一种离子注入机的离子束测量导向装置的制作方法

本实用新型涉及导向机构领域，具体而言，涉及一种离子注入机的离子束测量导向装置。

背景技术：

离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。

目前，现有的一种离子注入机的离子束测量导向装置，离子束方向调节的范围小且调节过程复杂，适用性差。

技术实现要素：

为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种离子注入机的离子束测量导向装置，旨在改善离子束方向调节的范围小且调节过程复杂的问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种离子注入机的离子束测量导向装置，包括基础组件和导向组件。

所述基础组件包括支撑板、支撑柱和离子注入机本体，所述支撑柱固定在所述支撑板的下表面，所述离子注入机本体固定在所述支撑板的上表面。

所述导向组件包括第一横板、第二横板、第一气缸、金属反射板、第一固定块、第二气缸、第三固定块、滑轨、第四固定块、滑块、电量传感器和连接柱，所述连接柱固定在所述支撑板的上表面，所述第一横板固定在所述连接柱之间，所述第二横板固定在所述连接柱的上端，所述第一气缸分别固定在所述第一横板和所述第二横板的外表面上，所述第一固定块固定在所述第一气缸活塞杆的外壁上，所述第四固定块和所述滑轨均固定在所述金属反射板的外壁上，所述第一气缸的活塞杆端部转动在所述第四固定块内，所述滑块滑动在所述滑轨上，所述第三固定块固定在所述滑块的外壁上，所述第二气缸的端部转动在所述第一固定块内，所述第二气缸的活塞杆端部转动在所述第三固定块内，所述电量传感器固定在所述金属反射板的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中，所述支撑柱包括柱体和底座，所述柱体固定在所述支撑板的下表面，所述底座固定在所述柱体的下端。

在本实用新型的一种实施例中，所述第二气缸包括第二气缸本体和第二固定块，所述第二固定块固定在所述第二气缸本体的端部，所述第二固定块转动在所述第一固定块内。

在本实用新型的一种实施例中，所述滑轨包括滑轨本体和限位块，所述滑轨本体固定在所述金属反射板的外壁上，所述限位块固定在所述滑轨本体的端部。

在本实用新型的一种实施例中，所述电量传感器包括第一连接耳板和电量传感器本体，所述电量传感器本体固定在所述第一连接耳板的外表面，所述第一连接耳板固定在所述金属反射板的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中，所述导向组件还包括锁紧件，所述第一连接耳板和所述金属反射板通过所述锁紧件固定在一起。

在本实用新型的一种实施例中，所述导向组件还包括斜杆，所述斜杆固定在所述连接柱和所述第一横板之间。

在本实用新型的一种实施例中，所述连接柱设置有四个，四个所述连接柱分布在所述第二横板下表面的四角。

在本实用新型的一种实施例中，所述基础组件还包括手持部，所述手持部分别固定在所述离子注入机本体的外壁和所述连接柱的外壁上。

在本实用新型的一种实施例中，所述连接柱包括连接柱本体和第二连接耳板，所述第二连接耳板固定在所述连接柱本体的端部，所述第二连接耳板分别固定在所述第二横板的下表面和所述支撑板的上表面。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种离子注入机的离子束测量导向装置，使用时，离子注入机本体发出离子束，第一气缸活塞杆的伸缩带动金属反射板实现向上或向下移动，金属反射板在第二气缸活塞杆的伸缩、滑块和滑轨的共同作用下实现角度的变换，离子束在金属反射板的作用下实现角度的变换，即实现了对离子束的导向，电量传感器感应离子束的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，该导向装置金属反射板角度调节范围大，即对离子束角度调节的范围大，适用性更强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施方式提供的一种离子注入机的离子束测量导向装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施方式提供的一种离子注入机的离子束测量导向装置的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施方式提供的导向组件的剖面结构示意图；

图4为本实用新型实施方式提供的图3中a区域的放大图。

图中：100-基础组件；110-支撑板；120-支撑柱；121-柱体；122-底座；130-离子注入机本体；140-手持部；200-导向组件；210-第一横板；220-第二横板；230-第一气缸；240-金属反射板；250-第一固定块；260-第二气缸；261-第二气缸本体；262-第二固定块；270-第三固定块；280-滑轨；281-滑轨本体；282-限位块；290-第四固定块；291-滑块；292-电量传感器；2921-第一连接耳板；2922-电量传感器本体；293-锁紧件；294-连接柱；2941-连接柱本体；2942-第二连接耳板；295-斜杆。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种离子注入机的离子束测量导向装置，包括基础组件100和导向组件200。导向组件200固定在基础组件100上，便于对离子束发射的角度进行调节。

