技术总结
本实用新型涉及一种半导体生产辅助设备，具体涉及一种提篮锁止结构，包括与晶圆提篮侧板端面对应设置的活动挡片，活动挡片能沿提篮侧板端面滑动，在活动挡片上设有多个与提篮侧板上设置的晶圆存取槽对应开设的变位槽，还设有锁止开关，所述锁止开关上设有限制活动挡片位置的限位结构。该锁止结构的结构简单，锁止晶圆或放入晶圆调节方便有效，不存在长时间使用后锁止结构失效的状况，防止晶圆产品意外滑落的状况发生，可靠性强。
技术研发人员：邓海涛;宋文;段之刚;王利华
受保护的技术使用者：成都先进功率半导体股份有限公司
文档号码：201721328103
技术研发日：2017.10.16
技术公布日：2018.04.13