一种双泵紫外激光器的制作方法

文档序号:14399161阅读:112来源:国知局

本实用新型属于激光器技术领域,尤其涉及一种双泵紫外激光器。



背景技术:

本实用新型的激光器应用在3C行业标记及工业化精密加工领域,主要用于3C行业的表层冒化、划线盲槽处理金属或非金属镀层去除等。

激光腔体是产生激光光路的腔体,在腔体中通常会具有谐振腔,光波在谐振腔中可以来回反射,从而提供光能反馈。谐振腔是激光器的必要组成部分,现有技术中,谐振腔通常是由两块与激活介质轴线垂直的平面或凹球面反射镜构成。

在实现本实用新型的过程中,申请人发现现有技术中至少存在以下不足:

由于现有技术中谐振腔是由两块反射镜组成,即是传统直腔型谐振腔,此种类型的谐振腔为避免激光光波线路,其中的两个反射镜的距离较大,致使腔体较为庞大,不利于激光器在实际运用中的布置。



技术实现要素:

针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种结构紧凑的双泵紫外激光器。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:

一种双泵紫外激光器,所述激光器包括腔体,所述腔体内设置有第一激光光源、第二激光光源、晶体模块、声光Q开关、倍频组件以及谐振组件,其中,所述激光光源设置有两个,所述谐振组件包括光波往返且不处于同一直线的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及第五反射镜,所述第一激光光源的输出端、所述第一反射镜、所述晶体模块、所述第二反射镜依次设置在第一线段上,所述第二激光光源的输出端和所述第一激光光源的输出端分别位于所述晶体模块的两侧,所述第二反射镜、所述声光Q开关、所述第三反射镜依次设置在第二线段上,所述第一线段和所述第二线段的夹角为锐角,所述倍频组件设置在所述锐角内,所述第四反射镜和所述第五反射镜位于所述倍频组件两侧,所述第四反射镜和所述倍频组件的连线为第三线段,所述第五反射镜和所述倍频组件的连线为第四线段,所述第三线段和所述第四线段的夹角为钝角。

进一步地,所述腔体呈方形,所述腔体内设置有分割板,所述分割板将所述腔体分为第一腔体和第二腔体,所述第一激光光源、第二激光光源设置在所述第一腔体内,所述晶体模块、声光Q开关、倍频组件以及谐振组件设置在所述第二腔体内。

进一步地,所述第一激光光源和所述第二激光光源均为泵浦模块,所述第二腔体内设置有第一光纤座和第二光纤座,所述第一光纤座上设置有用于和第一激光光源连接的第一光纤,所述第二光纤座上设置有用于和第二激光光源连接的第二光纤。

进一步地,所述第一光纤座和所述第一反射镜之间依次设置有第一准直耦合透镜和第一聚焦耦合透镜。

进一步地,所述第二光纤座和所述第二反射镜之间设置有第一折射镜和第二折射镜,所述第二光纤座和所述第一折射镜所处的连接平行于所述第二折射镜和所述第二反射镜所处的连线。

进一步地,所述第二光纤座和所述第一折射镜之间设置有第二准直耦合透镜。

进一步地,所述第二折射镜和所述第二反射镜之间设置有第二聚焦耦合透镜。

优选地,所述第二腔体内还设置有绿光吸收筒,所述绿光吸收筒靠近所述倍频组件设置。

进一步地,所述第二腔体内还设置有挡光板,所述挡光板设置在紫外激光的线路上

进一步地,所述第二腔体内还设置有光阑,所述光阑设置在所述倍频组件和所述五反射镜之间。

本实用新型的有益效果是:

本实用新型的一种双泵紫外激光器,由于其中的谐振组件包括光波往返,且不位于同一直线上的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及第五反射镜,相比于传统直腔型谐振腔,其所需要的空间更小,进而使腔体内的布置更加紧凑,以缩小腔体体型,以利于激光器在实际运用中的布置。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的一种双泵紫外激光器的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例的一种双泵紫外激光器的结构示意图。参见图1,本实用新型实施例的一种双泵紫外激光器,包括腔体21,腔体21内设置有第一激光光源20、第二激光光源19、晶体模块9、声光Q开关2、倍频组件以及谐振组件,其中,激光光源设置有两个,谐振组件包括光波往返且不处于同一直线上的第一反射镜10、第二反射镜4、第三反射镜1、第四反射镜18以及第五反射镜3。

