三层硅片键合对准夹具的制作方法

本实用新型涉及一种夹具，尤其是一种三层硅片键合对准夹具，属于微纳米加工的技术领域。

背景技术：

在微纳米技术领域，经常要用到三层硅硅键合。目前三层硅硅键合工艺通常会将三层键合分二次进行，这样第二次键合前需要将衬底重新进行清洗，同时第二次键合的良率较低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种三层硅片键合对准夹具，其结构紧凑，能同时对三层硅片进行对准夹持，从而实现三层硅片的一次完成键合，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述三层硅片键合对准夹具，包括能对待键合硅片进行支撑配合的夹具体以及设置于所述夹具体上若干均匀分布的真空吸附孔，在夹具体上还设置硅片间隔固定机构以及硅片压紧夹爪机构，所述硅片间隔固定机构、硅片压紧夹爪机构在夹具体上均呈均匀分布，硅片间隔固定机构位于两相邻的硅片压紧夹爪机构之间，且硅片间隔固定机构、硅片压紧夹爪机构与夹具体上的真空吸附孔呈一一对应；

所述硅片间隔固定机构包括用于间隔中间硅片与底层硅片的第一垫片间隔压紧机构以及用于间隔顶层硅片与中间硅片的第二垫片间隔压紧机构，底层硅片通过真空吸附孔内的吸附力固定在夹具体上，中间硅片通过第一垫片间隔压紧机构间隔，且通过第二垫片间隔压紧机构将中间硅片压紧固定在底层硅片的上方；顶层硅片位于中间硅片上且由第二垫片间隔压紧机构支撑，利用硅片压紧夹爪机构能将顶层硅片压紧固定在中间硅片上方，以使得底层硅片、中间硅片以及顶层硅片所组成的三层待键合硅片能在夹具体上保持稳定。

所述第一垫片间隔压紧机构包括用于间隔底层硅片与中间硅片的第一垫片以及能驱动第一垫片运动的第一垫片推杆，第一垫片推杆在夹具体上能沿所述第一垫片推杆的长度方向滑动，第一垫片位于第一垫片推杆的头端，

还包括用于控制第一垫片在夹具体上位置状态的第一垫片推杆运动控制机构，通过第一垫片推杆运动控制机构能控制第一垫片位于底层硅片与中间硅片之间的位置状态。

所述第一垫片推杆运动控制机构包括与夹具体固定连接的第一垫片推杆挡块、能与所述第一垫片推杆适配连接的第一垫片推杆插销机构以及第一垫片推杆拉簧；在第一垫片推杆上设置第一垫片推杆插销导向孔，所述第一垫片推杆插销导向孔贯通第一垫片推杆且沿第一垫片推杆的长度方向分布；

第一垫片推杆插销机构包括能与第一垫片推杆插销导向孔适配的第一垫片推杆插销体、设置于所述夹具体内的第一定位球体以及设置于夹具体内并能与第一定位球体适配的第一球体弹簧；第一垫片推杆插销体的第一端从第一垫片推杆挡块穿出，第一垫片推杆插销体的第二端穿过第一垫片推杆插销导向孔后能邻近第一定位球体；

第一定位球体位于第一垫片推杆的下方，第一定位球体在第一球体弹簧作用下与第一垫片推杆接触时，通过第一定位球体能阻挡第一垫片推杆运动，通过第一垫片推杆插销体使得第一定位球体远离第一垫片推杆时，第一垫片推杆在第一垫片推杆拉簧作用下能带动第一垫片向靠近第一垫片推杆挡块的方向运动。

所述第二垫片间隔压紧机构包括用于间隔顶层硅片与中间硅片的第二垫片、能控制第二垫片向上翘起状态的垫片翘起控制机构以及与所述垫片翘起控制机构连接的第二垫片推杆，第二垫片推杆在夹具体上能沿所述第二垫片推杆的长度方向运动，第二垫片推杆在夹具体上运动时，能通过垫片翘起控制机构带动第二垫片运动；

还包括用于控制第二垫片推杆在夹具体上位置状态的第二垫片推杆运动控制机构，通过第二垫片推杆运动控制机构能控制第二垫片位于顶层硅片与中间硅片之间的位置状态。

所述第二垫片推杆运动控制机构包括与夹具体固定连接的第二垫片推杆挡块、能与所述第二垫片推杆适配连接的第二垫片推杆插销机构以及第二垫片推杆拉簧；在第二垫片推杆上设置第二垫片推杆插销导向孔，所述第二垫片推杆插销导向孔贯通第二垫片推杆且沿第二垫片推杆的长度方向分布；

