一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构的制作方法

文档序号:16453596发布日期:2019-01-02 21:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是以n型晶体硅片(5)作为基底,其发射极面分为发射极-导电区域和钝化-进光区域:发射极-导电区域由基底向外依次由重掺杂p型晶体硅发射极层(2)和金属栅线I(1)构成,其中重掺杂p型晶体硅发射极层(2)开槽小,金属栅线I(1)开槽大,金属栅线I(1)与n型晶体硅片(5)之间没有重掺杂p型晶体硅发射极层(2)的区域为钝化减反射层I(3);钝化-进光区域由基底向外依次由重掺杂n型晶体硅场钝化层I(4)和钝化减反射层I(3)构成,这两个区域交叉分布且不重叠;

其背电场面结构分为钝化-进光区域和背电场-导电区域:钝化-进光区域由基底向外依次为重掺杂晶体硅层(6)、钝化减反射层II(7);背电场-导电区域由基底向外依次为重掺杂晶体硅层(8)、金属栅线II(9),其中重掺杂晶体硅层(8)开槽小,金属栅线II(9)开槽大,金属栅线II(9)与n型晶体硅片(5)之间没有重掺杂晶体硅层(8)的区域为钝化减反射层II(7),这两个区域交叉分布且不重叠。

2.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是所述的钝化减反射层I(3)为氮化硅层。

3.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是所述的发射极与重掺杂n型晶体硅场钝化层I(4)之间设一绝缘层。

4.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是所述的重掺杂n型晶体硅场钝化层I(4)的厚度为1-300nm。

5.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是所述的重掺杂晶体硅层(6)的厚度为1-100nm,为p型掺杂层。

6.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是所述的钝化减反射层II(7)为氧化铝层+氮化硅复合薄膜层。

7.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是器件表面金属栅线总覆盖面积比例为1~3%。

8.根据权利要求1所述的一种具有局域发射极特性的Si基双面太阳电池结构,其特征是重掺杂晶体硅层(8)为n型掺杂层。

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