药液供应组件的制作方法

本申请享有2018年11月2日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2018-0133430号的优先权。

本发明的例示性的实施例涉及药液供应组件。更具体来讲，本发明的例示性的实施例涉及为了向喷墨头提供药液而包括药液供应线路的药液供应组件。

背景技术：

在用于制造液晶显示装置或有机发光显示装置等之类的显示装置的工序中，执行为了在基板上形成配向膜或滤色器而向所述基板上涂布药液的印刷工序。所述印刷工序可大体利用能够向所述基板上排出所述药液的喷墨头执行。

在现有的印刷工序中，可能会将至少两个喷墨头作为一个包提供，需要向各所述喷墨头均匀地供应所述药液。该情况下，向所述喷墨头供应所述药液的供应线路只向与所述药液的流动方向相同或近似的方向构成的情况下所述药液可能无法均匀地供应到各所述喷墨头。并且，随着向所述喷墨头持续供应所述药液，所述供应线路内可能会发生气泡，但这些气泡可能无法适当地排出到所述供应线路的外部。

技术实现要素：

技术问题

本发明的目的是提供一种能够向各喷墨头均匀地提供药液，能够轻易地去除供应所述药液期间发生的气泡的药液供应组件。

技术方案

根据本发明的方面，提供一种为了向至少一个喷墨头提供药液而包括药液供应线路的药液供应组件。所述药液供应组件可包括：具有第一直径且沿着第一方向延伸的主线路、向实质上垂直于所述第一方向的第二方向从所述主线路分支，连接于所述至少一个喷墨头，具有实质上小于所述第一直径的第二直径的分支线路、以及连接于所述主线路的一侧端部向所述药液供应线路的外部排出在所述药液供应组件向所述至少一个喷墨头供应所述药液期间在所述药液供应线路内发生的气泡的排出线路。

在例示性的实施例中，所述药液供应组件可向三个喷墨头供应所述药液，所述分支线路可分别连接于所述三个喷墨头。

在例示性的实施例中，所述药液供应组件向所述至少一个喷墨头供应所述药液期间所述主线路内能够具有缓冲空间，因此所述药液能够不完全充满所述主线路。

在部分例示性的实施例中，所述药液供应组件还可以包括为了打开闭合所述排出线路而设置在所述排出线路内的阀。

在部分例示性的实施例中，所述主线路为了向所述至少一个喷墨头供应所述药液而可连接到储存所述药液的药液储存槽，所述药液供应组件还可以包括可配置在所述主线路内且可连接到所述药液储存槽，具有实质上小于所述第一直径的第三直径的连接部件。

根据部分例示性的实施例，所述连接部件可配置成邻接于所述主线路的另一侧端部。

技术效果

在本发明的例示性的实施例的药液供应组件中，所述分支线路可分成实质上垂直于所述主线路，各所述分支线路可具有实质上比所述主线路的直径小的直径。因此，能够利用所述药液供应组件向各所述喷墨头均匀地提供所述药液。并且，所述药液供应组件向所述喷墨头供应所述药液期间在所述药液供应线路内发生的气泡能够通过所述排出线路轻易地排出到所述药液供应线路的外部。其结果，能够提高利用所述药液供应组件执行的用于制造显示装置、半导体装置之类的集成电路装置的工序的可靠性。

但本发明的效果不限于上述效果，可在不超出本发明的思想及领域的范围内进行多种扩张。

附图说明

图1是示出本发明的例示性的实施例的药液供应组件的简要构成的示意图；

图2是用于说明从现有的药液供应组件向喷墨头供应的药液的量的示意图。

具体实施方式

以下说明本发明的例示性的实施例，但本发明可实施多种变更，可以具有多种形态，本说明书对实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态，应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用类似的附图标记。第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得受限于所述用语。所述用语只是用于使一个构成要素与其他构成要素相区分。本申请中使用的用语只是用于说明特定实施例，目的并非限定本发明。单数的表现形式在文中无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”或“构成”等用语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除存在或附加一个或多个其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的可能性。

