3是压电元件的平面图。图4是振动体的平面图。图5是表示压电元件的截面结构的示意图。

振动装置1如图1所示具备压电元件10、振动体20、粘结部件30。粘结部件30接合压电元件10和振动体20。

压电元件10具有压电素体11、一对第一电极12,13、多个内部电极17a,17b,18a,18b、多个垫(pad)导体7a,7b,8a,8b、第三电极14、通孔导体19。压电素体11具有多个压电体层。压电元件10具有层叠结构。多个内部电极17a,17b,18a,18b和多个压电体层被交替配置。

压电素体11呈长方体形状。压电素体11具有互相相对的第一主面11a以及第二主面11b、四个侧面11c。第一主面11a呈矩形状，并具有四个边缘15a,15b,15c,15d。第二主面11b呈矩形状，并具有四个边缘16a,16b,16c,16d。各个侧面11c以连结第一主面11a和第二主面11b的形式在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上延伸。长方体形状也包含角和棱被倒角的长方体形状、角以及棱被弄圆的长方体形状。压电素体11的形状并不限定于长方体形状。例如也可以是圆盘形状。

第一主面11a与第二主面11b相对的第一方向D1为压电素体11的厚度方向。一对侧面11c相对的第二方向D2为压电素体11的长边方向。另一对侧面11c相对的第三方向D3为压电素体11的宽度方向。在压电素体11的第二方向D2上的长度例如是50mm。在压电素体11的第三方向D上的长度例如是50mm。压电素体11的在第一方向D1上的长度(压电素体11的厚度)例如是0.1mm。在本实施方式中，第一方向D1和第二方向D2以及第三方向D3互相正交。

就压电素体11而言是以在第一方向D1上层叠多层压电体层的形式被构成。在本实施方式中，多层压电体层被层叠的方向与第一主面11a和第二主面11b相对的方向(第一方向D1)相一致。压电素体11是由压电陶瓷材料构成。压电陶瓷材料例如包含PZT[Pb(Zr、Ti)O₃]、PT(PbTiO₃)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O₃]或者钛酸钡(BaTiO₃)等。各个压电体层例如是由含有以上所述的压电陶瓷材料的陶瓷坯料薄片的烧结体构成。就实际上的压电素体11而言，各个压电体层以不能够识别各个压电体之间的边界的程度被一体化。

一对第一电极12,13如图2以及图5所示被配置于压电素体11的第一主面11a上。第三电极14如图1和图3以及图5所示被配置于压电素体11的第二主面11b上。如图5所示，多个内部电极17a,18a,17b,18b被配置于压电素体11内。内部电极17a和内部电极18a经由压电体层互相相对。内部电极18a和内部电极17b经由压电体层互相相对。内部电极17b和内部电极18b经由压电体层互相相对。如图1以及图5所示，在压电素体11的侧面11c未配置电极。因此，各个侧面11c的全体没有被电极覆盖而露出。

第一电极12,13、内部电极17a,17b,18a,18b、垫导体7a,7b,8a,8b以及第三电极14分别是导体，并且是由导电性材料构成。导电性材料例如含有Ag、Pd或者Cu等。各个导体是作为含有导电性材料的导电性膏体的烧结体来构成。

一对第一电极12,13如图2所示从与第一主面11a正交的方向看与第一主面11a的全部的边缘15a,15b,15c,15d分离。一对第一电极12,13从与第一主面11a正交的方向看是与侧面11c分离。在本实施方式中，从与第一主面11a正交的方向看，第一电极12的边缘与边缘15a,15b的分离距离L1为20μm以上。在本实施方式中，从与第一主面11a正交的方向看，第一电极13的边缘与边缘15a,15b,15c,15d的分离距离L2为20μm以上。与第一主面11a正交的方向与第一方向D1相一致。

第一电极12从与第一主面11a正交的方向看呈圆形状。第一电极12被配置于比第一电极13更靠近由相邻的一对边缘15a,15b划分的角落。第一电极12并不一定有必要被配置于第一主面11a的角落近旁。例如，第一电极12也可以被配置于四个边缘15a,15b,15c,15d当中的一个边缘的近旁。

