顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置的制作方法

本实用新型属于一种顶喷蚀刻机技术领域，具体涉及顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置。

背景技术：

随着国内LCD行业的蓬勃发展，LCD制造流程中的关键设备蚀刻机需求量增加。由于对基板进行减薄的蚀刻液由硫酸、氢氟酸、硝酸组成的混酸，该混酸的腐蚀性非常强，顶喷蚀刻喷淋时采用的是喷头形式，在这个过程中产生酸雾如果设备密封不严格将容易泄露。

原有推进机构是通过同步带在单侧面与移动小车进行连接移动，拉力不在中间位置造成受力不均影响设备使用寿命，使用双侧面带动机构复杂；

卡匣推进机构进入有腐蚀性的蚀刻区，为了防止腐蚀推进，采用水密封方式会防止酸雾与机构的直接接触；但是水密封虽然解决酸雾泄露，但在密封的同时酸雾会溶解于密封的水中，会对蚀刻机内的卡匣推进机构产生腐蚀，减小设备的使用寿命。因此怎么样减少蚀刻液酸雾泄露对卡匣推进机构的腐蚀，提高设备的使用寿命，降低生产成本，是现阶段急需解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置，推进机构装置用于对卡匣进行推动，

包括安装于清洗区的推进机构，卡匣安装于蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触；

推进机构包括驱动电机、联轴器、主动同步轮、同步带、从动同步轮、从动轮安装座、传动组件、推杆；

驱动电机的转轴通过联轴器与主动同步轮传动连接，从动同步轮安装在从动轮安装座上，同步带套装在主动同步轮和从动同步轮上，主动同步轮转动通过同步带带动从动同步轮转动；

传动组件安装在同步带上，推杆的一端固定连接在传动组件上，推杆的另一端与卡匣连接；传动组件位于同步带上靠近主动同步轮的一端时，卡匣与从动同步轮靠近；传动组件位于同步带上靠近从动同步轮的一端时，卡匣与从动同步轮远离。

具体地，推进机构还包括机架，驱动电机、从动轮安装座固定安装在机架上。

优选地，传动组件固定安装在同步带的上面部分。

优选地，推杆的另一端与卡匣的一端中部连接。

本实用新型的有益效果在于：

本发明的顶喷蚀刻机卡匣推进机构装置，推进机构安装在清洗区，卡匣安装于蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触，避免推进机构和蚀刻区喷嘴产生的酸雾接触，增加推进机构的使用寿命；推杆的另一端与卡匣的一端中部连接，使推进机构的受力位置均匀，延长推进机构的使用寿命；使用本装置后推进机构的使用寿命比单侧推进的使用寿命、抗腐蚀性增加3倍，比两侧推进机构制作成本减少了1倍。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为本实用新型的主视图。

图中：1、驱动电机；2、联轴器；3、主动同步轮；4、同步带；5、从动同步轮；6、从动轮安装座；7、传动组件；8、推杆；9、卡匣；10、机架。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1、图2、图3所示，顶喷蚀刻机卡匣9推进机构装置，推进机构装置用于对卡匣9进行推动，包括安装于清洗区的推进机构，卡匣9安装于蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触；推进机构包括驱动电机1、联轴器2、主动同步轮3、同步带4、从动同步轮5、从动轮安装座6、传动组件7、推杆8；驱动电机1的转轴通过联轴器2与主动同步轮3传动连接，从动同步轮5安装在从动轮安装座6上，同步带4套装在主动同步轮3和从动同步轮5上，主动同步轮3转动通过同步带4带动从动同步轮5转动；传动组件7安装在同步带4上，推杆8的一端固定连接在传动组件7上，推杆8的另一端与卡匣9连接；传动组件7位于同步带4上靠近主动同步轮3的一端时，卡匣9与从动同步轮5靠近；传动组件7位于同步带4上靠近从动同步轮5的一端时，卡匣9与从动同步轮5远离。

推进机构还包括机架10，驱动电机1、从动轮安装座6固定安装在机架10上。

传动组件7固定安装在同步带4的上面部分。

推杆8的另一端与卡匣9的一端中部连接。

本发明的顶喷蚀刻机卡匣9推进机构装置，推进机构安装在清洗区，卡匣9安装于蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触，避免推进机构和蚀刻区喷嘴产生的酸雾接触，增加推进机构的使用寿命；推杆8的另一端与卡匣9的一端中部连接，使推进机构的受力位置均匀，延长推进机构的使用寿命；使用本装置后推进机构的使用寿命比单侧推进的使用寿命、抗腐蚀性增加3倍，比两侧推进机构制作成本减少了1倍。

本实用新型工作时候，驱动电机1工作，驱动力通过联轴器2后传送至主动同步轮3，主动同步轮3转动带动同步带4转动，传动组件7在同步带4上移动，带动推杆8位移，推杆8推动或者拉动卡匣9位移。

整个推进机构中只有推杆8进入过蚀刻区且与喷嘴产生的酸雾接触，但是推杆8回到清洗区时候，会被清洗掉表面的酸雾，不会构成影响。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。