技术总结
本实用新型提供一种夹装部件。所述夹装部件包括：三轴移动模组，所述三轴移动模组包括X轴移动机构、Y轴移动机构和Z轴移动机构，其中所述X轴移动机构设置在所述Y轴移动机构上，所述Y轴移动机构设置在所述Z轴移动机构上；设置在所述三轴移动模组的所述Z轴移动机构上的旋转组件；以及设置在所述旋转组件上的用于夹持物体的机械手臂。本实用新型提供的夹装部件允许夹持的晶圆转动，由此能够保证晶圆在蚀刻槽中蚀刻时各部分的蚀刻速率或蚀刻程度基本一致。致。致。
技术研发人员：廖开举
受保护的技术使用者：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
技术研发日：2020.08.12
技术公布日：2021/1/26