一种设有倾角传感器的晶圆传输末端执行器的制作方法

本实用新型晶圆传输领域，尤其涉及机械手臂上的晶圆传输末端执行器。

背景技术：

晶圆作为半导体工业的重要材料，因其易碎、要求高度洁净，因此一般储存及转运都被放置在晶圆匣中。晶圆进行工艺加工时，通过机械手臂将晶圆从晶圆匣中取出，放置到相应的反应腔室中，待加工完成又会通过机械手臂将其放置在晶圆匣中，因为晶圆匣中晶圆的间隔较小，通常5毫米左右，所以机械手臂上的晶圆末端执行器的水平度十分重要，防止因末端执行器的倾斜碰撞到晶圆或晶圆匣等，造成损失。当前机械手臂上没有实时检测晶圆末端执行器水平度的功能，为此，特设计一种设有倾角传感器的晶圆末端执行器，可实时监测晶圆末端执行器的倾斜角度，防止晶圆末端执行器运行时倾角过大，发生碰撞，并且倾角传感器模块结构简单，体积小巧，重量轻微，不会对机械手臂造成额外负担。

技术实现要素：

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：一种设有倾角传感器的晶圆传输末端执行器，它由晶圆承载基板、倾角传感器模块、螺钉、信号线缆组成。倾角传感器安装在晶圆承载基板上，用螺钉固定，信号线缆连接倾角传感器与控制器。所述晶圆承载基板是作承载晶圆用途，呈扁平形，其一端设有安装螺孔，使其能够安装固定在机械手臂上；所述倾角传感器是双轴倾角传感器模块，通过螺钉水平安装在晶圆承载基板上的后端，且处于晶圆承载基板的中线上；所述信号线缆连接倾角传感器模块和控制器，以实时反馈监测数据。本发明可实时监测晶圆承载基板的倾斜角度，防止晶圆承载基板在运行时倾角过大，发生碰撞，并且倾角传感器模块结构简单，体积小巧，重量轻微，不会对机械手臂造成额外负担；

所述的晶圆承载基板是作承载晶圆用途，呈扁平形，是晶圆传输末端执行器的关键部位，水平安装在机械手臂的末关节上，是传输晶圆的重要支撑机构，一般是由陶瓷、碳纤维、钛合金等材料制成；

进一步地，倾角传感器模块是双轴倾角传感器模块，四周设有安装孔，倾角传感器模块通过螺钉水平安装在晶圆承载基板上的后端，且处于晶圆承载基板的中线上；

进一步地，倾角传感器模块通过信号线缆与控制器连接，反馈实时的倾斜信号；

进一步地，倾角传感器模块的双轴是纵轴与横轴，即前后与左右，纵轴与横轴均与晶圆承载基板平行，且纵轴处在晶圆承载基板的中线上，横轴与晶圆承载基板的中线垂直；

本实用新型的优点是：可实时监测晶圆承载基板的倾斜角度，在检测到晶圆承载基板的倾斜角度过大时，可向控制器实时反馈信号，以停止末端执行器的运行，防止晶圆承载基板在运行时倾角过大，发生碰撞，并且倾角传感器模块结构简单，体积小巧，重量轻微，不会对机械手臂造成额外负担。

附图说明

图1为本实用新型的总体结构示意图；

1.晶圆传输基板；2.倾角传感器模块；3.螺钉；4.信号线缆；

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明，本实用新型较佳实施例为：参见附图1。本实例所述的一种联轴器，它由晶圆承载基板1、倾角传感器模块2、螺钉3组成。所述晶圆承载基板1是作承载晶圆用途，呈扁平形，晶圆承载基板1一端设有安装螺孔，使晶圆承载基板1能够安装固定在机械手臂上；所述倾角传感器2是双轴倾角传感器模块，通过螺钉3水平安装在晶圆承载基板1上的后端，且处于晶圆承载基板1的中线上；

所述的倾角传感器模块2是双轴倾角传感器模块，四周设有安装孔，倾角传感器模块2通过信号线缆4与控制器连接，反馈实时晶圆承载基板的倾斜信号；

所述倾角传感器模块2的双轴是纵轴与横轴，即前后与左右，纵轴与横轴均与晶圆承载基板1平行，且纵轴处在晶圆承载基板1的中线上，横轴与晶圆承载基板1的中线垂直；

本实例所述倾角传感器模块2的倾角信号为模拟电压输出方式，倾角0°到180°之间，对应的电压为0.5到4.5V，纵轴与横轴分别通过对应的信号线缆4与控制器连接，以实时反馈倾斜信号，控制器根据信号的电压判断晶圆承载基板1的倾斜状态；

当控制器判断晶圆承载基板1的倾斜角度达到或超过允许的倾斜角度时，即发出警报，并停止机械手臂的运行，防止末端执行器继续运动，使晶圆承载基板1或晶圆承载基板上的晶圆和设备发生碰撞，以保护机器设备和生产物料；

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故凡依本实用新型的形状、原理所做的变化，均应涵盖在本实用新型保护范围内。