技术特征:
技术总结
本发明涉及一种掩埋DFB激光器,其包括:依次层叠的第一导电层、有源层和第二导电层,部分第一导电层与所述有源层、所述第二导电层形成一凸台结构,所述第二导电层远离所述有源层的表面为所述凸台结构的顶面;一阻挡层,所述阻挡层,设置于所述凸台结构的顶面,所述阻挡层的中心部分经刻蚀形成一凹槽,且所述凹槽通至所述凸台结构的顶面;一第一掩埋层,所述第一掩埋层形成于所述凸台结构的侧面,并覆盖所述凸台结构的侧面和所述第一导电层;一第二掩埋层,所述第二掩埋层形成于所述第一掩埋层的表面;一第三导电层,所述第三导电层通过所述凹槽形成于所述凸台结构的顶面,且形成于所述第二掩埋层的表面。本发明还涉及所述掩埋激光器的制备方法。
技术研发人员:单智发;张永
受保护的技术使用者:全磊光电股份有限公司
技术研发日:2018.12.28
技术公布日:2019.03.22