第一电极13在第一主面11a上与第一电极12相分离。第一电极13从与第一主面11a正交的方向看呈多边形形状。该多边形形状例如包括角被弄圆的形状。在本实施方式中，第一电极13呈大致矩形状。第一电极13呈从矩形状除去了配置第一电极12的区域的形状。第一主面11a沿着全部的边缘15a,15b,15c,15d延伸并包含具有规定宽度的边缘区域。规定宽度为分离距离L2。第一电极13位于第一主面11a上的除去了配置第一电极12的区域和上述边缘区域的区域。

内部电极17a,17b由垫导体7a,7b以及通孔导体19而互相进行电连接。内部电极18a,18b由垫导体8a,8b以及通孔导体19而互相进行电连接。

内部电极17a,17b以及垫导体7a,7b是以经由压电体层互相相对的形式被配置。内部电极17a,17b以及垫导体7a,7b在从第一主面11a朝向第二主面11b的方向上按内部电极17a、垫导体7a、内部电极17b、垫导体7b这个顺序被配置。内部电极18a,18b以及垫导体8a,8b是以经由压电体层互相相对的形式被配置。内部电极18a,18b以及垫导体8a,8b在从第一主面11a朝向第二主面11b的方向上按垫导体8a、内部电极18a、垫导体8b、内部电极18b这个顺序被配置。内部电极17a和垫导体8a位于相同层并且互相分离。垫导体7a和内部电极18a位于相同层并且互相分离。内部电极17b和垫导体8b位于相同层并且互相分离。垫导体7b和内部电极18b位于相同层并且互相分离。

内部电极17a,17b,18a,18b以及垫导体7a,7b,8a,8b与侧面11c分离。在本实施方式中，从与第一主面11a正交的方向看，内部电极17a,17b,18a,18b以及垫导体7a,7b,8a,8b的各个边缘与侧面11c的分离距离L6为10μm以上。

垫导体7a,7b,8a,8b从与第一主面11a正交的方向看呈圆形状。例如垫导体7a,7b,8a,8b呈与第一电极12大致相同的形状。

垫导体7a,7b从与第一主面11a正交的方向看被配置于由相邻的一对侧面11c划分的角落近旁。垫导体7a,7b从与第一主面11a正交的方向看是以与第一电极12相重叠的形式被配置。垫导体8a,8b从与第一主面11a正交的方向看是被配置于与垫导体7a,7b所在位置的角落不同的角落近旁。垫导体7a,7b,8a,8b并不一定有必要被配置于由相邻的一对侧面11c划分的角落近旁。例如，垫导体7a,7b,8a,8b也可以被配置于四个侧面11c当中的一个侧面的近旁。

内部电极17a,17b,18a,18b从与第一主面11a正交的方向看呈多边形形状。该多边形形状例如包括角被弄圆的形状。在本实施方式中，内部电极17a,17b,18a,18b呈大致矩形状。例如，内部电极17a,17b,18a,18b呈与第一电极13大致相同的形状。

第三电极14如图3所示从与第二主面11b正交的方向看是与全部的边缘16a,16b,16c,16d分离。第三电极14从与第二主面11b正交的方向看是与侧面11c分离。在本实施方式中，从与第二主面11b正交的方向看，第三电极14的边缘与各个边缘16a,16b,16c,16d的分离距离L3为20μm以上。第三电极14从与第一主面11a正交的方向看呈矩形状。该矩形状例如包括角部被弄圆的形状。与第二主面11b正交的方向与第一方向D1相一致。

第一电极13和内部电极17a,17b,18a,18b以及第三电极14从与第一主面11a正交的方向看具有互相重叠的区域。

通孔导体19被配置于压电素体11内。通孔导体19从与第一主面11a正交的方向看是位于侧面11c近旁。通孔导体19物理性地并且电气性地连接在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上相邻的导体(内部电极17a,17b,18a,18b、垫导体7a,7b,8a,8b、第一电极12,13)。通孔导体19贯通位于在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上相邻的上述导体之间的压电体层。第一电极12、内部电极17a、垫导体7a、内部电极17b、垫导体7b以及第三电极14通过通孔导体19被电连接。第一电极13、垫导体8a、内部电极18a、垫导体8b以及内部电极18b通过通孔导体19被电连接。

在本实施方式中，在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上相邻的上述导体通过一对通孔导体19被连接。在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上相邻的上述导体可以通过一个通孔导体19被连接也可以通过三个以上通孔导体19被连接。通孔导体19从与第一主面11a正交的方向看是位于与所对应的垫导体7a,7b,8a,8b相重叠的区域。

