一种晶片自动下片、测量一体机的制作方法

文档序号:15769873发布日期:2018-10-26 20:56阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于半导体器件加工设备,尤其涉及一种晶片自动下片、测量一体机,用于将晶片与晶片固定环分离,该一体机至少包括传送装置、顶起装置、吸取装置、固定环收纳装置和晶片厚度测量装置,所述顶起装置设置于传送装置的下方,所述吸取装置设置于传送装置的上方,所述传送装置分为上料端和下料端,所述固定环收纳装置设置于传送转轴的下料端,所述厚度测量装置设置于所述吸取装置周边,用于测量分离后晶片的厚度。

技术研发人员:王亚杰;魏峰;蔡家豪;魏莹;梁鸿顺;黄明俊;邱智中;蔡吉明
受保护的技术使用者:安徽三安光电有限公司
技术研发日:2018.04.17
技术公布日:2018.10.26

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