一种晶圆检测用除尘装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆检测装置，特别涉及一种晶圆检测用除尘装置。

背景技术：

半导体集成电路制造过程中，晶圆是最常用的半导体材料，晶圆经过特定工艺生产出来后，需要对晶圆进行检测以确定该产品是否合格。晶圆探针台主体是一种对成型后的晶圆进行检测，并判定晶圆是否合格的一种工业设备，其广泛应用于半导体行业、集成电路以及封装测试行业。

目前，公告号为cn208239572u的中国专利公开了一种带有同轴光源的探针台，包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽和设置在放置槽槽口处的探针卡放置台，探针卡放置台上设有探针卡放置口，探针卡放置口处设有用于对探针卡进行限位的限位板，还包括光载板和带有照明灯的灯具，光载板可拆卸的连接于探针卡放置台，光载板上设有通光孔，灯具设置在光载板上，灯具的一端穿过通光孔，灯具的光源穿过探针板上的孔照射进放置槽内。

这种带有同轴光源的探针台主体在实际使用过程中，工作人员需要将待检测的晶圆运输至探针台主体内，现有技术中，晶圆的运输方式通常是工作人员利用晶圆盒装载晶圆进行运输，而在运输过程中，晶圆处于裸露的状态，因此晶圆会与周围的空气接触，沾染空气中的污染物。由于晶圆的精度较高，若不及时处理其表面的污染物，会影响晶圆最终的检测数据精度。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种晶圆检测用除尘装置，具有能够对晶圆表面粘附的异物进行清理的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆检测用除尘装置，包括若干吹尘枪,探针台主体上表面连接有若干呈竖向设置的支撑杆，若干支撑杆围绕放置槽设置，若干支撑杆的顶端连接有同一个承托圆环，吹尘枪连接在承托圆环上，吹尘枪的喷嘴朝向放置槽内，吹尘枪的进气端套设有进气软管，进气软管远离吹尘枪的一端连通有高压存气罐，进气软管的管身上连接有第一通气阀。

通过采用上述技术方案，对晶圆检测前，需要通过吹尘枪将晶圆表面粘附的异物进行清理。工作人员旋开第一通气阀，高压存气罐内的高压气体通过进气软管进入到吹尘枪内，并从吹尘枪的枪嘴喷出，实现对晶圆表面的异物进行清理的效果。

进一步的，吹尘枪转动连接在承托圆环上，探针台主体的上表面设有驱动马达，驱动马达的输出轴固定套设有转动圆盘，转动圆盘背离驱动马达的一侧连接有转动销，转动销位于转动圆盘的边沿处，转动销上转动连接有转动杆，转动杆远离转动销的一端转动连接于吹尘枪。

通过采用上述技术方案，驱动马达驱动转动圆盘转动，转动销随着转动圆盘做圆周运动。当转动销位于顶端时，转动杆位于最顶端，吹尘枪与转动杆相连接的一端也位于最顶端，根据杠杆原理，吹尘枪远离转动杆的一端向下转动；相反，当转动销位于底端时，吹尘枪远离转动杆的一端向上转动。吹尘枪的喷嘴作上、下转动，使得吹尘枪能够对晶圆表面的不同位置的异物进行均匀清理。

进一步的，吹尘枪的枪嘴螺纹连接有密封套筒。

通过采用上述技术方案，当完成对晶圆表面异物的清洁后，将密封套筒旋拧在吹尘枪上，密封套筒能够阻碍空气中的异物进入到喷嘴内，从而提高吹尘枪下次喷出高压气体的清洁度，降低灰尘对晶圆表面造成的影响。

