技术特征：
技术总结
本发明公开了一种用于晶圆防破片报警系统，属于晶圆片检测领域，旨在提供一种能够有效避免晶圆偏出晶圆匣从而撞击到中测台内壁的晶圆防破片报警系统，其技术方案要点是包括主控单元、供电电路、检测电路、蜂鸣器报警电路；主控单元；供电电路，其输入端接外部稳压源经转换接入第一控制芯片STC12C2052AD的VCC端，并给蜂鸣器报警电路供电；检测电路，包括用于安装感光探头的感光探头端子XS1，感光探头端子XS1连接第一控制芯片STC12C2052AD的ADC7端口向其传输感光探头的检测信号。能够有效避免晶圆偏出晶圆匣从而撞击到中测台内壁。
技术研发人员：季建松;何志强
受保护的技术使用者：江阴佳泰电子科技有限公司
技术研发日：2018.08.06
技术公布日：2018.11.06