技术特征：
技术总结
本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片台相对设置，用于照射晶圆表面的蓝膜；控制器分别与紫外灯和真空发生器电性连接，用于控制紫外灯和真空发生器的打开和关闭；压力传感器设置在第一气体管道上，与控制器电性连接，用于检测第一气体管道内的压力并反馈给控制器。本发明提供的去除晶圆表面蓝膜的辅助设备，紫外灯用于照射蓝膜来消弱蓝膜的粘性，降低了蓝膜与晶圆的分离难度，避免了去除蓝膜时对晶圆造成的破坏。
技术研发人员：郝晓亮;曹健;王秀海;马培圣
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第十三研究所
技术研发日：2018.12.05
技术公布日：2019.04.16