进一步的，进气软管上连接有过滤箱，过滤箱内设有空气过滤棉。

通过采用上述技术方案，当高压存气罐内的高压气体经过过滤箱时，空气过滤棉能够对高压气体中掺杂的异物进行过滤，从而进一步提高了气体的清洁程度。

进一步的，过滤箱内设置有过滤框,过滤框内设有干燥剂。

通过采用上述技术方案，当高压存气罐内的高压气体经过过滤箱时，空气过滤棉能够对高压气体中水气进行吸收，降低水分随着高速气流喷向晶圆时，对晶圆造成的影响。

进一步的，过滤箱的侧壁开有更换口，过滤框滑移在过滤箱内，空气过滤棉和干燥剂位于过滤框内，更换口上铰接有密封门板，密封门板和过滤箱的侧壁螺栓连接有同一个搭扣。

通过采用上述技术方案，当过滤箱内积累很多异物时，对空气的过滤效果便会降低。此时，打开密封门板，工作人员通过取出过滤框，实现对过滤框中的空气过滤棉和干燥剂进行清理或更换的效果。

进一步的，更换口的四周粘贴有密封橡胶垫。

通过采用上述技术方案，当密封门板锁紧在更换口上时，密封橡胶垫提高了密封门板与更换口之间的密封性能，降低了工作过程中气体的泄漏量。

进一步的，吹尘枪上连接有第二通气阀。

通过采用上述技术方案，旋紧和旋松第二通气阀能够控制单位时间内吹尘枪喷出高速气体的量，实现对高速气体的风速和强度的调整，进而实现对不同强度的晶圆进行除尘的目的。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1、高压存气罐内的高压气体通过进气软管进入吹尘枪中，气流经过吹尘枪的枪嘴喷射在晶圆表面，从而实现对晶圆表面的异物进行清理的目的。

2、驱动马达、转动圆盘、转动销、转动杆和吹尘枪之间相互配合，能够使吹尘枪呈摆动的形式吹拂晶圆表面，以此实现了对晶圆表面不同位置的异物进行清理的目的；

3、过滤箱内设置的空气过滤棉和干燥剂，能够对喷向晶圆的空气进行过滤，以此提高了气体的清洁程度，同时减少了气体中的水分含有量，降低了气体中的异物对晶圆造成的影响。

附图说明

图1是用于体现本实用新型的结构示意图；

图2是用于体现过滤箱内部结构的剖视图；

图3是用于体现图1中a部的放大图；

图4是用于体现图1中b部的放大图；

图5是用于体现图1中c部的放大图。

图中，1、探针台主体；2、放置槽；3、晶圆；4、支撑杆；5、承托圆环；6、吹尘枪；7、进气软管；8、高压存气罐；9、驱动马达；10、转动圆盘；11、转动销；12、转动杆；13、第二通气阀；14、密封套筒；15、过滤箱；16、空气过滤棉；17、过滤框；18、干燥剂；19、更换口；20、密封门板；21、搭扣；211、u形卡钩；212、固定板；213、拉紧框；22、密封橡胶垫；23、第一通气阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：一种晶圆检测用除尘装置，参照图1和图4，探针台包括探针台主体1，探针台主体1上开有用于放置晶圆3的放置槽2。

参照图1和图4，本实用新型包括两个吹尘枪6，探针台主体1的上表面固定连接有四根呈竖向设置的且高度相同的支撑杆4，支撑杆4围绕放置槽2的四周设置。四根支撑杆4的顶端固定连接有同一个承托圆环5，两个吹尘枪6连接在承托圆环5上。吹尘枪6的枪嘴朝向放置槽2内。

参照图1和图4，吹尘枪6的进气端套设有进气软管7，进气软管7远离吹尘枪6的一端连接有高压存气罐8。进气软管7靠近高压存气罐8的一端通过法兰盘连接有第一通气阀23。

参照图1和图4，当需要对晶圆3表面的异物进行清理时，工作人员拧开第一通气阀23，高压存气罐8内的高压气体通过进气软管7进入到吹尘枪6内，并从吹尘枪6的枪嘴喷向晶圆3，从而完成对晶圆的清理。

参照图1和图4，两个吹尘枪6分别转动连接于承托圆环5上，探针台主体1的上表面通过螺栓连接有驱动马达9。驱动马达9的输出轴上固定套设有转动圆盘10，转动圆盘10背离驱动马达9的一侧固定连接有转动销11，转动销11位于转动圆盘10的边沿处。转动销11上转动连接有转动杆12，转动杆12远离转动销11的一端转动连接于吹尘枪6。

