用于从晶片中取出微芯片并且将微芯片施装到基底上的方法和设备与流程

背景技术：

例如在半导体和微系统技术、通信、安全技术、能量产生或测量技术中，随着越来越多的结构组件和/或构件在越来越小的单元中变得越来越复杂，结构组件和/或构件越来越多地通过并排地施装在基底上的各个芯片来实现。

这种芯片可以具有在μm范围内的外部尺寸。

在本说明书的范围内，作为基底理解为用于如下的载体的基础材料，该载体用于例如印刷电路板、电路、导体电路板、光刻掩膜或光掩膜、例如用于智能手机、无线电或用于基于芯片的安全解决方案(例如护照)的结构单元、用于sim卡、用于能量有效的解决方案、用于存储单元等的结构单元。但其也可以是已经以所需要的形式被预处理或者在一侧被处理或装备的印刷电路板。

对于给基底装备芯片来说通常使用常规的取放机器人。取放机器人通常加工具有数百微米的厚度和几平方毫米至一平方厘米的面积的部件或芯片。取放机器人不适用于处理微芯片，即在本申请的范围内的具有最高几平方米毫米的面积，尤其是小于1平方毫米的面积和小于200μm至小于50μm的厚度，例如5μm的厚度的芯片。只要微芯片被限制在面积小于1平方毫米且厚度小于5μm的数量级上，该微芯片随后被称为膜芯片。除了通常的具有电子功能的微芯片(随后被称为电子微芯片)以外还存在具有光学功能的微芯片(随后被称为光学微芯片)。光学微芯片与电子微芯片相比还可以具有更小的尺寸，尤其是更小的仅为1μm至2μm的厚度。通过大约30μm至1mm的长度和宽度确定的面积大小也可以小于电子微芯片。光学微芯片由透光的材料，例如sio2或si3n4制造。光学微芯片尤其是因此实施为膜芯片。

针对微芯片和尤其是膜芯片，得到比常规芯片低了直至两个数量级的尺寸和进而得到比常规芯片小了大约六个数量级的质量。由很小的厚度和很小的面积得到与微芯片的处理、准确定位、平坦性、稳定连接和可能的能传导的接触有关的特殊问题。

具有这样小的几何尺寸的微芯片无法通过常规的自动装配装置、粘贴/焊接连接、引线接触或倒装芯片接触来加工。常规的avt(构件和连接技术)方法，例如锯切、取放、粘贴、焊接、引线焊接或倒装焊接只能受限地使用或根本无法使用。

例如虽然存在针对聚焦离子束(fib)区段的操纵样本的微操纵器，但微操纵器在该应用中是非常贵的，并且不适用于快速和有效的构件制造或微芯片加工。同样，在文献中记载有多个微机械抓取器，但是这些微机械抓取器不允许长的移动路径，并且必须麻烦地与大工作范围的长操纵器组合。

ep1336986a1公开了一种用于制造具有至少一个薄的电子微芯片的晶片的方法，该电子微芯片在载体中通过多个将载体和微芯片连接的保持接片(在那里是紧固机构)保持，该文献还公开了一种用于从晶片中取出这种电子微芯片和处理被取出的微芯片的设备和方法。微芯片在此理解为具有厚度小于100μm，尤其是厚度在50μm至5μm之间的芯片。

预制造的具有微芯片(微芯片分别在载体的留空部内通过多个将载体和微芯片连接的保持接片保持)的晶片具有如下优点：微芯片已准备好在被取出之后被运输并且被施装在基底上，而不必使其承受另外的处理过程。

为了在运输和处理期间保护晶片以及为了取出微芯片，晶片安放在底座上，该底座具有与载体的留空部有关的通孔的布置，从而通孔布置在待取出的微芯片下方。重要的是，底座是刚性的，这是因为晶片由于有多个被槽包围且仅通过保持接片与晶片连接的微芯片而有断裂危险。其中一个顶柱(auswurfbolzen)在载体的其中一个留空部中的自由运动可以穿过通孔地进行，并且因此载体可以安放在其中一个微芯片下方。

为了一个分离微芯片，从晶片的背离底座的一侧向微芯片运送处理仪器。利用该处理仪器，导致与顶柱相反地的向下的压力作用到微芯片上。在此，保持接片被加负荷至弯曲，并且断裂。优选地在断裂期间，微芯片被吸出，由此，微芯片在保持接片断裂期间不能够滑动并且水平地保持。

在取出微芯片后，顶柱和处理仪器共同向上运动，以便确保保持接片的残余部分不会将微芯片从处理仪器上刮掉。随后，顶柱又下降，微芯片以通过真空抽吸的方式被保持在处理仪器上并且被运输。

为了将微芯片安放在基底上，在此是膜上，处理仪器定位在薄膜之上并且下降。处理仪器上的抽吸尖部受弹簧支承的(federgelagert)，从而抽吸尖部可以柔和地放置，并且膜不会受到损伤。真空源被切断，并且处理仪器被取下并且可供取出下一个微芯片使用。

