一种利用纵向三极管触发表面可控硅结构的TVS器件的制作方法

文档序号:21636988发布日期:2020-07-29 02:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,包括一半导体主体,所述半导体主体包括表面结可控硅结构和纵向npn结构,其特征在于,所述可控硅结构的阳极与半导体主体的对通隔离通过金属连接,当所述纵向npn结构击穿时,所述表面结可控硅结构触发。

2.根据权利要求1所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述半导体主体还包括横向npn结构,所述可控硅结构的阴极与对通隔离通过金属连接,用于单独或与纵向npn结构共同触发所述表面结可控硅结构。

3.根据权利要求1或2所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述半导体主体包括依次设置的衬底、外延层;以及与外延层并排设置于n型埋层一侧的n型对通隔离;以及设置于外延层一侧且位于n型对通隔离中间的n型阱和p型阱;以及设置于n型阱的n型重掺杂和b型重掺杂,设置于p型阱的n型重掺杂和p型重掺杂。

4.根据权利要求1所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述表面结可控硅结构包括p型阱、n型阱、p型重掺杂和n型重掺杂。

5.根据权利要求1所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述纵向npn结构包括n型埋层、外延层以及p型阱。

6.根据权利要求1所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述纵向npn结构的击穿机制包括雪崩击穿和齐纳击穿。

7.根据权利要求1所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述纵向npn结构的击穿电压小于等于10v。

8.根据权利要求3所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述衬底为n型衬底,所述外延层为n型外延层。

9.根据权利要求3所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述衬底为n型衬底,所述外延层为p型外延层。

10.根据权利要求3所述的利用纵向三极管触发表面可控硅结构的tvs器件,其特征在于,所述衬底为n型衬底,所述外延层为p型外延层,所述n型衬底与p型外延层之间设置有n型埋层。


技术总结
本实用新型提出了一种利用纵向三极管触发表面可控硅结构的TVS器件,包括一半导体主体,所述半导体主体包括表面结可控硅结构和纵向NPN结构,所述可控硅结构的阳极与半导体主体的对通隔离通过金属连接,当所述纵向NPN结构击穿时,所述表面结可控硅结构触发,本实用新型通过增加了触发结构来提供电压或者电流,以降低触发电压同时增大维持电压,使可控硅结构的TVS性能趋于理想。

技术研发人员:赵德益;苏海伟;吕海凤;蒋骞苑;张啸;王允;赵志方
受保护的技术使用者:上海长园维安微电子有限公司
技术研发日:2019.10.12
技术公布日:2020.07.28
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