第二垫片推杆插销机构包括能与第二垫片推杆插销导向孔适配的第二垫片推杆插销体、设置于所述夹具体内的第二定位球体以及设置于夹具体内并能与第二定位球体适配的第二球体弹簧；第二垫片推杆插销体的第一端从第二垫片推杆挡块穿出，第二垫片推杆插销体的第二端穿过第二垫片推杆插销导向孔后能邻近第二定位球体；

第二定位球体位于第二垫片推杆的下方，第二定位球体在第二球体弹簧作用下与第二垫片推杆接触时，通过第二定位球体能阻挡第二垫片推杆运动，通过第二垫片推杆插销体使得第二定位球体远离第二垫片推杆时，第二垫片推杆在第二垫片推杆拉簧作用下能带动第二垫片向靠近第二垫片推杆挡块的方向运动。

所述垫片翘起控制机构包括设置于第二垫片推杆头端内的弹片旋转固定块，所述弹片旋转固定块通过旋转固定块第一转轴与第二垫片推杆铰接，在旋转固定块第一转轴上还设置与第二垫片配合的扭簧，在弹片旋转固定块上设置旋转固定块第二转轴，在所述旋转固定块第二转轴上设置滚压把手，所述滚压把手位于第二垫片推杆的外侧；向下按压滚压把手时，通过弹片旋转固定块以及扭簧配合能使得第二垫片向上翘起。

在夹具体内设置第二垫片推杆下滑板体，在第二垫片推杆的下表面设置能与所述第二垫片推杆下滑板体适配的第二垫片推杆上滑板体，第二垫片推杆通过第二垫片推杆上滑板体与第二垫片推杆下滑板体配合能在夹具体上滑动。

所述硅片压紧夹爪机构包括能对顶层硅片进行压紧的硅片压爪以及用于控制硅片压爪对顶层硅片压紧状态的压爪状态控制机构；

所述压爪状态控制机构包括能在夹具体上滑动的夹爪拉块以及与所述夹爪拉块适配连接的夹爪拉块拉簧，硅片压爪通过压爪连接头与夹爪拉块连接，通过夹爪拉块拉簧与夹爪拉块配合能使得硅片压爪能对顶层硅片进行压紧；夹爪拉块在夹具体上向远离相应真空吸附孔的方向运动时，能使得硅片压爪向上翘起。

所述夹爪连接头通过拉块连接头转轴与夹爪拉块连接，硅片压爪通过压爪连接头转轴与夹爪连接头铰接，所述硅片压爪还通过定位块转轴与夹爪连接头下方的夹爪定位块铰接。

在夹具体内设置夹爪拉块下滑板体，在夹爪拉块的下表面设置能与所述夹爪拉块下滑板体适配的夹爪拉块上滑板体，夹爪拉块通过夹爪拉块上滑板体与夹爪拉块下滑板体配合能在夹具体上沿所述夹爪拉块的长度方向滑动。

本实用新型的优点：底层硅片通过真空吸附孔内的吸附力固定在夹具体上，中间硅片通过第一垫片间隔压紧机构间隔，且通过第二垫片间隔压紧机构将中间硅片压紧固定在底层硅片的上方；顶层硅片位于中间硅片上且由第二垫片间隔压紧机构支撑，利用硅片压紧夹爪机构能将顶层硅片压紧固定在中间硅片上方，以使得底层硅片、中间硅片以及顶层硅片所组成的三层待键合硅片能在夹具体上保持稳定；即能同时对三层硅片进行对准夹持，从而实现三层硅片的一次完成键合，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型第二垫片间隔压紧机构的立体图。