振动体20具有金属板21、绝缘层22、一对第二电极23,24。绝缘层22被配置于金属板21上。一对第二电极23,24被配置于绝缘层22上。振动体20是以金属板21与压电素体11经由绝缘层22相对的形式被配置。振动体20和压电素体10被粘结部件30接合。振动体20从与第一主面11a正交的方向看呈矩形状。该矩形状例如包括角部被弄圆的形状。振动体20的形状并不限定于矩形状。

金属板21从与第一主面11a正交的方向看呈矩形状。该矩形状例如包括角部被弄圆的形状。金属板21具有互相相对的第三主面21a以及第四主面21b。第三主面21a具有四个边缘22a,22b,22c,22d。金属板21例如是由Ni、不锈钢、黄铜、或者因瓦合金(invar)等构成。金属板21的第三主面21a的尺寸例如是80mm×90mm。第三主面21a的面积至少大于压电元件10的第一主面11a的面积。

绝缘层22被配置于第三主面21a上。绝缘层22例如是由聚酰亚胺树脂或环氧树脂等构成。绝缘层22的厚度例如是5μm。绝缘层22覆盖第三主面21a。在本实施方式中，绝缘层22覆盖第三主面21a全体。

一对第二电极23,24如图4所示从与第一主面11a正交的方向看是从振动体20的中央部分朝向边缘22a并以直线状延伸。各个第二电极23,24的一端位于振动体20的中央部分。各个第二电极23,24的另一端位于边缘22a的近旁并且与边缘22a分离。第二电极23和第二电极24在第三主面21a上互相分离。一对第二电极23,24从与第三主面21a正交的方向看是从压电元件10露出。一对第二电极23,24从与第三主面21a正交的方向看具有从压电元件10露出的区域。一对第二电极23,24从与第三主面21a正交的方向看不仅仅是从边缘22a而且还与三个边缘22b,22c,22d分离。

在本实施方式中，第二电极23的上述另一端与边缘22a的分离距离L4从与第三主面21a正交的方向看为5μm以上。第二电极24的上述另一端与边缘22a的分离距离L5从与第三主面21a正交的方向看为5μm以上。第二电极23,24的形状并不限定于附图所表示的形状。第二电极23,24例如是由Au、Sn、或者Ni等构成。

一对第二电极23,24如图6所示与所对应的第一电极12,13相物理接触。一对第一电极12,13具有多个突部A。多个突部A被形成于各个第一电极12,13的与振动体20(第二电极23,24)相对的面。第一电极12的突部A与第二电极23相物理接触。第一电极13的突部A与第二电极24相物理接触。第二电极23的与第一电极12相接触的面同第一电极12的与振动体20相对的面相比为相对平坦。第二电极24的与第一电极13相接触的面也是同第一电极13的与振动体20相对的面相比为相对平坦。

粘结部件30如图6所示被设置于多个突部A之间。粘结部件30接合互相对应的第一电极12,13和第二电极23,24。第一电极12和第二电极23被粘结部件30接合并且第一电极13和第二电极24被粘结部件30接合。

在本实施方式中，粘结部件30如图5所示接合绝缘层22和第一主面11a并且接合侧面11c的一部分和绝缘层22。粘结部件30例如是由环氧树脂或者丙烯酸树脂等构成。粘结部件30不包含导电性填充料。

接着，就振动装置1的动作以及作用效果作如下说明。

如以上所述第一电极13、内部电极17a,17b,18a,18b、以及第三电极14从与第一主面正交的方向看具有互相重叠的区域。内部电极17a,17b以及第三电极14由通孔导体19以及垫导体7a,7b而被电连接于第一电极12。内部电极18a,18b以及第三电极14由通孔导体19以及垫导体8a,8b而被电连接于第一电极13。

例如，在互相极性不同的电压被施加于第一电极12以及第一电极13的情况下，电场会在第一电极13与内部电极17a之间、内部电极17a与内部电极18a之间、内部电极18a与内部电极17b之间、内部电极17b与内部电极18b之间、以及内部电极18b与第三电极14之间产生。因此，压电素体11中的被第一电极13和内部电极17a夹住的区域、被内部电极17a和内部电极18a夹住的区域、被内部电极18a和内部电极17b夹住的区域、被内部电极17b和内部电极18b夹住的区域、以及被内部电极18b和第三电极14夹住的区域压电性地进行活性化并且在各个区域发生位移。例如，在交流电压被施加于一对第一电极12,13的情况下，压电元件10对应于被施加的交流电压的频率重复伸缩。

