一种观察样品断口的扫描电镜用样品台的制作方法

文档序号:18782652发布日期:2019-09-29 16:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种观察样品断口的扫描电镜用样品台,包括圆台(1),其特征在于,圆台(1)上表面设有第一凹槽(3)、第二凹槽(4)、第三凹槽(5),所述第一凹槽(3)、第二凹槽(4)及第三凹槽(5)内均嵌有圆形磁铁(7),圆台(1)通过紧固螺钉(2)与周围的螺纹孔(6)相配合固定安装。

2.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的圆台(1)外围的螺纹孔(6)共有6个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称均匀分布。

3.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述的紧固螺钉(2)为全螺纹螺杆式,外端头开有一字凹槽,紧固螺钉(2)共有6个,配合圆台(1)上的螺纹孔(6)使用。

4.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第一凹槽(3)截面呈圆形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第一凹槽(3)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

5.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第二凹槽(4)截面呈正方形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第二凹槽(4)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

6.根据权利要求1所述的观察样品断口的扫描电镜用样品台,其特征在于,所述第三凹槽(5)截面呈长方形,深度为圆台(1)的0.5-0.75倍,第三凹槽(5)共有2个,以圆台(1)的中心线为对称轴呈中心对称分布。

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