图3为本实用新型第二垫片间隔压紧机构的剖视图。

图4为本实用新型第二垫片处于翘起状态的示意图。

图5为本实用新型第二垫片推杆带动第二垫片向第二垫片推杆挡块运动后的示意图。

图6为本实用新型第一垫片间隔压紧机构的立体图。

图7为本实用新型第一垫片间隔压紧机构的剖视图。

图8为本实用新型第一垫片推杆带动第一垫片相第一垫片推杆挡块运动后的示意图。

图9为本实用新型硅片压紧夹爪机构的立体图。

图10为本实用新型硅片压紧夹爪机构的剖视图。

图11为本实用新型硅片压爪处于翘起状态的示意图。

附图标记说明书：1-夹具体、2-真空吸附孔、3-夹具体通孔、4-第一垫片间隔压紧机构、5-第二垫片间隔压紧机构、6-硅片压紧夹爪机构、7-第二垫片推杆插销体、8-第一挡块盖、9-第二垫片推杆、10-第二垫片推杆拉簧、11-滚压把手、12-弹片旋转固定块、13-第二垫片、14-扭簧、15-旋转固定块第一转轴、16-夹具体第一定位槽、17-第二垫片推杆挡块、18-第二垫片推杆插销体弹簧、19-第二定位球体、20-第二球体弹簧、21-第二球体弹簧安装槽、22-第二垫片推杆下滑板体、23-第二垫片推杆下滑板体固定螺丝、24-第二垫片推杆上滑板体、25-第二垫片推杆上滑板体固定螺丝、26-旋转固定块第二转轴、27-第二挡块盖、28-第一垫片推杆插销体、29-第一垫片推杆、30-第一垫片推杆挡块、31-第一垫片推杆挡块固定螺丝、32-第一垫片推杆拉簧、33-第一垫片推杆固定螺丝、34-第一垫片、35-第一垫片推杆插销体弹簧、36-第一定位球体、37-第一球体弹簧、38-第一垫片推杆下滑板体固定螺丝、39-第一垫片推杆下滑板体、40-第一垫片推杆上滑板体、41-第一垫片推杆上滑板体固定螺丝、42-夹爪拉块、43-夹爪定位块、44-定位块转轴、45-夹爪拉块拉簧第一固定螺丝、46-夹爪拉块拉簧、47-硅片压爪、48-压爪连接头转轴、49-夹爪连接头、50-拉块连接头转轴、51-夹爪拉块拉簧第二固定螺丝、52-夹爪拉块下滑板体固定螺丝、53-夹爪拉块下滑板体、54-夹爪拉块上滑板体、55-夹爪拉块上滑板体固定螺丝、56-第一垫片推杆插销导向孔以及57-第二垫片推杆插销导向孔。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示：为了能同时对三层硅片进行对准夹持，从而实现三层硅片的一次完成键合，本实用新型包括能对待键合硅片进行支撑配合的夹具体1以及设置于所述夹具体1上若干均匀分布的真空吸附孔2，在夹具体1上还设置硅片间隔固定机构以及硅片压紧夹爪机构6，所述硅片间隔固定机构、硅片压紧夹爪机构6在夹具体1上均呈均匀分布，硅片间隔固定机构位于两相邻的硅片压紧夹爪机构6之间，且硅片间隔固定机构、硅片压紧夹爪机构6与夹具体1上的真空吸附孔2呈一一对应；

所述硅片间隔固定机构包括用于间隔中间硅片与底层硅片的第一垫片间隔压紧机构4以及用于间隔顶层硅片与中间硅片的第二垫片间隔压紧机构5，底层硅片通过真空吸附孔2内的吸附力固定在夹具体1上，中间硅片通过第一垫片间隔压紧机构4间隔，且通过第二垫片间隔压紧机构5将中间硅片压紧固定在底层硅片的上方；顶层硅片位于中间硅片上且由第二垫片间隔压紧机构5支撑，利用硅片压紧夹爪机构6能将顶层硅片压紧固定在中间硅片上方，以使得底层硅片、中间硅片以及顶层硅片所组成的三层待键合硅片能在夹具体1上保持稳定。

具体地，夹具体1呈圆盘状，在夹具体1的中心区设置夹具体通孔3，所述夹具体通孔3贯通夹具体1，夹具体通孔3的内径小于硅片的外径，真空吸附孔2位于夹具体通孔3的外圈，通过真空吸附孔2内的负压能将底层硅片吸附在夹具体1上。硅片间隔固定机构在夹具体通孔3的外圈呈均匀分布，硅片压紧夹爪机构6在夹具体通孔3的外圈也呈均匀分布，且硅片间隔固定机构位于两相邻的硅片压紧夹爪机构6之间，硅片间隔固定机构、硅片压紧夹爪机构6与真空吸附孔2一一对应，即每个真空吸附孔2与一个硅片间隔固定机构或硅片压紧夹爪机构6对应。