压电元件10和振动体20是以第一主面11a与第三主面21a经由绝缘层22相对的形式被配合并由粘结部件30被互相接合。因此，振动体20以对应于压电元件10的伸缩与压电元件10一体性地进行弯曲的形式进行振动。振动体20的Q值以及强度越高则振动体20的变为量越会有所提高。

在振动装置1中，振动体20具有金属板21。具有金属板21的振动体20与取代金属板21而具有玻璃板的振动体相比相对来说具有高Q值以及高强度。因此，振动装置1的变为量有所提高。

在振动装置1中，因为第二电极23,24被配置于绝缘层22上，所以第二电极23,24和金属板21被电绝缘。第二电极23,24因为从与第三主面21a正交的方向看与绝缘层的全部的边缘22a,22b,22c,22d分离，所以第二电极23,24切实地与金属板21相电绝缘。因此，即使在振动体20不具有玻璃板而具有金属板21的情况下也能够确保金属板21与第二电极23,24的电绝缘关系。

第一电极12,13和第二电极23,24由被设置于多个突部A之间的粘结部件30而被接合。因此，振动体20与压电元件10的接合强度被确保。在本实施方式中，绝缘层22和第一主面11a被粘结部件30接合，并且侧面11c的一部分和绝缘层22通过粘结部件30接合。因此，振动体20与压电元件10的接合强度被进一步提高。

第一电极12,13从与第一主面11a正交的方向看是与第一主面11a的全部的边缘15a,15b,15c,15d分离。因为第一电极12,13露出于振动装置1的表面，所以能够抑制第一电极12,13接触于振动装置1以外的设备所具备的导体。

压电元件10具有被配置于第二主面11b上的第三电极14。第三电极14从与第二主面11b正交的方向看是与第二主面11b的全部的边缘16a,16b,16c,16d分离。因此，能够抑制第三电极14接触于振动装置1以外的设备所具备的导体。

压电元件10具有通孔导体19。通孔导体19被配置于压电素体11内并电连接互相对应的内部电极17a,17b,18a,18b和第一电极12,13。因此，没有必要将为了电连接互相对应的内部电极17a,17b,18a,18b和第一电极12,13的导体配置于压电元件10的表面。其结果就能够抑制压电元件10所具有的导体(内部电极17a,17b,18a,18b以及垫导体7a,7b,8a,8b)电接触于振动装置1以外的设备所具备的导体。

粘结部件30不包含导电性填充料。第一电极12,13与第二电极23,24的电连接只是通过第一电极12,13与第二电极23,24的物理接触来实现。粘结部件30对于第一电极12,13与第二电极23,24的电连接没有贡献。粘结部件30与包含导电性填充料的粘结部件相比，包含于相同体积中的树脂成分相对较多且粘结强度高。因此振动体20与压电元件10的接合强度提高。

接着，参照图7～图9并就本实施方式的变形例所涉及的振动装置1的结构作如下说明。图7～图9是表示振动装置1的变形例所涉及的截面结构的示意图。

首先，就图7所表示的变形例的结构作如下说明。本变形例所涉及的压电元件10不具有图5所表示的压电元件10所具备的第三电极14。本变形例所涉及的压电元件10具有作为导体的多个内部电极17a,17b,18a,18b、多个垫导体7a,7b,8a,8b、一对第一电极12,13以及通孔导体19。在本变形例中，不仅仅侧面11c还有第二主面11b全体露出。电极(导体)不露出于与振动体20(第三主面21a)相对的第一主面11a以外的表面。因此，能够抑制压电元件10所具有的导体(内部电极17a,17b,18a,18b以及垫导体7a,7b,8a,8b)接触于振动装置1以外的设备所具备的导体。

接着，就图8所表示的变形例的结构作如下说明。本变形例所涉及的压电元件10只具有作为导体的一对第一电极12,13和第三电极14以及通孔导体19。第三电极14通过通孔导体19与第一电极12相电连接。第一电极13以及第三电极14从与第一主面11a正交的方向看具有互相进行重叠的区域。

