一种使用顶块加盖与取盖的晶粒承载盘的制作方法

文档序号:16485593发布日期:2019-01-04 23:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种使用顶块加盖与取盖的晶粒承载盘,包括承载盘(100)、上盖(200),承载盘(100)上矩形阵列分布有晶粒(300),其特征在于,所述上盖(200)的顶部设有用于分离上盖与承载盘的上盖载台(400),所述承载盘(100)的底部设有用于结合承载盘的承载盘载台(500);

所述上盖(200)包括:上盖本体(210)、盖合边(220),盖合边(220)设于上盖本体(210)的四个边的端部,盖合边(220)的内侧设有平行的滑轨(221),上盖本体(210)与盖合边(220)之间形成有上盖内扣(230);

所述承载盘(100)包括:承载盘本体(110)、被盖合边(120),被盖合边(120)设于承载盘本体(110)的四个边的端部,被盖合边(120)的长度与滑轨(221)的长度一致,承载盘本体(110)与被盖合边(120)之间形成有承载盘内扣(130);

所述上盖载台(400)的四个角设有与上盖内扣(230)过盈配合的上盖顶块(410),所述承载盘载台(500)的四个角设有与承载盘内扣(130)过盈配合的承载盘顶块(510)。

2.根据权利要求1所述的使用顶块加盖与取盖的晶粒承载盘,其特征在于,所述被盖合边(120)上设有若干条平行的凸出部(121),滑轨(221)的表面设有与凸出部(121)配合的若干条平行的凹槽(222)。

3.根据权利要求1所述的使用顶块加盖与取盖的晶粒承载盘,其特征在于,所述上盖本体(210)的底面设有圆形凹槽,圆形凹槽内固定安装有真空吸盘(211)。

4.根据权利要求1所述的使用顶块加盖与取盖的晶粒承载盘,其特征在于,所述上盖内扣(230)、承载盘内扣(130)呈长方体凹槽状,所述上盖顶块(410)、承载盘顶块(510)呈长方体状。

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