本实用新型实施例中，夹具体1上放置的三层硅片具体为底层硅片、中间硅片以及顶层硅片，其中，底层硅片能直接置于夹具体1上，且底层硅片在真空吸附孔2内负压作用下能稳定地置于夹具体1上，中间硅片位于底层硅片正上方，顶层硅片位于中间硅片的正上方。为了能使得底层硅片、中间硅片以及顶层硅片间保持稳定，本实用新型实施例中，通过第一硅片间隔压紧机构4能对中间硅片与底层硅片间隔，且通过第二垫片间隔压紧机构5能对中间硅片压紧，保证中间硅片与底层硅片之间的相对位置不会发生偏移；顶层硅片通过第二垫片间隔压紧机构5能与中间硅片间隔，且通过硅片压紧夹爪机构6对顶层硅片6压紧，从而能使得底层硅片、中间硅片以及顶层硅片所组成的三层待键合硅片能在夹具体1上保持稳定，且所述的三层待键合硅片在跟随夹具体1转移过程总也不会移位，能确保后续送入键合机完成一次键合过程的稳定性与可靠性。

如图6、图7和图8所示，所述第一垫片间隔压紧机构4包括用于间隔底层硅片与中间硅片的第一垫片34以及能驱动第一垫片34运动的第一垫片推杆29，第一垫片推杆29在夹具体1上能沿所述第一垫片推杆29的长度方向滑动，第一垫片34位于第一垫片推杆29的头端，

还包括用于控制第一垫片34在夹具体1上位置状态的第一垫片推杆运动控制机构，通过第一垫片推杆运动控制机构能控制第一垫片34位于底层硅片与中间硅片之间的位置状态。

本实用新型实施例中，第一垫片34位于夹具体1上方，第一垫片34与夹具体1之间的距离一般大于底层硅片的厚度，从而当底层硅片置于夹具体1上时，第一垫片34能方便置于底层硅片上。具体实施时，第一垫片34位于第一垫片推杆29的头端，第一垫片推杆29在夹具体1上能沿第一垫片推杆29的长度方向运动，第一垫片34的端部指向所对应的真空吸附孔2，第一垫片推杆29在夹具体1上运动时，第一垫片34能跟随运动，而当第一垫片34远离真空吸附孔2时，则不会影响将底层硅片置于夹具体1上，底层硅片置于夹具体1上后，第一垫片34在第一垫片推杆29的作用下复位，复位后，第一垫片34能位于底层硅片上，实现底层硅片与中间硅片的间隔，且能对中间硅片实现支撑。

进一步地，所述第一垫片推杆运动控制机构包括与夹具体1固定连接的第一垫片推杆挡块30、能与所述第一垫片推杆29适配连接的第一垫片推杆插销机构以及第一垫片推杆拉簧32；在第一垫片推杆29上设置第一垫片推杆插销导向孔56，所述第一垫片推杆插销导向孔56贯通第一垫片推杆29且沿第一垫片推杆29的长度方向分布；

第一垫片推杆插销机构包括能与第一垫片推杆插销导向孔56适配的第一垫片推杆插销体28、设置于所述夹具体1内的第一定位球体36以及设置于夹具体1内并能与第一定位球体36适配的第一球体弹簧37；第一垫片推杆插销体28的第一端从第一垫片推杆挡块30穿出，第一垫片推杆插销体28的第二端穿过第一垫片推杆插销导向孔56后能邻近第一定位球体36；

第一定位球体36位于第一垫片推杆29的下方，第一定位球体36在第一球体弹簧37作用下与第一垫片推杆29接触时，通过第一定位球体36能阻挡第一垫片推杆29运动，通过第一垫片推杆插销体28使得第一定位球体36远离第一垫片推杆29时，第一垫片推杆29在第一垫片推杆拉簧32作用下能带动第一垫片34向靠近第一垫片推杆挡块30的方向运动。

