一种芯片模组、晶圆级芯片的封装结构及封装方法与流程

文档序号:17786078发布日期:2019-05-31 19:26阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种芯片模组、晶圆级芯片的封装结构及封装方法,该封装结构在相邻两芯片单元的焊垫上方形成金属凸起,由于金属凸起尺寸相比焊垫尺寸更大、厚度更厚,增大了芯片单元中后续电路引出与导电布线层的有效接触面积,提高了芯片封装结构的导电可靠性;本发明其中一个技术方案是直接在晶圆表面压印成型光学元器件,将两道工序简化为一道工序,缩短了封装制程,降低了生产成本;通过切割的方式自晶圆非功能面向金属凸起方向延伸形成第一开口,适用于不宜激光打孔的晶圆材质;并且在切割步骤之前设置了预切步骤,这样在切割步骤时,只需切割压印元件,减少了切割制程中出现边缘材料分层、产品裂片、断刀、崩边等问题。

技术研发人员:李凡月
受保护的技术使用者:华天慧创科技(西安)有限公司
技术研发日:2019.01.15
技术公布日:2019.05.31
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