在本变形例中，例如在互相极性不同的电压被施加于第一电极12以及第一电极13的情况下，在第一电极13与第三电极14之间产生电场。因此，压电素体11中的被第一电极13和第三电极14夹住的区域压电性地进行活性化并且在被第一电极13和第三电极14夹住的区域发生位移。在本变形例中，在交流电压被施加于一对第一电极12,13的情况下，压电元件10也对应于被施加的交流电压的频率重复伸缩。

接着，就图9所表示的变形例的结构作如下说明。本变形例所涉及的压电元件10具有作为导体的一对第一电极12,13、多个内部电极17a,18a,18b、通孔导体19。第一电极12通过通孔导体19与内部电极17a相电连接。第一电极13通过通孔导体19与一对内部电极18a,18b相电连接。内部电极18b被配置于压电素体11内。就压电素体11而言，除了侧面11c之外第二主面11b全体露出。因为压电元件10所具有的导体(内部电极17a,17b,18a,18b)不露出于振动装置1的表面，所以能够抑制导体(内部电极17a,18a,18b)接触于振动装置1以外的设备所具备的导体。

就本变形例而言与上述实施方式、图7以及图8所表示的变形例相比相对来说第一电极13的面积小。第一电极13从与第一主面11a正交的方向看与内部电极17a不相重叠。就本变形例所涉及的压电元件10而言，主要是由在内部电极17a,18a,18b之间产生的电场而发生位移。

接着，参照图10并就本实施方式的进一步的变形例所涉及的振动装置1A作如下说明。图10是表示本变形例所涉及的振动装置的平面图。

本变形例所涉及的振动装置1A与以上所述的振动装置1相同具备压电元件10、振动体20、粘结部件(没有图示)。粘结部件接合压电元件10和振动体20。如图10所示就振动装置1A而言，压电元件10、金属板21、绝缘层22以及第二电极23,24的形状与以上所述的振动装置1不同。

本变形例所涉及的压电元件10从与第二主面11b正交的方向看呈长方形状。例如，压电素体11的在长边方向上的长度为20mm，压电素体11的短边方向的长度为10mm。第三电极14的边缘与各个边缘16a,16b,16c,16d的分离距离L7例如是20μm以上。

金属板21从与第二主面11b正交的方向看呈圆形状。金属板21的直径例如是30mm。压电元件10从与第二主面11b正交的方向看是经由绝缘层22被配置于金属板21的中央。

第二电极24具有电极部24a和电极部24b。电极部24a是从振动体20的中央部分朝向振动体20(绝缘层22)的边缘以直线状延伸。电极部24b是沿着振动体20的边缘以环状延伸。电极部24b呈圆环状。电极部24a从与振动体20正交的方向看是位于电极部24b的内侧。电极部24a具有被电连接于压电元件10的一端、被连接于电极部24b的另一端。电极部24b从振动体20的边缘分离并进行定位。电极部24b的外周与振动体20的边缘的分离距离L8例如是5μm以上。

第二电极23具有电极部23a、电极部23b。电极部23a是从振动体20的中央部分朝向振动体20(绝缘层22)的边缘以直线状延伸。电极部23a与电极部24a相平行地延伸。电极部23a从与振动体20正交的方向看是位于电极部23b的内侧。电极部23b从与振动体20正交的方向看是位于电极部24b的内侧。电极部23b是沿着电极部24b以环状延伸。电极部23a具有被电连接于压电元件10的一端、被连接于电极部23b的内周的另一端。第二电极23与第二电极24分离。电极部23b与电极部24b的分离距离L9例如是500μm以上。

电极部23b呈大致环状。电极部23b具有一对端部25a,25b，并呈一部分被切掉的环状。电极部24a被配置于一对端部25a,25b之间。一对端部25a,25b夹住电极部24a并且互相相对。电极部24a是以通过端部25a与端部25b之间的形式延伸。电极部23b从与振动体20正交的方向看是与压电元件10分离。

接着，参照图11并就本实施方式的更进一步的变形例所涉及的振动装置1B作如下说明。图11是表示本变形例所涉及的振动装置的平面图。

如图11所示，本变形例所涉及的振动装置1B具备多个压电元件10、振动体20、粘结部件(没有图示)。粘结部件接合各个压电元件10和振动体20。就振动装置1B和以上所述的振动装置1而言，它们的被配置于振动体20上的压电元件10的数量是不同的。