本实用新型实施例中，第一垫片34与第一垫片推杆29呈同轴分布，第一垫片推杆挡块30通过第一垫片推杆挡块固定螺丝31与夹具体1固定，第一垫片推杆29贯穿第一垫片推杆挡块30，且第一垫片推杆29能相对第一垫片推杆挡块30运动，在第一垫片推杆29的头端还设置第一垫片推杆固定螺丝33，第一垫片推杆拉簧32的两端分别于第一垫片推杆挡块固定螺丝31以及第一垫片推杆固定螺丝33连接，通过第一垫片推杆拉簧32能拉动第一垫片推杆29的头端向靠近第一垫片推杆挡块30的方向运动。

第一垫片推杆插销导向孔56贯通第一垫片推杆29，且第一垫片推杆插销导向孔56长度方向与第一垫片推杆29的长度方向相一致。为了能与第一垫片推杆29配合，第一垫片推杆插销机构包括第一垫片推杆插销体28，第一垫片推杆插销体28的长度方向与第一垫片推杆29的长度方向垂直，第一垫片推杆插销体28设置于第一垫片推杆挡块30上，第一垫片推杆插销体28在第一垫片推杆挡块30上能沿所述第一垫片推杆插销体28的长度方向运动，在第一垫片推杆挡块30内设置第一垫片推杆插销体弹簧35，当按压第一垫片推杆插销体28向靠近第一定位球体36的方向运动时，通过第一垫片推杆插销体28能压缩第一垫片推杆插销体弹簧35，第一垫片推杆插销体28的第一端穿出第一垫片推杆挡块30外，从而能方便实现对第一垫片推杆插销体28的按压。

第一定位球体36位于夹具体1内，且第一定位球体36与第一垫片推杆插销体28的第二端正对应，在夹具体1内还设置第一球体弹簧37，一般情况下，第一定位球体36与第一球体弹簧37配合，第一定位球体36能凸出于夹具体1的表面，从而利用第一定位球体36与第一垫片推杆29配合，能阻挡第一垫片推杆29的运动，即在第一垫片推杆拉簧32的作用下，由于第一定位球体36的阻挡作用，第一垫片推杆29不会在夹具体1上运动。

第一垫片推杆插销导向孔56与第一垫片推杆插销体28的第二端适配，从而第一垫片推杆插销体28的第二端能穿过第一垫片推杆插销导向孔56后靠近第一定位球体36。在按压第一垫片推杆插销体28后，第一垫片推杆插销体28的第二端能与第一定位球体36接触并能将第一定位球体36推入夹具体1内，当第一定位球体36与第一垫片推杆29之间分离时，则第一垫片推杆29在第一垫片推杆拉簧32作用下能运动，即能使得第一垫片34能远离所对应的真空吸附孔2。当移除施加在第一垫片推杆插销体28的作用力时，在第一垫片推杆插销体弹簧35作用下能使得第一垫片推杆插销体28复位，在第一球体弹簧37的作用下能使得第一定位球体36复位，此时，第一垫片34在第一垫片推杆29作用下能向靠近所对应真空吸附孔2的方向运动。由上述说明可知，当第一垫片34向靠近第一垫片推杆挡块30的方向运动后，能不会影响底层硅片置于夹具体1上，而当第一垫片34向靠近所对应真空吸附孔2的方向运动时，则第一垫片34能置于底层硅片上。

在具体实施时，在第一垫片推杆挡块30上还设置第二挡块盖27。为了能实现第一垫片推杆29在夹具体1上平稳移动，在夹具体1内设置第一垫片推杆下滑板体39，第一垫片推杆下滑板体39通过第一垫片推杆下滑板体固定螺丝38与夹具体1固定，在第一垫片推杆29的下表面设置第一垫片推杆上滑板体40，第一垫片推杆上滑板体40通过第一垫片推杆上滑板体固定螺丝41与第一垫片推杆29固定，第一垫片推杆上滑板体40、第一垫片推杆下滑板体39的表面均较为光滑，通过第一垫片推杆下滑板体39与第一垫片推杆上滑板体40配合能确保第一垫片推杆29在夹具体1上滑动的稳定性与可靠性。

如图2、图3、图4和图5所示，所述第二垫片间隔压紧机构5包括用于间隔顶层硅片与中间硅片的第二垫片13、能控制第二垫片13向上翘起状态的垫片翘起控制机构以及与所述垫片翘起控制机构连接的第二垫片推杆9，第二垫片推杆9在夹具体1上能沿所述第二垫片推杆9的长度方向运动，第二垫片推杆9在夹具体1上运动时，能通过垫片翘起控制机构带动第二垫片13运动；

