转接头的制作方法

本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及转接头。

背景技术：

半导体（semiconductor），指常温下导电性能介于导体（conductor）与绝缘体（insulator）之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的联系。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。目前半导体生产设备排出的颗粒状尾气容易将与之相连的真空泵损坏。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供转接头，本实用新型提高了使用效果。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

转接头，包括转接头本体、第一连接管、第一法兰盘、内腔、上过滤层板，所述转接头本体上侧设置有所述第一连接管，所述转接头本体与所述第一连接管一体成型，所述第一连接管上侧设置有所述第一法兰盘，所述第一连接管与所述第一法兰盘一体成型，所述转接头本体内部设置有所述内腔，所述转接头本体与所述内腔一体成型，所述内腔里面设置有所述上过滤层板，所述上过滤层板与所述转接头本体焊接，所述上过滤层板下侧设置有下过滤层板，所述下过滤层板与所述转接头本体焊接，所述转接头本体下侧设置有第二连接管，所述转接头本体与所述第二连接管一体成型，所述第二连接管内部设置有过滤网，所述过滤网与所述第二连接管通过螺钉连接，所述第二连接管下侧设置有第二法兰盘，所述第二连接管与所述第二法兰盘一体成型，所述第二法兰盘下侧设置有第三法兰盘，所述第三法兰盘下侧设置有第三连接管，所述第三法兰盘与所述第三连接管一体成型，所述第二法兰盘和所述第三法兰盘外侧设置有密封圈。

优选的：所述密封圈外侧设置有卡箍，所述第二法兰盘与所述第三法兰盘通过所述卡箍连接。

如此设置，所述卡箍起到固定连接的作用。

优选的：所述卡箍一端设置有第一连接块，所述卡箍与所述第一连接块一体成型。

如此设置，一体成型使所述卡箍与所述第一连接块结构更加稳定。

优选的：所述卡箍另一端设置有第二连接块，所述卡箍与所述第二连接块一体成型。

如此设置，一体成型使所述卡箍与所述第二连接块之间稳定性增强。

优选的：所述第一连接块与所述第二连接块通过紧固螺栓连接。

如此设置，所述紧固螺栓起到固定连接的作用，使用方便。

优选的：所述紧固螺栓上面设置有螺帽，所述紧固螺栓与所述螺帽通过螺纹连接。

如此设置，螺纹连接使所述紧固螺栓与所述螺帽连接更加紧固。

优选的：所述第三连接管下侧设置有真空泵，所述第三连接管与所述真空泵通过螺纹连接。

如此设置，螺纹连接使所述第三连接管与所述真空泵之间固定效果好。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、该转接头结构简单、使用方便、实用性强；

2、设置有上过滤层板和所述下过滤层板，可以达到很好的过滤效果；

3、结构上节省材料，方便组装拆卸，节省维护成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型所述转接头的整体结构示意图；

图2是本实用新型所述转接头的过滤层板结构示意图；

图3是本实用新型所述转接头的主视内部结构示意图；

图4是本实用新型所述转接头的下过滤层板俯视图。

附图标记说明如下：

1、转接头本体；2、第一连接管；3、第一法兰盘；4、内腔；5、上过滤层板；6、下过滤层板；7、第二连接管；8、第二法兰盘；9、第三连接管；10、第三法兰盘；11、卡箍；12、密封圈；13、第一连接块；14、第二连接块；15、紧固螺栓；16、螺帽；17、过滤网；18、真空泵。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、 “底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例1

如图1-图4所示，转接头，包括转接头本体1、第一连接管2、第一法兰盘3、内腔4、上过滤层板5，转接头本体1上侧设置有第一连接管2，第一连接管2起到连接作用，转接头本体1与第一连接管2一体成型，第一连接管2上侧设置有第一法兰盘3，第一法兰盘3起到连接作用，第一连接管2与第一法兰盘3一体成型，转接头本体1内部设置有内腔4，转接头本体1与内腔4一体成型，内腔4里面设置有上过滤层板5，上过滤层板5起到过滤作用，上过滤层板5与转接头本体1焊接，上过滤层板5下侧设置有下过滤层板6，下过滤层板6起到过滤作用，下过滤层板6与转接头本体1焊接，转接头本体1下侧设置有第二连接管7，第二连接管7起到连接作用，转接头本体1与第二连接管7一体成型，第二连接管7内部设置有过滤网17，过滤网17起到过滤作用，过滤网17与第二连接管7通过螺钉连接，第二连接管7下侧设置有第二法兰盘8，第二法兰盘8起到连接作用，第二连接管7与第二法兰盘8一体成型，第二法兰盘8下侧设置有第三法兰盘10，第三法兰盘10起到连接作用，第三法兰盘10下侧设置有第三连接管9，第三连接管9起到连接作用，第三法兰盘10与第三连接管9一体成型，第二法兰盘8和第三法兰盘10外侧设置有密封圈12，密封圈12起到密封作用。

实施例2

本实施例与实施例1的区别在于：

密封圈12外侧设置有卡箍11，第二法兰盘8与第三法兰盘10通过卡箍11连接，卡箍11起到固定连接的作用。

工作原理：将转接头本体1安装在尾气排放与真空泵18之间，在半导体生产过程中，会产生很多颗粒状尾气，排出的尾气经过转接头本体1，上过滤层板5与下过滤层板6，增加了废气的流动长度，使颗粒物沉积下来，然后过滤网17起到二次过滤，保证排出的废气无颗粒物，保护真空泵18的正常运行。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。