一种透射电子显微镜使用的套装光栏的制作方法

本实用新型涉及电子显微镜配件领域，尤其涉及一种透射电子显微镜使用的套装光栏。

背景技术：

当透射电子显微镜(tem)应用到生命科学或者一些超薄材料科学上时，这些材料制成的样品与tem电子束的作用较弱。因此成像时需要较多的电子束剂量。然而这些样品对tem电子束非常敏感，易受到电子束造成的损伤。为此，需要使用尽量少的电子束剂量来获取图像。当电子束的剂量降低时，获得的tem图像不仅明暗度低而且对比度也低。要在较小电子束剂量时要得到较好的图像，需要提高对比度；目前为止，主要使用相位盘技术来提高图像的对比度。但相位盘存在可靠性差、厚度均匀性难以控制、使用时间较短等问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决现有透射电子显微镜存在的成像质量低、对比度差的问题，提供一种可以提高暗场像成像质量和成像对比度的透射电子显微镜使用的套装光栏。

本实用新型提供的技术方案是：一种透射电子显微镜使用的套装光栏，包括圆盘光栏、光栏板、螺纹杆和手柄，所述的圆盘光栏有多个，设置在光栏板的中心线上，光栏板与螺纹杆相连，所述的螺纹杆上还设有与光栏板配合的手柄。

进一步，所述圆盘光栏材质为金属铂、金属钼或其他合金，圆盘光栏位于光栏板上，圆盘光栏的数目3～10个，圆盘光栏直径在50～200μm。

进一步，所述圆盘光栏中间有三条支撑腿，三条支撑腿交叉处构成中心阻挡。

进一步，所述光栏厚度是4～6μm，三条支撑腿的宽度为1～2μm，三条支撑腿之间角度为120°。

本实用新型的有益效果是：光栏板上的圆盘光栏中心的挡板可以阻挡透射电子束参与透射电镜高分辨成像，提高成像质量；光栏板上设置了一系列不同尺寸规格的圆盘光栏，通过选择规格合适的圆盘光栏，可对参与高分辨成像的散射电子束信号进行筛选，提高成像质量和对比度。

附图说明

图1为本使用新型结构示意图；

图中：11-圆盘光栏、12-圆盘光栏、13-圆盘光栏、2-光栏板、3-螺纹杆、4-手柄。

具体实施方式

下面结合附图与具体实例对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

一种透射电子显微镜使用的套装光栏，包括圆盘光栏1、光栏板2、螺纹杆3和手柄4，所述圆盘光栏1包括圆盘光栏11、圆盘光栏12、圆盘光栏13，三个圆盘光栏依次排列在光栏板2的中心线上，所述的光栏板2与螺纹杆3相连，所述的螺纹杆3上还设有与光栏板2配合的手柄4，通过转动手柄4，可以移动光栏板2上的圆盘光栏1。

进一步，所述圆盘光栏材质为金属铂、金属钼或其他合金，圆盘光栏位于光栏板上，圆盘光栏的数目3～10个，圆盘光栏直径在50～200μm。

进一步，所述圆盘光栏中间有三条支撑腿，三条支撑腿交叉处构成中心阻挡。

进一步，所述光栏厚度是4～6μm，三条支撑腿的宽度为1～2μm，三条支撑腿之间角度为120°。

本实用新型的使用方法：按透射电镜操作说明进行高分辨成像时，通过转动手柄4，使螺纹杆3旋转前进或者后退，将光栏板2上的圆盘光栏11、12和13中的任意一个推至散射谱上。此时，只有位于圆盘光栏1部分的电子散射信号可以通过，而透射电子束及其附近的部分散射束将被圆盘光栏1中心挡板阻挡，不参与成像；如需进一步提升成像质量和图像分辨率，可选择直径更大的圆盘光栏1，尽量利用远离透射斑的弱散射束信号进行成像。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。

技术特征：

1.一种透射电子显微镜使用的套装光栏，其特征在于，包括圆盘光栏、光栏板、螺纹杆和手柄，其特征是，所述的圆盘光栏有多个，设置在光栏板的中心线上，光栏板与螺纹杆相连，所述的螺纹杆上还设有与光栏板配合的手柄。

2.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜使用的套装光栏，其特征在于，所述圆盘光栏材质为金属铂、金属钼或其他合金，圆盘光栏位于光栏板上，圆盘光栏的数目3～10个，圆盘光栏直径在50～200μm。

3.根据权利要求1或2所述的一种透射电子显微镜使用的套装光栏，其特征在于，所述圆盘光栏中间有三条支撑腿，三条支撑腿交叉处构成中心阻挡。

4.根据权利要求1所述的一种透射电子显微镜使用的套装光栏，其特征在于，所述光栏厚度是4～6μm，三条支撑腿的宽度为1～2μm，三条支撑腿之间角度为120°。

技术总结
本实用新型提供了一种透射电子显微镜使用的套装光栏，包括圆盘光栏、光栏板、螺纹杆和手柄，所述的圆盘光栏有多个，设置在光栏板的中心线上，光栏板与螺纹杆相连，所述的螺纹杆上还设有与光栏板配合的手柄。本实用新型的有益效果是：光栏板上的圆盘光栏中心的挡板可以阻挡透射电子束参与透射电镜高分辨成像，提高成像质量；光栏板上设置了一系列不同尺寸规格的圆盘光栏，通过选择规格合适的圆盘光栏，可对参与高分辨成像的散射电子束信号进行筛选，提高成像质量和对比度。

技术研发人员：王义林;秦姗
受保护的技术使用者：镇江乐华电子科技有限公司
技术研发日：2019.08.26
技术公布日：2020.05.05