1.一种晶圆清洗装置，包括用于容纳晶圆的腔体，其特征在于，还包括喷头和控制器；所述控制器，连接所述喷头，用于判断所述腔体是否发生报警，若是，则控制所述喷头向容纳于所述腔体中的晶圆喷射去离子水，以清除所述晶圆表面残留的清洗剂；所述报警是指所述腔体出现中止清洗制程的故障时发出的报警信号。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第一管道和第一阀门；所述喷头设置于所述第一管道的一端开口处，所述去离子水经所述第一管道从所述喷头喷出；所述第一阀门，设置于第一管道中，且连接所述控制器，用于根据所述控制器的控制信号控制所述第一管道与所述喷头是否导通。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第一阀门为常关阀门。
4.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第二阀门；所述第二阀门，安装于所述第一管道与所述喷头之间，且连接所述控制器，用于根据所述控制器的控制信号调整所述去离子水从所述喷头喷出的流量。
5.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷头与所述第一管道通过一伸缩件连接，且所述伸缩件能够沿所述第一管道的轴向进行伸缩运动。
6.根据权利要求5所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷头能够围绕其与所述伸缩件的连接点在一预设范围内转动。
7.根据权利要求5所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷头呈圆弧形，且所述喷头上设置有多个喷孔，所述去离子水经所述第一管道从所述喷头上的喷孔喷出。
8.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第三阀门和第二管道；所述第二管道，设置于所述第一阀门与所述第二阀门之间，且与所述第一管道连接；所述第三阀门，设置于所述第二管道中，用于控制所述第一管道与所述第二管道是否导通。
9.根据权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述第三阀门为常开阀门。
10.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷头置于所述腔体外部，所述腔体顶部设置有一开口，所述喷头喷出的去离子水经所述开口达到所述晶圆表面。