还包括用于控制第二垫片推杆9在夹具体1上位置状态的第二垫片推杆运动控制机构，通过第二垫片推杆运动控制机构能控制第二垫片13位于顶层硅片与中间硅片之间的位置状态。

本实用新型实施例中，第二垫片推杆9与第一垫片推杆29之间具有夹角，第二垫片13、第一垫片34的轴线均能通过所对应的真空吸附孔2。通过第二垫片13能间隔中间硅片与顶层硅片，且能将中间硅片向底层硅片压紧。为了能实现上述目的，在具体使用时，需要使得第二垫片13除了能跟随第二垫片推杆9沿第二垫片推杆9的长度方向运动外，还需要第二垫片13能翘起，以实现将第二垫片13置于中间硅片上并实现对中间硅片的压紧。为了不影响中间硅片置于底层硅片上方，需要通过第二垫片推杆运动控制机构控制第二垫片推杆9在夹具体1上的位置状态，即能控制第二垫片13的位置状态。通过垫片翘起控制机构能控制第二垫片13的翘起状态，以实现与中间硅片间的配合。

进一步地，所述第二垫片推杆运动控制机构包括与夹具体1固定连接的第二垫片推杆挡块17、能与所述第二垫片推杆9适配连接的第二垫片推杆插销机构以及第二垫片推杆拉簧10；在第二垫片推杆9上设置第二垫片推杆插销导向孔57，所述第二垫片推杆插销导向孔57贯通第二垫片推杆9且沿第二垫片推杆9的长度方向分布；

第二垫片推杆插销机构包括能与第二垫片推杆插销导向孔57适配的第二垫片推杆插销体7、设置于所述夹具体1内的第二定位球体19以及设置于夹具体1内并能与第二定位球体19适配的第二球体弹簧20；第二垫片推杆插销体7的第一端从第二垫片推杆挡块17穿出，第二垫片推杆插销体7的第二端穿过第二垫片推杆插销导向孔57后能邻近第二定位球体19；

第二定位球体19位于第二垫片推杆9的下方，第二定位球体19在第二球体弹簧20作用下与第二垫片推杆9接触时，通过第二定位球体19能阻挡第二垫片推杆9运动，通过第二垫片推杆插销体7使得第二定位球体19远离第二垫片推杆9时，第二垫片推杆9在第二垫片推杆拉簧10作用下能带动第二垫片13向靠近第二垫片推杆挡块17的方向运动。

本实用新型实施例中，在夹具体1内设置第二球体弹簧安装槽21，第二球体弹簧20置于第二球体弹簧安装槽21内，且第二定位球体19也能进入第二球体弹簧安装槽21内。在第二垫片推杆挡块17上设置第一挡块盖8，在第二垫片推杆挡块17内设置第二垫片推杆插销体弹簧18。第二垫片推杆运动控制机构与上述第一垫片推杆运动控制机构的工作原理以及与夹具体1之间的配合相一致，具体可以参考上述的说明，此处不再赘述。

进一步地，所述垫片翘起控制机构包括设置于第二垫片推杆9头端内的弹片旋转固定块12，所述弹片旋转固定块12通过旋转固定块第一转轴15与第二垫片推杆9铰接，在旋转固定块第一转轴15上还设置与第二垫片13配合的扭簧14，在弹片旋转固定块12上设置旋转固定块第二转轴26，在所述旋转固定块第二转轴26上设置滚压把手11，所述滚压把手11位于第二垫片推杆9的外侧；向下按压滚压把手11时，通过弹片旋转固定块12以及扭簧14配合能使得第二垫片13向上翘起。

本实用新型实施例中，弹片旋转固定块12在第二垫片推杆9内呈悬空状态，弹片旋转固定块12通过旋转固定孔第一转轴15与第二垫片推杆9铰接，当第二垫片推杆9在夹具体1上运动时，弹片旋转固定块12能跟随第二垫片推杆9同步运动，第二垫片13固定在弹片旋转固定块12上，即第二垫片推杆9运动后，能实现第二垫片13位置的调整。当在滚压把手11上施加作用下时，通过滚压把手11带动弹片旋转固定块12向下运动，弹片旋转固定块12通过与扭簧14配合能使得第二垫片13翘起。当移除施加在滚压把手11上的作用力时，弹片旋转固定块12复位，在扭簧14作用下能使得翘起的第二垫片13复位，从而能实现第二垫片13对中间硅片的押金。

