一种磁阻传感器结构及其制造方法与流程

文档序号:17935291发布日期:2019-06-15 01:21阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种磁阻传感器结构及其制造方法,包括基底、缓冲层、相变结构、绝缘层和导电材料电极;缓冲层设置在基底的上表面,缓冲层上设置有相变结构和绝缘层,绝缘层设置在相变结构的两侧,且绝缘层高于相变结构;两个绝缘层顶部之间设置有导电材料电极;相变结构包括铁磁层、相变材料和非磁层。本发明将使用相变材料作为非磁性隔离层,由于室温下绝缘的相变材料在电流作用下可转变为导电材料,使磁阻传感器可在GMR与TMR两种效应间可控翻转,实现对磁阻传感器线性测量范围的动态调控。

技术研发人员:刘明;胡忠强;周子尧;王志广;王立乾;关蒙萌;段君宝
受保护的技术使用者:西安交通大学
技术研发日:2019.03.01
技术公布日:2019.06.14
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