一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置的制作方法

文档序号:16012359发布日期:2018-11-20 20:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于,它包括:

水槽(1),所述水槽(1)具有承托面(11)和开口(12);

晶体硅花篮(2),所述晶体硅花篮(2)置放于所述水槽(1)中的所述承托面(11)上,所述晶体硅花篮(2)的长度方向上并列设置有多个用于插置晶体硅的插置槽(21),每个所述插置槽(21)中可同时插入两片相叠的晶体硅(5);

高压喷水组件(3),所述高压喷水组件(3)安装在所述水槽(1)中,所述高压喷水组件(3)包括布置在所述晶体硅花篮(2)侧方的高压水管(31),所述高压水管(31)上开设有多个面向所述晶体硅花篮(2)的喷水开口(311)。

2.根据权利要求1所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:所述高压喷水组件(3)通过安装支架(32)安装在所述水槽(1)中,通过调整所述安装支架(32)在所述水槽(1)中的安装位置可以调节所述高压水管(31)的位置和方向从而调节喷水开口(311)的开口方向。

3.根据权利要求1或2所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:所述喷水开口(311)的开口方向与所述晶体硅花篮(2)中插置的单片晶体硅表面形成角度。

4.根据权利要求1所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:所述高压水管(31)同时布置在所述晶体硅花篮(2)的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:它还包括超声波组件(4),所述超声波组件(4)包括超声波发生器(42)和与之连接的超声波换能器(41),所述超声波组件(4)用于加强趋动所述水槽(1)中的水朝向所述晶体硅花篮(2)流动进入双层晶体硅(5)之间以分离晶体硅(5)。

6.根据权利要求5所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:所述超声波发生器(42)为兆声波发生器。

7.根据权利要求5所述的一种湿制程晶体硅双层叠合湿法分离装置,其特征在于:所述超声波换能器(41)设置在所述水槽(1)下方。

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