若无另行定义，包括技术用语或科学用语在内的此处使用的所有用语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的用语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。

以下参见附图对本发明的例示性的实施例的药液供应组件进行说明。

图1是示出本发明的例示性的实施例的药液供应组件的简要构成的示意图。

参见图1，例示性的实施例的药液供应组件100可用于制造半导体装置、显示装置之类的集成电路装置的工序。例如，所述药液供应组件100可适用于使用清洗液、蚀刻气体、光刻胶、清洗溶液、涂层溶液等之类的多种流体执行的集成电路装置的制造工序。在例示性的实施例中，所述药液供应组件100尤其可以在制造液晶显示装置、有机发光显示装置等之类的显示装置的工序用于为了在基板上形成配向膜或滤色器而向所述基板上涂布药液的工序。

所述药液供应组件100用于制造所述显示装置的工序的情况下，所述药液供应组件100可具有连接到为了在所述基板上形成配向膜或滤色器等而能够将所述药液提供到所述基板上的一个以上的喷墨头的结构。在例示性的实施例中，所述药液供应组件100可包括为了向所述一个以上的喷墨头提供所述药液而能够与所述一个以上的喷墨头流体连通的药液供应线路。

所述药液供应组件100的药液供应线路可设于含有能够具有优良的耐腐蚀性的物质，例如不锈钢(stainlesssteel)的主体内。该情况下，所述主体可以由能够对所述药液具有低反应性、具有优良的加工性的物质，例如，金属、树脂、塑料等形成。

如图1例示，所述药液供应组件100的药液供应线路可包括主线路11、分支线路13及排出线路15。

所述药液供应线路的主线路11可以与能够储存向多个喷墨头(即，喷墨头1、喷墨头2及喷墨头3，但不限于此)供应的所述药液的药液储存槽(未示出)流体连通。该情况下，至少两个喷墨头可以以一个包为单位提供。在例示性的实施例中，所述主线路11内可设有连接部件12，所述连接部件12可连接在用于从所述药液储存槽传递所述药液的线路。例如，所述连接部件12可邻接地配置在所述主线路11的一侧端部。

所述主线路11可在所述主体内沿第一方向延伸。其中，所述主线路11延伸的所述第一方向可实质上平行于所述多个喷墨头(所述喷墨头1、所述喷墨头2及所述喷墨头3)。例如，所述第一方向可实质上平行于排列有所述喷墨头的多个喷嘴的喷嘴表面。

在例示性的实施例中，所述主线路11可具有第一直径。其中，所述主线路11的第一直径可具有向所述多个喷墨头供应所述药液期间所述主线路11并不充满所述药液的尺寸。例如，可以使得因所述主线路11的第一直径而在所述主线路11内具有缓冲空间，以使得所述药液供应组件100向所述多个喷墨头供应所述药液时所述药液不充满到所述主线路11的内侧上部表面。

所述分支线路13可从所述主线路11分支，可按指定的间隔相隔。所述分支线路13可分别连接到所述多个喷墨头(所述喷墨头1、所述喷墨头2及所述喷墨头3)。其中，所述分支线路13的数量可以实质上等于所述喷墨头的数量。

所述分支线路13可从所述主线路11沿第二方向延伸。该情况下，所述分支线路13延伸的所述第二方向可以实质上垂直于所述第一方向。例如，所述第二方向可实质上垂直于所述喷墨头的多个喷嘴排列的喷嘴表面。

在例示性的实施例中，各所述分支线路13可具有第二直径。其中，所述第二直径可以实质上小于所述主线路11的第一直径。

再次参见图1，所述连接部件12的直径大于所述主线路11的第一直径的情况下，所述药液供应组件100通过所述主线路11向所述喷墨头供应所述药液期间，所述主线路11内可能不形成所述缓冲空间。因此，所述连接部件12为了使得所述主线路11内形成所述缓冲空间而可以具有实质上比所述主线路11的第一直径小的第三直径。例如，所述连接部件12的第三直径可以与各分支线路13的第二直径实质上相同或相似。

