一种晶圆切片蚀刻设备的制作方法

本发明涉及用于芯片的晶圆切片机领域，具体是一种晶圆切片蚀刻设备。

背景技术：

晶圆是制造半导体器件的基础性原材料，则晶圆切片蚀刻设备，则是对晶圆表面通过湿法或者干法进行蚀刻，湿法则由液体化学剂将晶圆表面多余的材料去除，干法通过将衬底暴露在气态的等离子体中进行蚀刻；

但是现有技术中存在以下不足：当前一种晶圆切片蚀刻设备，采用湿法液体化学试剂对晶圆进行蚀刻，蚀刻的过程中会产生化学反应物，反应物会伴随着蚀刻液体通过排液凹槽向管道内排出，由于反应物内会伴随着部分蚀刻残留金属物，导致金属物在凹槽内部进行沉淀，使得凹槽被金属物填满，蚀刻液体排放速度减缓，增加了残留金属物积累堆高，造成晶圆表面被其金属刮伤，合格产量率低下。

技术实现要素：

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种晶圆切片蚀刻设备，以解决现有技术当前一种晶圆切片蚀刻设备，采用湿法液体化学试剂对晶圆进行蚀刻，蚀刻的过程中会产生化学反应物，反应物会伴随着蚀刻液体通过排液凹槽向管道内排出，由于反应物内会伴随着部分蚀刻残留金属物，导致金属物在凹槽内部进行沉淀，使得凹槽被金属物填满，蚀刻液体排放速度减缓，增加了残留金属物积累堆高，造成晶圆表面被其金属刮伤，合格产量率低下的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆切片蚀刻设备，其结构包括加工座、喷液头、排气管、增压泵、控制器、储液箱、设备箱，所述加工座表面与喷液头下端间隙配合，所述喷液头与增压泵内部活动配合，所述增压泵下端与储液箱内部嵌套连接，所述控制器与设备箱上端螺栓固定，所述排气管与设备箱右侧嵌套配合，所述排气管与加工座内部活动配合，所述增压泵与控制器内部间隙配合，所述加工座包括蚀刻座、辅助转环、转动机、导流管道、出水接头，所述蚀刻座下端与转动机顶端螺旋连接，所述转动机两侧与导流管道间隙配合，所述导流管道底部与出水接头法兰连接，所述蚀刻座底部与辅助转环表面间隙配合，所述辅助转环固定在转动机上端与其间隙配合。

对本发明进一步地改进，所述蚀刻座包括载盘、夹块、引流槽、蚀刻盘体，所述载盘与蚀刻盘体中心嵌套连接，所述蚀刻盘体表面与引流槽嵌固连接，所述引流槽与夹块两侧间隙配合，所述夹块与载盘外端间隙配合，所述夹块与蚀刻盘体嵌固连接，所述夹块设有四块，分布在蚀刻盘体表面上端嵌固连接，与其载盘间隙配合。

对本发明进一步地改进，所述载盘包括推动块、限位环体、弹力绳、卡块、活动腔，所述推动块与活动腔内部活动配合，所述活动腔末端与卡块卡合连接，所述卡块表面与弹力绳嵌套连接，所述弹力绳顶端与推动块嵌固连接，所述推动块与限位环体侧壁间隙配合，所述推动块设有十二块，通过后端与弹力绳嵌固连接，进行来回伸缩配合。

对本发明进一步地改进，所述推动块包括阻挡块、流通腔、收集条、摆动架、活动栓，所述阻挡块与流通腔两侧间隙配合，所述流通腔内部与摆动架活动配合，所述摆动架末端与活动栓铰接连接，所述收集条与摆动架下端铰接连接，所述收集条设有四条，通过摆动架进行带动前后移动，与其摆动架底端铰接连接。

对本发明进一步地改进，所述收集条包括收纳仓、连接弹板、纳入槽、弹簧、摇摆刷，所述收纳仓与纳入槽内壁间隙配合，所述连接弹板外壁与弹簧间隙配合，所述弹簧与收纳仓外壁嵌套连接，所述摇摆刷与收纳仓顶端铰接连接，所述纳入槽与外侧摇摆刷间隙配合，所述摇摆刷设有连个，整体呈倒三角形状，刷头采用硬质毛刷，通过末端在收纳仓内部带动摇摆。