参照图1和图4，驱动马达9驱动转动圆盘10做转动，转动销11随着转动圆盘10做圆周运动，转动杆12在转动销11的带动下进行运动。根据杠杆原理，当转动杆12带动着吹尘枪6的一端向上运动时，吹尘枪6的枪嘴向下转动；同理，当转动销11运动到最下方时，吹尘枪6的枪嘴向上转动。吹尘枪6的枪嘴朝向晶圆3进行上、下摆动，从而实现吹尘枪6能够对晶圆3表面的不同位置的异物进行均匀清理的效果。

参照图1和图4，吹尘枪6的进气端通过螺栓连接有第二通气阀13，工作人员通过调节第二通气阀13的松紧程度，能够控制在单位时间内，从吹尘枪6的枪嘴喷出的高速气流的空气量，达到了调整高速气流强度的效果，进而实现了对不同强度的晶圆3进行除尘的目的。

参照图1和图4，吹尘枪6的枪嘴上螺纹连接有密封套筒14，当停止对晶圆3表面的异物进行清理时，分别拧紧第一通气阀23和第二通气阀13，吹尘枪6的枪嘴停止喷出高速气流，然后拧紧密封套筒14。密封套筒14能够阻隔空气中的异物进入到喷嘴内，从而提高了吹尘枪6内的清洁度，进而在下次对晶圆表面进行除尘时，降低高速气流中的异物含有量。

参照图2，进气软管7的管身上固定连接有过滤箱15，过滤箱15内设置有空气过滤棉16。当高压存气罐8(参照图1)内的高压气流通过过滤箱15时，空气过滤棉16能够对高压气流中的异物进行过滤，从而提高了高速气流的清洁度。

参照图2，过滤箱15内放置有过滤框17，过滤框17滑移连接在过滤箱15内，过滤框17的侧壁开有若干过滤孔。在过滤框17内填充有呈颗粒状的干燥剂18，干燥剂18能够对高压气流中混杂的水气进行过滤，从而提高高速气流的干燥程度，避免高速气流中的水气对晶圆3(参照图4)产生影响。同时，空气过滤棉16也填充在过滤框17内。过滤框17能够对空气过滤棉16起到紧固的效果。

参照图1和图3，过滤箱15的侧壁开有更换口19，更换口19上铰接有密封门板20，密封门板20和过滤箱15的侧壁之间连接有搭扣21(参照图5)。搭扣21包括u形卡钩211(参照图5)、固定板212(参照图5)和转动连接于固定板上的拉紧框213(参照图5)。u形卡钩211通过螺栓连接于密封门板20的侧壁，固定板212通过螺栓连接于过滤箱15的侧壁。在工作过程中，工作人员能够通过转动拉紧框213实现对u形卡钩211的锁紧或打开。

参照图1和图5，当过滤箱15内积累的异物过多时，打开密封门板20，工作人员能够通过从过滤箱15内取出过滤框17(参照图2)实现对干燥剂18(参照图2)和空气过滤棉16(参照图2)的清理或更换。

参照图1和图3，更换口19的四周粘贴有密封橡胶垫22，当密封门板20锁紧在更换口19上时，密封橡胶垫22提高了密封门板20与更换口19之间的密封性能，降低了工作过程中气体的泄漏量。

具体实施过程：

当对晶圆3进行检测前，旋开密封套筒14，分别拧开第一通气阀23和第二通气阀13，高压存气罐8内的气流被过滤箱15过滤后从吹尘枪6的枪嘴中喷出，喷出的高速气流完成对晶圆3表面的异物的清理。

清理过程中，驱动马达9驱动转动圆盘10转动，转动销11带动转动杆12运动，吹尘枪6与转动杆12相连接的一端随着转动杆12摆动，转动杆12带动吹尘枪6的枪嘴对着晶圆做摆动运动，进而实现对晶圆3表面不同位置的异物进行清理的效果。

当对晶圆3表面的异物清理后，分别拧紧第一通气阀23和第二通气阀13，并旋紧密封套筒14，最后停止驱动马达9，清理过程结束。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。