请参阅图1和图2，基础组件100包括支撑板110、支撑柱120和离子注入机本体130，支撑柱120焊接在支撑板110的下表面，支撑柱120包括柱体121和底座122，柱体121焊接在支撑板110的下表面，底座122通过螺栓固定在柱体121的下端，底座122使该导向装置更加稳固的被放置在地面上，离子注入机本体130通过螺栓固定在支撑板110的上表面，基础组件100还包括手持部140，手持部140分别通过螺栓固定在离子注入机本体130的外壁和连接柱294的外壁上，手持部140便于对该导向装置进行搬运，本实施例中的手持部140为把手。

请参阅图2-图4，导向组件200包括第一横板210、第二横板220、第一气缸230、金属反射板240、第一固定块250、第二气缸260、第三固定块270、滑轨280、第四固定块290、滑块291、电量传感器292和连接柱294，连接柱294通过螺栓固定在支撑板110的上表面，连接柱294设置有四个，四个连接柱294分布在第二横板220下表面的四角，四个连接柱294防止其对离子束的反射角度造成影响，第一横板210通过螺栓固定在连接柱294之间，导向组件200还包括斜杆295，斜杆295焊接在连接柱294和第一横板210之间，斜杆295使第一横板210更加牢固的被固定在连接柱294之间，连接柱294包括连接柱本体2941和第二连接耳板2942，第二连接耳板2942通过螺栓固定在连接柱本体2941的端部，第二连接耳板2942分别通过螺栓固定在第二横板220的下表面和支撑板110的上表面，第二连接耳板2942使连接柱本体2941更加稳固的被固定在第二横板220和支撑板110之间。

第二横板220通过螺栓固定在连接柱294的上端，第一气缸230分别通过螺栓固定在第一横板210和第二横板220的外表面上，第一固定块250通过螺栓固定在第一气缸230活塞杆的外壁上，第四固定块290和滑轨280均通过螺栓固定在金属反射板240的外壁上，第一气缸230的活塞杆端部转动在第四固定块290内，滑块291滑动在滑轨280上，滑轨280包括滑轨本体281和限位块282，滑轨本体281通过螺栓固定在金属反射板240的外壁上，限位块282焊接在滑轨本体281的端部，限位块282有效的防止滑块291从滑轨本体281上滑出，第三固定块270通过螺栓固定在滑块291的外壁上，第二气缸260的端部转动在第一固定块250内，第二气缸260包括第二气缸本体261和第二固定块262，第二固定块262通过螺栓固定在第二气缸本体261的端部，第二固定块262转动在第一固定块250内，第二固定块262使第二气缸本体261更加顺畅的转动。

第二气缸260的活塞杆端部转动在第三固定块270内，电量传感器292通过螺栓固定在金属反射板240的外壁上，电量传感器292包括第一连接耳板2921和电量传感器本体2922，电量传感器本体2922通过螺栓固定在第一连接耳板2921的外表面，第一连接耳板2921通过螺栓固定在金属反射板240的外壁上，第一连接耳板2921便于把电量传感器本体2922安装在金属反射板240上了，导向组件200还包括锁紧件293，第一连接耳板2921和金属反射板240通过锁紧件293固定在一起，锁紧件293使第一连接耳板2921和金属反射板240更加牢固的固定在一起，本实施例中的锁紧件293为螺栓，本实施例中的第四固定块290、滑轨280、锁紧件293和第一连接耳板2921均为橡胶材料，有效的防止它们对离子束照成影响。

具体的，该离子注入机的离子束测量导向装置的工作原理：使用时，启动离子注入机本体130，离子注入机本体130发出离子束，启动第一气缸230、第二气缸260和电量传感器292，第一气缸230活塞杆的伸缩带动金属反射板240实现向上或向下移动，金属反射板240在第二气缸260活塞杆的伸缩、滑块291和滑轨280的共同作用下实现角度的变换，离子束在金属反射板240的作用下实现角度的变换，即实现了对离子束的导向，电量传感器292感应离子束的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，该导向装置金属反射板240角度调节范围大，即对离子束角度调节的范围大，适用性更强。

需要说明的是，离子注入机本体130、第一气缸230、第二气缸260和电量传感器292具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。

离子注入机本体130、第一气缸230、第二气缸260和电量传感器292的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。