微芯片如何紧固在薄膜上没有得到说明。

作为根据之前提到的ep1336986b1的微芯片的周向形状，可以是矩形，也就是说，微芯片的周向棱边通过形成矩形的直线来描述。

与之前提到的ep1336986b1(其中，周向棱边通过完全包围电子微芯片的缝隙限界，该缝隙通过事后施装的保持接片部分地被搭接)不同地，制造如下微芯片也是公知的，该微芯片在载体中通过在载体上与微芯片一体式连接的保持接片保持，保持接片通过将包围的缝隙中断的接片形成。适用于此的用于制造具有光学功能的微芯片的方法例如是各向异性的si蚀刻，其中，sio2层被加工成膜。通过分离法，从制成的膜起沿微芯片的周向棱边将微芯片从晶片中分离出来，直至出现残留的呈接片形式的保持接片。也就是说，膜的形成微芯片的部分与晶片上的膜的部分保持一体式连接。然而，以该方法迄今为止仅可以制造限制在厚度大于5μm的微芯片，这是因为用于分离的方法不适用于更小的厚度。

技术实现要素：

本发明的任务是提出一种设备，其可以利用很小的技术耗费制造，并且尤其是适用于处理具有厚度小于5μm的膜芯片。

本发明的任务也在于提供一种方法，为了执行该方法需要比较小的耗费，并且该方法尤其是适用于处理具有厚度小于5μm的膜芯片。

针对方法的任务根据权利要求1解决，针对设备的任务根据权利要求5解决。有利的实施方案分别在从引用的属权利要求中公开。

附图说明

本发明随后借助实施例参考附图详细阐述。其中：

图1示意性地示出具有微芯片的晶片；

图2示出相对设备定位的晶片；以及

图3a至图3g示出用于阐述方法流程的图示。

具体实施方式

该设备用于从晶片1中取出尤其是具有膜芯片的尺寸的微芯片2，其中，晶片1由具有留空部1.2的载体1.1形成，在留空部中，通过保持接片3分别保持其中一个微芯片2。这种晶片1示意性地在图1中示出。微芯片2分别具有非常小的尺寸，例如3μm×100μm×250μm，并且因此尤其是具有非常小的厚度。通常，微芯片2的周向棱边2.1的常见形状是矩形。另外的周向形状，例如圆形或三角形是可想到的，其中，针对根据本发明的方法有利的是，保持接片3以与微芯片2的中心点相同的间距接合在该微芯片上并且围绕周向棱边2.1均匀地分布，优选地布置在可能通过周向棱边2.1形成的拐角上。保持接片3可以是与载体1.1和微芯片2一体式连接的连接接片。保持接片也可以是单独的元件，其优选通过材料锁合的连接一方面与载体1.1连接，另一方面与微芯片2连接。保持接片3优选地具有预定断裂部位。

如图2所示的那样，用于安置晶片1的底座4和具有尖部5.1的处理仪器5属于该设备，该尖部能相对于微芯片2水平地定位并且能竖直地下降和上升。

在自由端部5.1.1上，尖部5.1至少在通过其使尖部5.1的表面贴靠在微芯片2上的接触面上具有如下表面质量，该表面质量被设计成用于在微芯片2和尖部5.1之间导致附着力。

因为尖部5.1上的接触面和微芯片2之间的附着力由接触面的表面质量和微芯片2的表面质量来确定，所以两者可以相互协调地制造，以便在这两者之间形成的边界面中产生相应的附着力。也就是说，微芯片2的表面质量也可以通过其表面粗糙度或表面结构调整，其前提是由此微芯片的功能没有受到损害。

有利地，尖部5.1的自由端部5.1.1至少在接触面的区域中球形地构造，从而在尖部下降到微芯片2上期间，微芯片2从其中心点mp开始均匀地靠置到尖部5.1上。

优选地，尖部5.1的自由端部5.1.1构造为球，其例如由红宝石、蓝宝石或可以实现非常高的表面质量的类似材料构成。

从晶片1中取出微芯片2(参见图3a)需要尖部5.1在微芯片2上方的非常准确的定位。一方面是为了可以将微芯片2限定地配属给尖部5.1并且为了可以将微芯片2同样限定地又下放在基底6上，并且另一方面是为了限定地将剪切力或弯曲力引入到保持接片3中。这种所需要的定位准确性可以利用坐标测量仪器实现。坐标测量仪器原则上用于测定物体的几何量，其中，可以使用接触式传感器(触觉)和非接触式传感器。

