深紫外探测器及其制备方法

文档序号:26054772发布日期:2021-07-27 15:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种深紫外探测器,其特征在于,包括:衬底、设置于所述衬底上的多晶氮化铝薄膜层、设置于所述多晶氮化铝薄膜层上的电极层。

2.根据权利要求1所述的深紫外探测器,其特征在于,所述多晶氮化铝薄膜层为c轴取向的多晶氮化铝;所述深紫外探测器的光响应截止边在200~250nm,所述深紫外探测器的响应速度为10~100μs。

3.根据权利要求1所述的深紫外探测器,其特征在于,所述衬底的材料为蓝宝石、表面覆盖二氧化硅层的硅片或者玻璃。

4.根据权利要求1所述的深紫外探测器,其特征在于,所述多晶氮化铝薄膜层的厚度为100~500nm,吸收截止边为190~230nm。

5.根据权利要求1所述深紫外探测器,其特征在于,所述电极层为不连续电极层,厚度为30~100nm。

6.根据权利要求5所述的深紫外探测器,其特征在于,所述不连续电极层为叉指电极、嵌套的环形电极或并列的方形电极。

7.根据权利要求6所述深紫外探测器,其特征在于,所述叉指电极的材料为金,所述叉指电极的叉指间距为10μm,叉指宽度为10μm,叉指对数为25对,叉指长度为500μm。

8.根据权利要求1~7任一项所述的深紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

s1、对所述衬底进行清洗、吹干;

s2、以铝源、氮气气体源,在分子束外延生长室中生长多晶氮化铝薄膜;

s3、在所述多晶氮化铝薄膜的表面制备所述电极层;

s4、在所述电极层上按压铟粒。

9.根据权利要求8所述的深紫外探测器的制备方法,其特征在于,所述铝源的纯度为5n5~8n5,氮气气体流速为0.5~5sccm;氮气的射频功率为100~400w;电子束源炉电流为160~200ma;电子束源炉电压为4~6kv;生长温度为500~1000℃;生长的真空度为1×10-6~3×10-6torr。

10.根据权利要求8所述的深紫外探测器的制备方法,其特征在于,在生长多晶氮化铝薄膜结束后,降温速率为1~15℃/min。

11.根据权利要求8所述的深紫外探测器的制备方法,其特征在于,在步骤s3中,使用蒸镀后刻蚀的方法制备所述电极层,蒸镀的电流为10~140ma,蒸镀的电极原料为5~500mg。

12.根据权利要求11所述的深紫外探测器的制备方法,其特征在于,所述刻蚀的方法为先经光刻后再进行湿法刻蚀。


技术总结
本发明涉及一种深紫外探测器及其制备方法。深紫外探测器包括:衬底、设置于衬底上的多晶氮化铝薄膜层、设置于多晶氮化铝薄膜层上的电极层。本发明制备方法为:在衬底上以铝源、氮气气体源,通过分子束外延方法生长多晶氮化铝薄膜,在多晶氮化铝薄膜表面制备电极层,在电极层上按压铟粒。本发明的深紫外探测器具有量子效率高、光响应速度快、暗电流低。本发明的深紫外探测器的制备方法制备工艺简单、便于操作,易于大规模产业化应用。

技术研发人员:刘可为;张培宣;朱勇学;艾秋;李炳辉;申德振
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2021.04.29
技术公布日:2021.07.27
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1