一种硅晶圆检测用夹具的制作方法

文档序号:18875783发布日期:2019-10-15 17:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅晶圆检测用夹具,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)上端固定连接有伸缩杆(2),所述伸缩杆(2)上端固定连接有固定板(3),所述固定板(3)内设有腔室(4),所述腔室(4)顶面设有开口(5),所述腔室(4)内设有移动件(6),所述移动件(6)贯穿开口(5)设置,所述移动件(6)位于腔室(4)外的一端上设有夹持件(7)。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具,其特征在于,所述伸缩杆(2)为液压缸。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具,其特征在于,所述固定板(3)位于中心位置的上端固定连接有两块支撑块(8),两块所述支撑块(8)分别靠近开口(5)的前后两侧设置,两块所述支撑块(8)的上端放置有同一块硅晶圆本体(9)。

4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具,其特征在于,所述移动件(6)包括转动连接于腔室(4)左侧内壁上的双向螺纹杆(10),所述双向螺纹杆(10)的右端贯穿腔室(4)的右侧内壁设置,所述双向螺纹杆(10)的右端固定连接有旋钮,所述双向螺纹杆(10)上螺纹套接有两块活动块(11),两块所述活动块(11)均与腔室(4)的底部滑动连接,两块所述活动块(11)的上端均贯穿开口(5)设置,所述夹持件(7)设置于两块活动块(11)位于腔室(4)外的相对侧壁上。

5.根据权利要求4所述的一种硅晶圆检测用夹具,其特征在于,所述腔室(4)的底部上设有滑槽(12),所述滑槽(12)内滑动连接有两块与之相匹配的滑块(13),两块所述滑块(13)的上端分别与两块活动块(11)的下端固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种硅晶圆检测用夹具,其特征在于,所述夹持件(7)包括分别设置于两块活动块(11)位于腔室(4)外相对侧壁上的凹槽(14),两个所述凹槽(14)的内壁上均固定连接有弹簧伸缩杆(15),两根所述弹簧伸缩杆(15)远离凹槽(14)内壁的一端上均固定连接有夹持块(16),两块所述夹持块(16)的相对侧壁上均设有卡槽(17)。

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