如上所述，所述药液供应组件100可包括具有所述第一直径的主线路11、具有实质上小于所述第一直径的第二直径的分支线路13及具有实质上小于所述第一直径的第三直径的连接部件12。并且，可考虑所述药液的流动而在所述主线路11形成所述缓冲空间。所述主线路11内的这种缓冲空间及从所述主线路11分支的所述分支线路13能够使得向各所述喷墨头供应的所述药液的流量实质上保持一定，因此所述药液供应组件100能够以实质上均匀的量向各所述喷墨头供应所述药液。其结果，各所述喷墨头对基板执行指定的工序期间，能够从所述药液供应组件100以实质上一定的量向所述基板上排出药液，因此可在所述基板上形成均匀的膜或层。

如图1例示，从所述药液供应组件100向所述喷墨头(所述喷墨头1、所述喷墨头2及所述喷墨头3)供应所述药液期间所述药液供应线路内可能会发生气泡。所述排出线路15能够将所述药液供应线路内发生的所述气泡排出到所述药液供应线路的外部。在例示性的实施例中，所述排出线路15可以与所述主线路11流体连通。例如，所述排出线路15可连接在沿着所述第一方向延伸的主线路11的另一侧端部。根据部分例示性的实施例，所述排出线路15可通过螺钉结合、螺栓结合等之类的结合方式连接到所述主线路11。在部分例示性的实施例中，所述排出线路15内可设有阀17。所述阀17可开放或闭合所述排出线路15。

在部分例示性的实施例的药液供应组件100中，从所述药液供应组件100向所述喷墨头供应所述药液期间所述药液供应线路内发生的气泡因所述药液与所述气泡的密度差而能够聚集于所述主线路11内的所述缓冲空间内。该情况下，所述阀17能够打开，因此所述气泡能够从所述主线路11内的缓冲空间通过所述排出线路15排出到所述药液供应线路的外部。因此，所述药液供应组件100能够向所述喷墨头提供更均匀的药液。

比较从例示性的实施例的药液供应组件向喷墨头供应的药液的量和从现有的药液供应组件向喷墨头供应的药液的量。图2是用于说明从现有的药液供应组件向喷墨头供应的药液的量的示意图。

用图1例示的药液供应组件100向三个喷墨头(即，所述喷墨头1、所述喷墨头2及所述喷墨头3)供应了药液。该情况下，整体上以每秒约164g程度的流量从所述药液供应组件100向所述喷墨头1至所述喷墨头3供应了所述药液。具体来讲，以每秒约52g程度的流量向所述喷墨头1供应了所述药液，以每秒约53g程度的流量向所述喷墨头2供应了所述药液，以每秒约59g程度的流量向所述喷墨头3供应了所述药液。

另外，使用图2例示的现有的药液供应组件200向三个喷墨头(即，喷墨头4、喷墨头5及喷墨头6)供应了药液。此时，整体上以每秒约216g程度的流量从所述现有的药液供应组件200向所述喷墨头4至所述喷墨头6供应了所述药液。具体来讲，以每秒约24g程度的流量向所述喷墨头4供应了所述药液，以每秒约165g程度的流量向所述喷墨头5供应了所述药液，以每秒约27g程度的流量向所述喷墨头6供应了所述药液。

如上所述，确认了本发明的药液供应组件相比于现有的药液供应组件向所述喷墨头供应的量明显更均匀。因此，本发明的药液供应组件能够有利地用于半导体装置、显示装置之类的集成电路装置的制造。

以上说明了本发明的例示性的实施例，但本技术领域的普通技术人员应理解可以在不超出所附权利要求记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。