对本发明进一步地改进，所述纳入槽包括进入腔、限制块、摆杆、开合栓，所述进入腔与限制块两壁间隙配合，所述限制块底端与开合栓焊接连接，所述开合栓底部与摆杆嵌固连接，所述摆杆与进入腔末端活动配合，所述限制块呈梯形状，两侧与进入腔活动配合，通过对液体进行阻隔增大液体推力将其摆杆推动。

有益效果

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果；

1.本发明通过旋转的蚀刻盘体与载盘，在旋转的同时通过离心力的带动将其推动块甩出对蚀刻液与晶圆反应出来金属残留物在引流槽上进行来回推动，以至将其金属残留物被推下引流槽内部，有效避免了金属残留物堆晶圆盘体表面带来的刮伤问题。

2.本发明通过来回伸缩的阻挡块贴着引流槽底部进行来回滑动，以至使收集条在摆动架的带动下摆动，使得蚀刻液冲击纳入槽的进入腔导致还和栓将其摆杆向内展开后由收纳仓中进行收集，有效将引导槽底部的金属残留沉淀物得到收集，避免底部沉淀物堆积，导致槽孔堵塞排液缓慢的问题出现。

附图说明

图1为本发明一种晶圆切片蚀刻设备的结构示意图。

图2为本发明加工座的内部结构示意图。

图3为本发明蚀刻座的俯视结构示意图。

图4为本发明载盘的内部结构示意图。

图5为本发明推动块的内部结构示意图。

图6为本发明收集条的内部结构示意图。

图7为本发明纳入槽的内部结构示意图。

图中：加工座-1、喷液头-2、排气管-3、增压泵-4、控制器-5、储液箱-6、设备箱-7、蚀刻座-11、辅助转环-12、转动机-13、导流管道-14、出水接头-15、载盘-111、夹块-112、引流槽-113、蚀刻盘体-114、推动块-a1、限位环体-a2、弹力绳-a3、卡块-a4、活动腔-a5、阻挡块-a11、流通腔-a12、收集条-a13、摆动架-a14、活动栓-a15、收纳仓-b1、连接弹板-b2、纳入槽-b3、弹簧-b4、摇摆刷-b5、进入腔-c1、限制块-c2、摆杆-c3、开合栓-c4。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合附图对本发明做进一步描述：

实施例1

如附图1至附图4所示：

其结构包括加工座1、喷液头2、排气管3、增压泵4、控制器5、储液箱6、设备箱7，所述加工座1表面与喷液头2下端间隙配合，所述喷液头2与增压泵4内部活动配合，所述增压泵4下端与储液箱6内部嵌套连接，所述控制器5与设备箱7上端螺栓固定，所述排气管3与设备箱7右侧嵌套配合，所述排气管3与加工座1内部活动配合，所述增压泵4与控制器5内部间隙配合，所述加工座1包括蚀刻座11、辅助转环12、转动机13、导流管道14、出水接头15，所述蚀刻座11下端与转动机13顶端螺旋连接，所述转动机13两侧与导流管道14间隙配合，所述导流管道14底部与出水接头15法兰连接，所述蚀刻座11底部与辅助转环12表面间隙配合，所述辅助转环12固定在转动机13上端与其间隙配合。

其中，所述蚀刻座11包括载盘111、夹块112、引流槽113、蚀刻盘体114，所述载盘111与蚀刻盘体114中心嵌套连接，所述蚀刻盘体114表面与引流槽113嵌固连接，所述引流槽113与夹块112两侧间隙配合，所述夹块112与载盘111外端间隙配合，所述夹块112与蚀刻盘体114嵌固连接，所述夹块112设有四块，分布在蚀刻盘体114表面上端嵌固连接，与其载盘111间隙配合，其中引流槽113有利于蚀刻后对化学反应物进行导流，避免金属残留物存留在表面对晶圆造成损伤。

其中，所述载盘111包括推动块a1、限位环体a2、弹力绳a3、卡块a4、活动腔a5，所述推动块a1与活动腔a5内部活动配合，所述活动腔a5末端与卡块a4卡合连接，所述卡块a4表面与弹力绳a3嵌套连接，所述弹力绳a3顶端与推动块a1嵌固连接，所述推动块a1与限位环体a2侧壁间隙配合，所述推动块a1设有十二块，通过后端与弹力绳a3嵌固连接，进行来回伸缩配合，其中推动块a1有利于对槽内蚀刻后残留我金属残留物进行推动，避免金属物沉淀堆积，造成金属残留物对晶圆盘体刮伤的问题出现。