进一步地，在夹具体1内设置第二垫片推杆下滑板体22，在第二垫片推杆9的下表面设置能与所述第二垫片推杆下滑板体22适配的第二垫片推杆上滑板体24，第二垫片推杆9通过第二垫片推杆上滑板体24与第二垫片推杆下滑板体22配合能在夹具体1上滑动。

本实用新型实施例中，第二垫片推杆下滑板体22通过第二垫片推杆下滑板体固定螺丝23能与夹具体1固定，第二垫片推杆上滑板体24通过第二垫片推杆上滑板体固定螺丝25与第二垫片推杆9固定，第二垫片推杆上滑板体24、第二垫片推杆下滑板体22之间的具体配合过程与上述第一垫片推杆上滑板体40、第一垫片推杆下滑板体39间的配合过程相一致，具体可以参考上述说明，此处不再赘述。

如图9、图10和图11所示，所述硅片压紧夹爪机构6包括能对顶层硅片进行压紧的硅片压爪47以及用于控制硅片压爪47对顶层硅片压紧状态的压爪状态控制机构；

所述压爪状态控制机构包括能在夹具体1上滑动的夹爪拉块42以及与所述夹爪拉块42适配连接的夹爪拉块拉簧46，硅片压爪47通过压爪连接头49与夹爪拉块42连接，通过夹爪拉块拉簧46与夹爪拉块42配合能使得硅片压爪47能对顶层硅片进行压紧；夹爪拉块42在夹具体1上向远离相应真空吸附孔2的方向运动时，能使得硅片压爪47向上翘起。

本实用新型实施例中，第一垫片34以及第二垫片13的主体均呈平板状，硅片压爪47呈块状。由上述说明可知，为了能通过硅片压爪47对顶层硅片的压紧，需要使得硅片压爪47能跟随夹爪拉块42在夹具体1上运动，且需要使得硅片压爪47能翘起。

在压爪拉块42上设置夹爪拉块拉簧第二固定螺丝51，在夹具体1上设置夹爪拉块拉簧第一固定螺丝45，夹爪拉块拉簧46的两端分别与夹爪拉块拉簧第一固定螺丝45以及夹爪拉块拉簧第二固定螺丝51，在夹爪拉块拉簧46的作用下能使得硅片压爪47能保持压紧在顶层硅片上。

进一步地，所述夹爪连接头49通过拉块连接头转轴50与夹爪拉块42连接，硅片压爪47通过压爪连接头转轴48与夹爪连接头49铰接，所述硅片压爪47还通过定位块转轴44与夹爪连接头49下方的夹爪定位块43铰接。

本实用新型实施例中，夹爪定位块43位于夹具体1内。自然状态下，硅片压爪47在夹爪拉块拉簧46的作用下，对顶层硅片施加夹紧力，保证三层硅片结构在夹具转移过程中不会发生位移。

当有外力拉夹爪拉块42在夹具体1上移动时，硅片压爪47以定位块转轴44为支点轴心向上打开；当拉夹爪拉块42失去外力时，硅片压爪47以转定位块转轴44为支点轴心在夹爪拉块拉簧46的作用下向下对顶层硅片施加夹紧力。

在夹具体1内设置夹爪拉块下滑板体53，在夹爪拉块42的下表面设置能与所述夹爪拉块下滑板体53适配的夹爪拉块上滑板体54，夹爪拉块42通过夹爪拉块上滑板体54与夹爪拉块下滑板体53配合能在夹具体1上沿所述夹爪拉块42的长度方向滑动。

本实用新型实施例中，夹爪拉块下滑板体53通过夹爪拉块下滑板体固定螺丝52与夹具体1固定，夹爪拉块上滑板体54通过夹爪拉块上滑板体固定螺丝55与夹爪拉块42固定。夹爪拉块上滑板体54、夹爪拉块下滑板体53间的配合与上述第一垫片推杆上滑板体40、第一垫片推杆下滑板体39间的配合过程相一致，具体可以参考上述说明，此处不再赘述。