技术总结
本实用新型公开了一种硅晶圆检测用夹具，包括底座，所述底座上端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆上端固定连接有固定板，所述固定板内设有腔室，所述腔室顶面设有开口，所述腔室内设有移动件，所述移动件贯穿开口设置，所述移动件位于腔室外的一端上设有夹持件。本实用新型通过设置的弹簧伸缩杆和夹持块，能够有效的对硅晶圆本体进行夹持固定，同时能够对硅晶圆本体提供一定的缓冲保护，通过转动旋钮带动两块活动块相对移动，并带动夹持件对不同尺寸的硅晶圆本体进行夹持固定，操作方便且实用。
技术研发人员：王宜
受保护的技术使用者：江苏斯米克电子科技有限公司
技术研发日：2019.03.15
技术公布日：2019.10.15