具体工作原理如下：

本发明通过将晶圆放入加工座1内部通过控制器5将其储蓄箱6中的蚀刻液通过增压泵4输送到喷液头2进行喷洒，被放置蚀刻座11表面的晶圆在转动机13的带动下进行旋转，以至配合辅助转环12一同转动，使得转动的过程中载盘111承载的晶圆，在夹块112的配合下进行蚀刻，以至喷洒的蚀刻液将侵蚀晶圆后从蚀刻盘体114表面的引流槽113流出，在旋转的带动下载盘111与蚀刻盘体114一同旋转，以至使其推动块a1在离心力的带动下配合弹力绳a3甩出，在引流槽113上做来回伸缩，为了防止脱落，弹力绳a3末端被其卡块a4就写卡合限制，使其来回伸缩啊推动块a1将蚀刻所反应出来的金属反应物冲引导槽113上推下后进入导流管道14从出水接头15排出，本发明通过旋转的蚀刻盘体114与载盘111，在旋转的同时通过离心力的带动将其推动块a1甩出对蚀刻液与晶圆反应出来金属残留物在引流槽113上进行来回推动，以至将其金属残留物被推下引流槽113内部，有效避免了金属残留物堆晶圆盘体表面带来的刮伤问题。

实施例2：

如附图5至附图7所示：

其中，所述推动块a1包括阻挡块a11、流通腔a12、收集条a13、摆动架a14、活动栓a15，所述阻挡块a11与流通腔a12两侧间隙配合，所述流通腔a12内部与摆动架a14活动配合，所述摆动架a14末端与活动栓a15铰接连接，所述收集条a13与摆动架a14下端铰接连接，所述收集条a13设有四条，通过摆动架a14进行带动前后移动，与其摆动架a14底端铰接连接，其中流通腔a12有利于在阻挡块a11阻挡后的金属残留物进行引导，使其进入流通腔a12内部进一步收集。

其中，所述收集条a13包括收纳仓b1、连接弹板b2、纳入槽b3、弹簧b4、摇摆刷b5，所述收纳仓b1与纳入槽b3内壁间隙配合，所述连接弹板b2外壁与弹簧b4间隙配合，所述弹簧b4与收纳仓b1外壁嵌套连接，所述摇摆刷b5与收纳仓b1顶端铰接连接，所述纳入槽b3与外侧摇摆刷b5间隙配合，所述摇摆刷b5设有连个，整体呈倒三角形状，刷头采用硬质毛刷，通过末端在收纳仓b1内部带动摇摆，其中收纳仓b1有利于对金属反应残留物进行收纳，避免金属反应物在槽内残留，导致沉淀堆积造成排液缓慢。

其中，所述纳入槽b3包括进入腔c1、限制块c2、摆杆c3、开合栓c4，所述进入腔c1与限制块c2两壁间隙配合，所述限制块c2底端与开合栓c4焊接连接，所述开合栓c4底部与摆杆c3嵌固连接，所述摆杆c3与进入腔c1末端活动配合，所述限制块c2呈梯形状，两侧与进入腔c1活动配合，通过对液体进行阻隔增大液体推力将其摆杆c3推动，其中摆杆c3有利于受到推力与开合栓c4，的配合向内展开，将其金属反应物纳入内部进行收集、储存。

具体工作原理如下：

本发明通过在引流槽113内部滑动的推动块a1在推动的同时，由两侧阻挡块a11进行阻挡，将其贴着底面使蚀刻液从流通腔a12进行引导，以至使活动栓a15配合摆动架a14在移动的过程中将其收集条a13带动摇摆，以至使贴着槽底部的收集条a13在移动的过程中由两侧摆动刷b5对沉淀的金属残留物进行向内清扫，以至使在弹簧b4与连接弹板b2的摆动配合下，使液体冲击纳入槽b3的进人腔c1，使得摆杆c3被其开合栓c4向内开启，将其沉淀的金属残留物纳入，纳入后被其收纳仓b1收集，多余液体则被仓内滤网排出，本发明通过来回伸缩的阻挡块a11贴着引流槽113底部进行来回滑动，以至使收集条a13在摆动架a14的带动下摆动，使得蚀刻液冲击纳入槽b3的进入腔c1导致还和栓c4将其摆杆c3向内展开后由收纳仓b1中进行收集，有效将引导槽113底部的金属残留沉淀物得到收集，避免底部沉淀物堆积，导致槽孔堵塞排液缓慢的问题出现。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内；不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。