真空传送腔体及其盖板的制作方法

本实用新型涉及半导体设备制造领域，具体涉及一种真空传送腔体及真空传送腔体的盖板。

背景技术：

真空传送腔体用于在不同腔体之间传送晶圆，其内设置有机械臂，用于支撑并传送晶圆。现有技术中的真空传送腔体具有中间透明，边缘不透明的一体盖板，当晶圆边缘区域产生破碎时，被真空传送腔体的边缘不透明区域遮挡，在发生传送错误(DA Error)报警时，操作人员并无法确定晶圆边缘的实际情况，会造成操作失误，在传送至下一腔体中时会发生整片晶圆破片，导致设备停机清理，影响工艺进程。

因此，如何改善真空传送腔体边缘不透明区域遮挡晶圆的问题是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空传送腔体及其盖板，能够观察到晶圆的边缘状态，避免晶圆在边缘破碎的情况下进行传送造成的整个晶圆的破片。

为实现上述目的，本实用新型提供一种真空传送腔体的盖板，包括：透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。

可选的，所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。

可选的，在所述非透明区域上设置四个所述可视窗口。

可选的，四个所述可视窗口均匀分布于所述非透明区域上。

可选的，所述可视窗口呈圆形。

可选的，所述可视窗口的直径在1.5英寸～2.5英寸之间。

可选的，所述可视窗口呈椭圆形、三角形或四边形。

可选的，所述盖板呈圆形，所述透明区域呈圆形，所述非透明区域呈圆环形。

可选的，所述盖板的透明区域为压克力盖板，所述盖板的非透明区域为金属盖板，所述盖板的可视窗口为压克力盖板。

相应的，本实用新型还提供一种真空传送腔体，包括如上所述的盖板。

与现有技术相比，本实用新型提供的真空传送腔体及其盖板，包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过所述可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆边缘是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。

附图说明

图1为一真空传送腔体的盖板的结构示意图。

图2为本实用新型一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图；

图3为本实用新型另一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图；

图4为本实用新型另一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图。

具体实施方式

图1为一真空传送腔体的盖板的结构示意图，如图1所示，所述真空传送腔体的盖板10包括透明区域11与非透明区域12，所述非透明区域12包围所述透明区域11。

所述真空传送腔体内用于放置晶圆，发明人发现，在设备发出传送错误报警时，操作人员并无法判断报警的原因，即无法确认晶圆的边缘是否产生破碎，因此会导致该晶圆继续被传送到下一腔体，从而造成整个晶圆破片，导致设备停机清理，影响了工艺进程。

针对上述问题，发明人提供一种真空传送腔体及其盖板，所述盖板包括透明区域和非透明区域，所述非透明区域包围所述透明区域，其特征在于，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口。

本实用新型提供的真空传送腔体及其盖板，包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆边缘是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。

为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内容做进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本实用新型的限定。

请参考图2，其为本实用新型一实施例所提供的真空传送腔体的盖板的结构示意图。如图2所示，本实用新型提供一种真空传送腔体的盖板100，包括：透明区域110和非透明区域120，所述非透明区域120包围所述透明区域110，在所述非透明区域120上设置有多个可视窗口121。

操作人员通过所述可视窗口121可以观察到所述真空腔室内的晶圆的边缘区域，由此当发生传送错误报警时，操作人员可以观察到所述晶圆的边缘状态，确定晶圆边缘是否产生有破碎，确定晶圆的位置是否正确，从而判断是暂停传送还是继续将所述晶圆传送到下一腔体内，避免在晶圆边缘破碎的情况下还被传送至下一腔体，避免由此造成的整片晶圆的破裂，从而避免停机清理，节约了清理时间，提高了传送效率。

优选的，在本实施例中，所述可视窗口121均匀分布于所述非透明区域120上，从而可以采用较少的所述可视窗口121观察到所述晶圆的边缘。更优选的，在所述非透明区域120上设置四个所述可视窗口121，四个所述可视窗口121均匀分布于所述非透明区域120上，即四个所述可视窗口121分别位于所述非透明区域120的上下左右四个位置，如图2所示。所述透明区域110与四个所述可视窗口121能够观察到所述晶圆的全部状态，即操作人员通过所述透明区域110与所述可视窗口121能够观察到晶圆的全部区域。可以理解的是，在其他实施例中，所述可视窗口121的个数可以为三个、五个或更多，需要根据实际要求来确定，本实用新型对此不做限定。

本实施例中，所述可视窗口121呈圆形，所述可视窗口121的直径优选在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的直径为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的直径为2.0英寸。在所述可视窗口121的之间在1.5英寸～2.5英寸之间，所述可视窗口121的数量在四个时，可以通过所述可视窗口121与所述透明区域110观察到晶圆的全部区域。当然，如果所述可视窗口121的数量增加，则其尺寸可以减小，若其尺寸增加，则其数量可以减小，本实用新型对此并不做限定，其最终目的是观察到晶圆的全部区域。另外，多个可视窗口121之间的形状和/或尺寸可以相同，也可以不相同。

