阵列基板的制作方法及显示面板与流程

文档序号:20611496发布日期:2020-05-06 19:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,所述阵列基板预设有第一有源层区域和第二有源层区域,所述方法包括:

提供基底;

在所述基底上形成依次层叠的非晶硅层和保护层;

图案化所述保护层及所述非晶硅层以形成至少一个第一结构和至少一个第二结构,并暴露出所述基底未与所述第一结构及所述第二结构接触的部分;其中,所述第一结构位于所述第一有源层区域,所述第二结构环绕所述第二有源层区域,所述第一结构中的保护层的厚度大于所述第二结构中的保护层的厚度;

在所述第二有源层区域的基底上形成金属氧化物层。

2.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

在所述第二有源层区域的基底上形成金属氧化物层包括:

将金属氧化物材料前驱体溶液旋涂于所述第二有源层区域的基底上;

退火处理以得到所述金属氧化物层。

3.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,图案化所述保护层及所述非晶硅层以暴露出部分所述基底,并形成至少一个第一结构和至少一个第二结构包括:

利用半色调掩膜工艺形成所述第二结构中的保护层,以使所述第一结构中的保护层的厚度大于所述第二结构中的保护层的厚度。

4.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

所述保护层的材料为光刻胶。

5.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

所述第二结构中的保护层的厚度为0.6微米至0.8微米。

6.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

所述非晶硅层的厚度为500埃米。

7.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

在所述基底上被所述第二结构环绕的区域形成金属氧化物层之后还包括:

去除所述第二结构;

去除所述第一结构中的保护层;

晶化所述第一结构中的非晶硅层以形成多晶硅层。

8.根据权利要求7所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,

晶化所述第一结构中的非晶硅层以形成多晶硅层包括:

利用掩膜版遮挡所述金属氧化物层,并暴露出所述非晶硅层,通过退火以晶化所述第一结构中的非晶硅层。

9.根据权利要求7所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,晶化所述第一结构中的非晶硅层后还包括:

形成覆盖所述基底、所述多晶硅层及所述金属氧化物层的栅极绝缘层;

在所述栅极绝缘层上形成与所述多晶硅层及所述金属氧化物层对应的栅极;

对所述多晶硅层及所述金属氧化物层进行离子注入;

形成覆盖所述栅极绝缘层及所述栅极的层间绝缘层;

在所述层间绝缘层上形成源漏极层。

10.一种显示面板,其特征在于,包括阵列基板,其中,所述阵列基板采用利用权利要求1-9任一项所述的制作方法制作;

所述第一结构的非晶硅层与所述金属氧化物层同层设置,且均位于所述基底上。


技术总结
本发明公开了一种阵列基板的制作方法及显示面板。阵列基板预设有第一有源层区域和第二有源层区域,阵列基板的制作方法包括:提供基底;在基底上形成依次层叠的非晶硅层和保护层;图案化保护层及非晶硅层以形成至少一个第一结构和至少一个第二结构,并暴露出基底未与第一结构及第二结构接触的部分;其中,第一结构位于第一有源层区域,第二结构环绕第二有源层区域,第一结构中的保护层的厚度大于第二结构中的保护层的厚度;在第二有源层区域的基底上形成金属氧化物层。本发明实施例能够减少阵列基板制作工艺中掩膜工艺的次数,降低制作成本。

技术研发人员:孔祥永
受保护的技术使用者:合肥维信诺科技有限公司
技术研发日:2019.12.25
技术公布日:2020.05.05
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