技术总结
一种设有倾角传感器的晶圆传输末端执行器，它由晶圆承载基板、倾角传感器模块、螺钉、信号线缆组成。所述晶圆承载基板是作承载晶圆用途，呈扁平形，其一端设有安装螺孔，使其能够安装固定在机械手臂上；所述倾角传感器是双轴倾角传感器模块，通过螺钉水平安装在晶圆承载基板上的后端，且处于晶圆承载基板的中线上；所述信号线缆连接倾角传感器模块和控制器，以实时反馈监测数据。本实用新型可实时监测晶圆承载基板的倾斜角度，防止晶圆承载基板在运行时倾角过大，发生碰撞，并且倾角传感器模块结构简单，体积小巧，重量轻微，不会对机械手臂造成额外负担。
技术研发人员：王子菲
受保护的技术使用者：上海陛通半导体能源科技股份有限公司
技术研发日：2018.02.24
技术公布日：2018.10.26