为了将微芯片2非常准确地定位在基底6上重要的是，微芯片2在处理期间，也就是在首先与尖部5.1的接触开始时直到与尖部5.1脱开都总是具有相对尖部5.1的限定的相对位置。也就是说，微芯片2的中心点mp相对于尖部5.1的中心轴线a的相对位置和微芯片2在尖部5.1上的转动位置必须保持不变。关键时刻在此是在从载体1.1中取出微芯片2时。通过保持接片3的布置和将尖部5.1限定地放置到微芯片2上，应有相同的剪切力和弯曲力作用到保持接片3上，从而保持接片3同时断裂。如果保持接片3不是刚好同时断裂，那么为此可能导致的是，最终被取出的微芯片2以相对于其相对尖部5.1的原始的相对位被移动且被扭转的方式贴附在该尖部上。

为了在此消除这一情况，有利地在制造微芯片2(其在从晶片1中分离出来之前通过一体式的保持接片3与晶片1的载体1.1连接)时，微芯片2的周向棱边2.1至少部分地以如下方式实施，即，微芯片2和载体1.1相互啮合地布置。如果从以下出发：周向棱边2.1通过保持接片3划分为多个周向棱边区段，那么有利地在每个周向棱边区段上分别存在至少一个嵌入晶片1或载体1.1中的凸出部或被晶片1或载体1.1嵌入其中的凹部。微芯片在由晶片撑开的平面内的移动于是被限制为凸出部或凹部的间距。扭转受到如下转动角度的限制，其通过近似相应于该间距的弧度来确定。

除了使用尖部5.1以外(微芯片2通过附着力被保持在该尖部上)，本发明的主要的思想在于将坐标测量仪器用作设备。在此，坐标测量仪器的定位装置是处理仪器5，并且测量台是底座4，其中，在定位装置上存在触觉测量头，其包含尖部5.1。

坐标测量仪器的共同之处在于，测量头可以水平地沿笛卡尔坐标系的y-x方向相对于测量台移行。至少在具有触觉测量头的坐标测量仪器中，触觉测量头也可以相对于测量台竖直地调节。提出的是，以非典型的方式使用这种坐标测量仪器，以便因此从晶片1中取出微芯片2，微芯片被向基底6运输(该基底和晶片1同时安放在测量台上)，并且被下放在那里。

根据本发明的方法的流程随后借助图3a至图3g阐述。为了执行该方法，晶片1布置在水平取向的刚性的底座4上，该晶片在载体1.1的留空部1.2内通过多个保持接片3与载体1.1连接。

随后，处理仪器5的有利地具有球形表面的尖部5.1在微芯片2上方水平地非常准确地定位，从而当尖部5.1竖直下降时(图3a)，尖部5.1的中心轴线a(通过该中心轴线限定尖部5.1的定位)碰到微芯片2的几何的中心点mp。

在尖部5.1进一步下降时，在尖部5.1靠置到微芯片2上且保持接片3被加载以剪切力和/或弯曲力而直到保持接片断裂期间，该尖部沉入到留空部1.2中，从而微芯片2与载体1.1分开(图3b)。

在尖部5.1靠置到微芯片2上期间，发起接触吸附过程(ansprengprozess)，从而与载体1.1分开的微芯片2通过附着力保持在尖部5.1上。

微芯片2随后借助处理仪器5保持在尖部5.1上，被向基底6运输并且被下放在那里。在此，尖部5.1竖直地升高，水平地移行并且错开地定位在基底6上方的地点处，在那里，微芯片2竖直地下降并且被下放在基底6上(图3c+图3d)。在下放时，微芯片2靠置在基底6上，其中有利地，发起了另外的接触吸附过程。在此所导致的在基底6和微芯片2之间的附着力大于尖部5.1和微芯片2之间的附着力，从而在尖部5.1从基底6升起后，微芯片2通过附着力贴附在基底6上(图3e+图3f)。

在尖部5.1上暂时的接触吸附(ansprengen)以及基底6上持久的接触吸附可以通过由施加电压导致的静电力来支持。

有利地，尖部5.1可以在朝基底6的路径上定位在显微镜上方，以便例如检查微芯片2的受污染情况或者验证尖部5.1上的准确位置。

尤其是当微芯片是膜芯片时，在基底6的足够光滑的表面的情况下可以部分放弃或完全放弃作为连接剂的粘合剂。

在没有粘合剂的情况下将微芯片2直接固定在基底6上使形成的连接尤其是适用于紫外线范围内的应用。为了提供安全的持久的连接，有利地可以产生激光感应的金属沉积，例如cr、mo，其在贴附在基底6上的微芯片2的边缘处形成金属隆起部7，因此，微芯片2持久地与基底6连接。利用激光感应的金属沉积也可以在需要时建立微芯片和基底之间的电接触。

根据本发明的方法尤其是适用于从晶片中分离出来迄今为止不能够以这样微小尺寸被制造的膜芯片，这是因为不存在用于取出和处理该尺寸的微芯片的适当的方法。

附图标记列表

1晶片

1.1载体

1.2留空部

2微芯片

2.1周向棱边

3保持接片

4底座

5处理仪器

5.1尖部

5.1.1自由端部

6基底

7金属隆起部

a中心轴线

mp中心点