一种安全高效的自动扩膜设备的制作方法

本实用新型涉及半导体封装切割加工技术领域，具体涉及了一种安全高效的自动扩膜设备。

背景技术：

由于半导体材料在经过精密划片切割后需要进行测试，如果芯片之间的间距太小，容易发生串扰问题，因此，在半导体材料完成切割后通常需要采用蓝膜或类似防护膜通过扩膜机进行拉伸，用于扩大芯片之间的间距。也就是说，扩膜机是将切割完毕后的芯片进行扩膜拉伸的半导体材料扩张设备。

现有的扩膜机大多是采用手动扩膜，不仅费时而且费力，为了改善手动扩膜存在的技术问题，目前已有一些半自动化扩膜机技术，例如，公开号为cn108807236a的发明专利公开了一种半自动扩膜机，基座的上升通过串连的高精度步进电机和压电致动器件驱动，用于提高扩膜时芯片间距的精度，同时通过带有ccd图像采集装置的显微镜监测和记录扩膜过程，设备成本昂贵，而且该方案需要在压环上方设有气缸驱动的盖体用于实现手动扩膜，不仅操作效率低下，导致设备安装高度过高，存在安全隐患。此外，其扩膜机子母环均设于基座上，然后采用压环旋转后进行压合，挤压扩膜效果的稳定可靠性较差。

因此，本申请人希望寻求新的自动扩膜设备来解决以上技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种安全高效的自动扩膜设备，安装结构简单，制造成本低，操作过程安全，而且具有稳定可靠的挤压扩膜效果，非常适合规模推广应用。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，所述工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时所述工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，所述压盘安装架上安装有与所述工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；所述工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对所述工作安装台可上下升降位移；其中，所述工作加载面外周设有扩膜内环，所述扩晶环压盘内周设有与所述扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时所述工作安装台上设有用于将所述压盘安装架与所述工作安装台进行锁紧的锁紧模块。

优选地，所述压盘安装架包括安装连接为一体的压盘安装架体和压盘安装架连接件，其中，所述压盘安装架体可相对旋转地安装在所述工作安装台上，所述锁紧模块用于将所述压盘安装架连接件与所述工作安装台进行锁紧。

优选地，所述工作安装台一侧两端分别设有转轴固定块，所述压盘安装架体两端分别设有端块轴可相对旋转地安装在所述转轴固定块上。

优选地，所述锁紧模块采用肘夹装置，所述肘夹装置包括固定安装在所述工作安装台一侧的肘夹固定块，所述肘夹固定块上安装肘夹，通过肘夹将所述压盘安装架与所述工作安装台锁紧。

优选地，位于所述扩膜内环外周的工作安装台上设有绷架支撑环，所述绷架支撑环上设有用于贴合待扩膜加工物的膜外缘的绷架。

优选地，所述驱动器采用气缸或液压机构或直线电机。

本实用新型首先通过设置由驱动器驱动实现可上下升降位移的工作加载面结构，通过其上下升降位移实现与扩晶环压盘的对应上下压合，进而实现了对待扩膜加工物的自动扩膜功能，同时本实用新型还通过在工作加载面外周设置扩膜内环，同时在扩晶环压盘内周设置扩膜外环，通过工作加载面与扩晶环压盘的上下压合实现扩膜内环与扩膜外环的挤压安装配合，因此可以确保本实用新型可以获得稳定可靠的挤压扩膜效果，同时本实用新型安装结构简单，制造成本低，操作过程安全，而且具有稳定可靠的挤压扩膜效果，非常适合规模推广应用；本实用新型还进一步提出在扩膜内环外周设置用于贴合待扩膜加工物的膜外缘的绷架，可以进一步提高扩膜的精准度，确保加工物获得目标扩膜效果。

附图说明

附图1是本实用新型具体实施方式下自动扩膜设备处于未压合状态下的结构结构示意图；

附图2是本实用新型具体实施方式下自动扩膜设备处于压合状态下的结构结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例公开了一种安全高效的自动扩膜设备，包括工作安装台，工作安装台设有用于加载放置待扩膜加工物的工作加载面，同时工作安装台可相对旋转地安装有压盘安装架，压盘安装架上安装有与工作加载面对应上下压合的扩晶环压盘；工作加载面的下方固定连接驱动器用于实现相对工作安装台可上下升降位移；其中，工作加载面外周设有扩膜内环，扩晶环压盘内周设有与扩膜内环挤压安装配合的扩膜外环；同时工作安装台上设有用于将压盘安装架与工作安装台进行锁紧的锁紧模块。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

请参见图1和图2所示，一种安全高效的自动扩膜设备1，包括工作安装台10，工作安装台10设有用于加载放置待扩膜加工物(图未示出，具体可以为半导体晶圆片)的工作加载面11，同时工作安装台10可相对旋转地安装有压盘安装架20，压盘安装架20上安装有与工作加载面11对应上下压合的扩晶环压盘21；工作加载面11的下方固定连接驱动器12用于实现工作加载面11相对工作安装台10可上下升降位移；其中，工作加载面11外周设有扩膜内环13，扩晶环压盘21内周设有与扩膜内环13挤压安装配合的扩膜外环22；同时工作安装台10上设有用于将压盘安装架20与工作安装台10进行锁紧的锁紧模块30；优选地，在本实施方式中，位于扩膜内环13外周的工作安装台上设有绷架支撑环14，绷架支撑环14上设有用于贴合待扩膜加工物的膜外缘的绷架15，确保达到目标扩膜效果；

优选地，在本实施方式中，驱动器12采用气缸；锁紧模块30采用肘夹装置，肘夹装置包括固定安装在工作安装台10一侧的肘夹固定块31，肘夹固定块31上安装肘夹32，通过肘夹32将压盘安装架20与工作安装台10锁紧；当然地，在其他实施方式中，驱动器12也可以采用与气缸具有类似驱动效果的液压机构或直线电机，也可以采用其他锁紧机构来替代本实施例的肘夹装置，这些都是本领域技术人员的常规技术选择，均不作为对本申请保护范围的特别限定；

优选地，为了进一步利于安装强度以及安装便利性，在本实施方式中，压盘安装架20包括安装连接为一体的压盘安装架体20a和压盘安装架连接件20b，其中，压盘安装架体20a可相对旋转地安装在工作安装台10上，锁紧模块30的肘夹32用于将压盘安装架连接件20a与工作安装台10进行锁紧；工作安装台10一侧两端分别设有转轴固定块23，压盘安装架体20a两端分别设有端块轴24可相对旋转地安装在转轴固定块23上。

本实施例首先通过设置由驱动器12驱动实现可上下升降位移的工作加载面11结构，通过其上下升降位移实现与扩晶环压盘21的对应上下压合，进而实现了对待扩膜加工物的自动扩膜功能，同时本实施例还通过在工作加载面11外周设置扩膜内环13，同时在扩晶环压盘21内周设置扩膜外环22，通过工作加载面11与扩晶环压盘21的上下压合实现扩膜内环13与扩膜外环22的挤压安装配合，因此可以确保本实施例可以获得稳定可靠的挤压扩膜效果，同时本实施例安装结构简单，制造成本低，操作过程安全，而且具有稳定可靠的挤压扩膜效果，非常适合规模推广应用；本实施例还进一步提出在扩膜内环13外周设置用于贴合待扩膜加工物的膜外缘的绷架15，可以进一步提高扩膜的精准度，确保加工物获得目标扩膜效果。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。