就图11所表示的压电元件10而言，例如压电素体11的在第二方向D2上的长度为30mm，压电素体11的第三方向D3的长度为30mm。第三电极14的边缘与压电素体11的各个边缘的分离距离L10例如是20μm以上。

金属板21从与第二主面11b正交的方向看呈矩形状。该矩形状例如包括角部被弄圆的形状。金属板21的第三主面21a的尺寸例如是1600mm×1200mm。

在本实施方式中，12个压电元件10以矩阵状被配置于1个振动体20上。12个压电元件10包含10个压电元件10A、2个压电元件10B。10个压电元件10A是沿着振动体20的边缘被配置。2个压电元件10B被配置于振动体20的中央区域。2个压电元件10B从与振动体20正交的方向看被10个压电元件10A包围。

如图11所示，每个压电元件10(10A,10B)都配置一对第二电极23,24。各个第二电极23,24朝向振动体20的边缘延伸。各个第二电极23,24的一端被电连接于所对应的压电元件10。各个第二电极23,24的另一端位于振动体20的边缘的近旁并且与振动体20的边缘分离。

被电连接于各个压电元件10A的第二电极23,24以直现状延伸。被电连接于各个压电元件10B的第二电极23,24呈L字形状。呈L字形状的各个第二电极23具有电极部23c和电极部23d。呈L字形状的各个第二电极24具有电极部24c和电极部24d。电极部23c,24c朝向所对应的长边在短边方向上延伸。电极部23d,24d朝向所对应的短边在长边方向上延伸。

电极部23c,24c具有被电连接于压电元件10B的一端、被连结于电极部23d,24d的另一端。电极部23d,24d具有被连结于电极部23c,24c的一端、位于振动体20的边缘的近旁的另一端。

就振动装置1B而言，第二电极23,24是以各个另一端沿着振动体20的四个边缘以规定间隔进行排列的形式被配置。规定间隔例如被设定为能够防止相邻的第二电极23,24发生短路的值。第二电极23,24朝向振动体20的四个边缘当中对应于压电元件10(10A,10B)的位置的边缘延伸。例如，被连接于各个压电元件10A的各第二电极23,24朝向最接近于所对应的压电元件10A的边缘延伸。所有第二电极23,24也可以以各个另一端沿着振动体20的一个边缘进行定位的形式被配置。所有第二电极23,24也可以朝向振动体20的一个边缘延伸。

第二电极23和第二电极24也可以朝向振动体20的互相不同的边缘延伸。在此情况下，第二电极23和第二电极24也可以朝向振动体20的互相相对的边缘延伸。所有压电元件10的第二电极23也可以朝向振动体20的一个边缘延伸。所有压电元件10的第二电极24也可以朝向与在第二电极23延伸的方向上进行定位的边缘不同的其他边缘延伸。

以上已就本实用新型的优选的实施方式以及变形例作了说明，但是本实用新型并不一定限定于以上所述的实施方式以及变形例，只要是在不脱离本实用新型的宗旨的范围内各种各样的变更都是可能的。

被配置于压电元件10内的内部电极17a,17b,17c,18a,18b的数量并不限定于以上所述的实施方式以及变形例所表示的数量。

在本实施方式中，使电场产生的内部电极17a,17b,17c,18a,18b、第一电极12,13以及第三电极14呈矩形状，但是并不限定于该形状。例如，内部电极17a,17b,17c,18a,18b、第一电极12,13以及第三电极14从与第一主面11a正交的方向看例如也可以呈圆形状。

绝缘层22并不一定有必要覆盖金属板21的第三主面21a全体。第二电极23,24和金属板21如果是被电绝缘的话则绝缘层22也可以不覆盖第三主面21a全体。即，金属板21的第三主面21a的一部分也可以从绝缘层22露出。即使是在该情况下，一对第二电极23,24也与绝缘层22的全部的边缘分离。

也可以取代压电元件10的第一电极12,13具有突部A的处理方法而使振动体20的第二电极23,24具有突部。

粘结部件30也可以包含导电性充填料。在此情况下，第一电极12和第二电极23更进一步切实地被电连接，并且第一电极13和第二电极24更进一步切实地被电连接。在本实施方式中，绝缘层22和第一主面11a被粘结部件30接合，并且侧面11c的一部分和绝缘层22被粘结部件30接合。绝缘层22和第一主面11a没有必要被接合。侧面11c的一部分和绝缘层22没有必要被接合。