如图3所示，在本实用新型的另一实施例中，所述可视窗口121可以呈四边形，优选的，所述可视窗口121呈正方形，所述可视窗口121的对角线长度优选在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的对角线长度为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的对角线长度为2.0英寸。如上所述，本实施例只是给出较佳的尺寸，其实际尺寸可以根据所述可视窗口121的数量来决定。

在其他实施例中，所述可视窗口121还可以呈椭圆形或三角形等形状，还可以为本领域技术人员已知的其他形状。优选的，所述可视窗口121的平均孔径在1.5英寸～2.5英寸之间，例如所述可视窗口121的平均孔径为1.5英寸、2.0英寸或2.5英寸，优选的，所述可视窗口121的平均孔径为2.0英寸。

请继续参考图2所示，在本实施例中，所述盖板100呈圆形，所述透明区域110也呈圆形，所述非透明区域120呈圆环形，所述非透明区域120包围所述透明区域110。在其他实施例中，所述透明区域110也可以呈其他的形状，例如正方形、长方形或椭圆形等，当所述透明区域110呈正方形时，所述非透明区域120为一闭合的环状，其内部为正方形、外部为圆形，如图4所示。当所述透明区域110呈椭圆形时，所述非透明区域120为一闭合环状，其内部为椭圆形、外部为圆形。也就是说，所述非透明区域120的形状随所述透明区域110的形状的变化而变化。

可以理解的是，所述盖板100也可以为其他的形状，例如可以呈正方形、长方形、椭圆形等，当然，所述盖板100的形状与所述真空传送腔体相关，在满足所述真空传送腔体的要求下，优先选择的形状需要近可能多的观察到晶圆，其余未观察到的晶圆区域通过所述可视窗口来观察。所述盖板100可以选择不同的形状，所述透明区域110也可以选择不同的形状，所述非透明区域120的形状则随着所述盖板100的形状与所述透明区域110的形状的变化而变化。本实用新型对所述盖板100、透明区域110、非透明区域120以及可视窗口121的形状均不做限定。

优选的，所述透明区域110由压克力制成，所述非透明区域120由金属制成，所述可视窗口121的材质可以与所述透明区域110的材质一致，也为压克力。所述真空传送腔体内部为真空环境，外部为常压，内外部具有压强差，所述真空传送腔体需要承受100mTorr～200mTorr的压力，同样的，所述盖板100也需要承受相同的压力。因此，所述透明区域110与所述可视窗口121的材质可以为任何能够承受该压力的透明材料，所述可视窗口121的材质与所述透明区域110的材质可以相同，也可以不同。所述非透明区域120的材质也可以为能够承受该压力的任何金属材料。

由金属制成的所述非透明区域120包围由压克力制成的所述透明区域110，在打开或关闭所述真空传送腔体的盖板时，所施加的力主要由所述非透明区域120来承受，所述非透明区域120的材质并不仅限于金属，可以为能够承受上述由于压强差造成的压力以及打开或关闭盖板时所施加的力的任何材质。当然，在压克力或其他透明材料能够承受打开或关闭盖板所施加的力的前提下，所述盖板100可以完全由透明材料制成，即所述盖板100只包含透明区域110，如此则不需要形成可视窗口。

相应的，本实用新型还提供一种真空传送腔体，包含如上所述的盖板100，请参考图2～图4所示，所述盖板100包括透明区域110和非透明区域120，所述非透明区域120包围所述透明区域110，在所述非透明区域120上设置有多个可视窗口121。

操作人员通过所述可视窗口121可以观察到所述真空腔室内的晶圆的边缘区域，由此当发生传送错误报警时，操作人员可以观察到所述晶圆的边缘状态，确定晶圆边缘是否产生有破碎，确定晶圆的位置是否正确，从而判断是暂停传送还是继续将所述晶圆传送到下一腔体内，避免在晶圆边缘破碎的情况下还被传送至下一腔体，避免由此造成的整片晶圆的破裂，从而避免停机清理，节约了清理时间，提高了所述真空传送腔体的传送效率。

综上所述，本实用新型提供的真空传送腔体及其盖板，包括透明区域与非透明区域，所述非透明区域围绕所述透明区域，在所述非透明区域上设置有多个可视窗口，通过所述可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，确认晶圆可视窗口可以观察到放置于所述真空传送腔体内的晶圆的边缘状态，是否产生破碎并确认晶圆的位置，避免在晶圆边缘破碎的情况下还传送至下一腔体，避免造成晶圆整片破片，从而避免停机清理，提高了传送效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。