结合图1,本实用新型实施例的第一激光光源20的输出端、第一反射镜10、晶体模块9、第二反射镜4依次设置在第一线段上,第二激光光源19的输出端和第一激光光源20的输出端分别位于晶体模块9的两侧,第二反射镜4、声光Q开关2、第三反射镜1依次设置在第二线段上,第一线段和第二线段的夹角为锐角,倍频组件设置在锐角内,第四反射镜18和第五反射镜3位于倍频组件两侧,第四反射镜18和倍频组件的连线为第三线段,第五反射镜3和倍频组件的连线为第四线段,第三线段和第四线段的夹角为钝角。

本实用新型实施例的一种双泵紫外激光器,由于其中的谐振组件包括光波往返,且不位于同一直线上的第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜以及第五反射镜,相比于传统直腔型谐振腔,其所需要的空间更小,进而使腔体内的布置更加紧凑,以缩小腔体体型,以利于激光器在实际运用中的布置。

结合图1,本实用新型实施例的腔体21呈方形,腔体内设置有分割板22,分割板22将腔体分为第一腔体和第二腔体,第一激光光源20、第二激光光源19设置在第一腔体内,晶体模块9、声光Q开关2、倍频组件以及谐振组件设置在第二腔体内。

结合图1,本实用新型实施例的第一激光光源20和第二激光光源19均为泵浦模块,第二腔体内设置有第一光纤座14和第二光纤座13,第一光纤座14上设置有用于和第一激光光源20连接的第一光纤,第二光纤座上设置有用于和第二激光光源19连接的第二光纤,泵浦模块通过光纤发射出泵浦激光。

本实用新型实施例由于采用两个泵浦模块进行输出,能提高激光输出的激光功率。

进一步地,结合图1,本实用新型实施例的第一光纤座14和第一反射镜10之间依次设置有第一准直耦合透镜12和第一聚焦耦合透镜11,以用于泵浦激光的准直和聚焦。

进一步地,结合图1,本实用新型实施例的第二光纤座13和第二反射镜4之间设置有第一折射镜8和第二折射镜7,第二光纤座13和第一折射镜8所处的连接平行于第二折射镜7和第二反射镜4所处的连线,这样能使第二光纤座13的输出就经过两个折射镜的折射进行折现输出,更有利于布局紧凑。

结合图1,本实用新型实施例的第二光纤座13和第一折射镜8之间设置有第二准直耦合透镜6,第二折射镜7和第二反射镜4之间设置有第二聚焦耦合透镜5,以用于泵浦激光的准直和聚焦。

结合图1,本实用新型实施例的倍频组件包括二倍频晶体17和三倍频晶体16,二倍频晶体17和三倍频晶体16按第四反射镜18向第五反射镜3的方向设置,

结合图1,本实用新型实施例的第二腔体内还设置有绿光吸收筒23,绿光吸收筒23靠近倍频组件设置,以吸收光波经倍频组件转化时产生的绿光。

结合图1,本实用新型实施例的第二腔体内还设置有挡光板24,挡光板24设置在紫外激光的线路上,以隔离紫外激光方向上的绿色光束。

结合图1,本实用新型实施例的第二腔体内还设置有光阑15,光阑15设置在倍频组件和五反射镜3之间,以用于对光波进行过滤。

在实施时,本实用新型实施例的第一激光光源和第二发出激光光源的泵浦激光汇集到晶体模块中,泵浦激光在晶体模块中产生基础振荡并输出1064nm的基频激光,声光Q开关将连续的基频激光调制为脉冲基频激光并输出,脉冲基频激光透过倍频组件的二倍频晶体,一部分转换为532nm光波,剩余的1064nm的基频激光和532nm光波再透过三倍频晶体转化为355nm紫外激光。

在光波转换的过程中,由光波往返且不处于同一直线上的第一反射镜10、第二反射镜4、第三反射镜1、第四反射镜18以及第五反射镜3构成的谐振组件,能及时补充光波转换时所需要的能量,保证激光输出的功率。

以上所举实施例为本实用新型的较佳实施方式,仅用来方便说明本实用新型,并非对本实用新型作任何形式上的限制,任何所属技术领域中具有通常知识者,若在不脱离本实用新型所提技术特征的范围内,利用本实用新型所揭示技术内容所作出局部更动或修饰的等效实施例,并且未脱离本实用新型的技术特征内容,均仍属于本实用新型技术特征的范围内。

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